惰气熔融-热导法测定烧结氮化硅中氮

粉末压型烧结氮化硅样中氮和氧难以完全释放 ,其主要原因为烧结氮化硅样与粉末氮化硅样释放动力学条件不同。熔融提气过程中选用适当的浴料 ,可以提高氮氧的释放提取率。单元铁浴和铜浴可改善氮的释放情况 ,但分析时间长而拖尾。自行配制的五元浴不仅氮的释放提取率高 ,而且分析时间适中 ;其最终测试结果与化学法测定结果一致。惰气熔融法结合五元浴能够准确测定烧结氮化硅中氮。本文还对烧结氮化硅样中氧的联测结果进行了讨论。