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大功率射频板条CO_(2)激光器 被引量:2
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作者 唐霞辉 秦应雄 +5 位作者 彭浩 李玉洁 吴洋 肖龙胜 肖瑜 柳娟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期79-92,共14页
大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激... 大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。 展开更多
关键词 激光器 大功率射频板条CO_(2)激光器 扩散冷却 非稳-波导混合腔 光束整形 射频激励 气体放电
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