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大功率射频板条CO_(2)激光器
被引量:
2
1
作者
唐霞辉
秦应雄
+5 位作者
彭浩
李玉洁
吴洋
肖龙胜
肖瑜
柳娟
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期79-92,共14页
大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激...
大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。
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关键词
激光器
大功率射频板条CO_(2)激光器
扩散冷却
非稳-波导混合腔
光束整形
射频激励
气体放电
原文传递
题名
大功率射频板条CO_(2)激光器
被引量:
2
1
作者
唐霞辉
秦应雄
彭浩
李玉洁
吴洋
肖龙胜
肖瑜
柳娟
机构
华中科技大学光学与电子信息学院
湖北第二师范学院物理与机电工程学院
厦门大学航空航天学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期79-92,共14页
文摘
大功率射频板条CO_(2)激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火。华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO_(2)激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作。本文介绍了射频板条CO_(2)激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO_(2)激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用。
关键词
激光器
大功率射频板条CO_(2)激光器
扩散冷却
非稳-波导混合腔
光束整形
射频激励
气体放电
Keywords
lasers
high power
radio
frequency
(RF)
slab
CO_(2)laser
diffusion cooling
unstable waveguide hybrid cavity
beam shaping
radio
frequency
excitation
gas discharge
分类号
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大功率射频板条CO_(2)激光器
唐霞辉
秦应雄
彭浩
李玉洁
吴洋
肖龙胜
肖瑜
柳娟
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
原文传递
已选择
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