基于关节力传感器的并联六自由度机构标定方法

提出了一种基于关节力传感器的并联六自由度机构结构参数标定方法。从力学角度出发,通过测量并联六自由度机构各关节驱动力,利用并联六自由度机构自身的运动学和动力学模型构造相应的辨识模型,实现其结构参数的标定。通过标定仿真验证了该方法的实用性和有效性。

六维力传感器的PICOSTRAIN应变测量电路设计

提出了PICOSTRAIN应变检测法,通过电容把应变电阻的变化转换为RC网络的充放电时间,采用高精度的数字时间转换器把时间转换为数字量,提供给数据采集系统。搭建了PICOSTRAIN应变检测电路系统。同时针对微型六维力传感器结构设计了传感器的机电一体化系统。

用于流速测量的微型力传感器的研制

设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器,完成了传感器芯片的封帽式封装。压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm×5 mm×3 mm,由传感器芯片、探测柱和封装外壳组成。基于流体的绕流阻力效应,完成了压阻式六自由度力传感器水流流速检测实验。实验证明,该传感器的量程为0~0.55 m/s,可以灵敏检测到低速水流的波动性变化,并且传感器在水流速度为0.45~0.55 m/s的测量范围内灵敏度较高。利用单晶硅材料易于小型化、滞后极小的特点,该六自由度力传感器响应快、环境适应性强、可批量制造。