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Shortening turn-on delay of SiC light triggered thyristor by7-shaped thin n-base doping profile 被引量:2
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作者 Xi Wang Hong-Bin Pu +1 位作者 Qing Liu Li-Qi An 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第10期622-627,共6页
A new 4 H–SiC light triggered thyristor(LTT) with 7-shaped thin n-base doping profile is proposed and simulated using a two-dimensional numerical method. In this new structure, the bottom region of the thin n-base ... A new 4 H–SiC light triggered thyristor(LTT) with 7-shaped thin n-base doping profile is proposed and simulated using a two-dimensional numerical method. In this new structure, the bottom region of the thin n-base has a graded doping profile to induce an accelerating electric field and compensate for the shortcoming of the double-layer thin n-base structure in transmitting injected holes. In addition, the accelerating electric field can also speed up the transmission of photongenerated carriers during light triggering. As a result, the current gain of the top pnp transistor of the SiC LTT is further increased. According to the TCAD simulations, the turn-on delay time of the SiC LTT decreases by about 91.5% compared with that of previous double-layer thin n-base SiC LTT. The minimum turn-on delay time of the SiC LTT is only 828 ns,when triggered by 100 mW/cm^2 ultraviolet light. Meanwhile, there is only a slight degradation in the forward blocking characteristic. 展开更多
关键词 silicon carbide light triggered thyristor 7-shaped doping profile turn-on delay
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Yb_(2)O_(3)改性Gd_(2)Zr_(2)O_(7)热障涂层的显微组织和热循环性能研究
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作者 李婷玥 王鑫 +2 位作者 甄真 李娜 许振华 《真空》 CAS 2024年第5期21-29,共9页
(Yb_(0.1)Gd_(0.9))2Zr_(2)O_(7)(YbGdZrO)稀土复合氧化物是适用于更高温度的新型热障涂层(TBCs)候选材料之一。采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)工艺在单晶合金(Ni,Pt)Al粘结层表面分别制备了单陶瓷层YbGdZrO和双陶瓷层YbGdZrO/YSZ两种... (Yb_(0.1)Gd_(0.9))2Zr_(2)O_(7)(YbGdZrO)稀土复合氧化物是适用于更高温度的新型热障涂层(TBCs)候选材料之一。采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)工艺在单晶合金(Ni,Pt)Al粘结层表面分别制备了单陶瓷层YbGdZrO和双陶瓷层YbGdZrO/YSZ两种热障涂层,并对涂层的相结构、化学组成、显微形貌和热循环行为进行了表征分析。结果表明:沉积态YbGdZrO陶瓷涂层的主相结构为单一的缺陷型萤石相,并有少量Yb_(2)O_(3)共存;与单陶瓷层涂层相比,双陶瓷层涂层的柱状晶簇较为纤细,且可观察到明显的柱状晶间隙;双陶瓷层涂层1100℃热循环寿命约为单陶瓷层涂层的1.5倍;经长期冷热交替循环后,单陶瓷层涂层内横向裂纹滋长,并扩展到YbGdZrO/TGO层界面上方几微米处,导致界面退化分离,且陶瓷层中的Yb元素内扩散进入TGO层;双陶瓷层涂层内出现纵向裂纹,而YbGdZrO/YSZ和YSZ/TGO层间界面基本完好;热循环失效后,单陶瓷层和双陶瓷层试样TGO层内均出现横向和纵向裂纹,甚至进一步诱发了层内断裂分离现象。 展开更多
关键词 电子束物理气相沉积 热障涂层 改性锆酸钆 热循环 界面分离
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Effect of shielding gas and defocusing on porosity during laser beam welding of 7A52 alloy 被引量:15
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作者 Wang lei Xu Xuezong +2 位作者 Wang Kehong Li He Huang Yong 《China Welding》 EI CAS 2020年第3期20-25,共6页
Laser beam welding is used to fabricate the 7A52 aluminum alloy plates.Effects of shielding gas and defocusing on porosities are investigated.Porosities are divided into hydrogen porosities and keyhole-induced porosit... Laser beam welding is used to fabricate the 7A52 aluminum alloy plates.Effects of shielding gas and defocusing on porosities are investigated.Porosities are divided into hydrogen porosities and keyhole-induced porosities.With the increasing flow rate of the front shielding gas,the porosity ratio firstly decreases,then increases.The porosity ratio is lowest under the flow rate of 25 L/min.When the flow rate is 30 L/min,the porosity ratio is higher because the large flow rate can affect the stability of the keyhole.The porosity ratio is also higher when the flow rate is less than 25 L/min because the protection is weakened.With the increase of the defocusing,the porosity ratio firstly decreases,then increases.When the defocusing is-2 mm,the porosity ratio is lowest.When the defocusing is more than 0 mm or less than-4 mm,the porosity ratio is higher due to the movement of the instable keyhole. 展开更多
关键词 laser beam welding POROSITY 7A52 shielding gas
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~7Li离子束注入对大麦粒型、品质及遗传变异的影响 被引量:5
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作者 李博 王容 +3 位作者 赵林姝 刘录祥 张文英 徐延浩 《核农学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期209-215,共7页
为探讨~7Li离子束对大麦M_5籽粒的粒型、品质以及叶片的基因组结构的诱变效应,利用5种不同剂量(10、20、30、40、50 Gy)的~7Li离子束处理大麦种子,测定4 184份M_5突变体籽粒的近红外品质及粒型,并利用14对ISSR引物对挑选的突变体单株进... 为探讨~7Li离子束对大麦M_5籽粒的粒型、品质以及叶片的基因组结构的诱变效应,利用5种不同剂量(10、20、30、40、50 Gy)的~7Li离子束处理大麦种子,测定4 184份M_5突变体籽粒的近红外品质及粒型,并利用14对ISSR引物对挑选的突变体单株进行遗传差异分析。结果表明,~7Li离子束处理能引起大麦粒型和品质的变异,粒型最大变异系数主要出现在30 Gy处理组,品质最大变异系数主要出现在50 Gy处理组。籽粒周长最大变异增加29.15%,达到36.68 mm,最大变异系数为3.59%。粒长最大变异增加33.39%,达到15.74 mm,最大变异系数为3.88%。粒宽最大变异增加21.29%,为5.07 mm,最大变异系数为6.34%。突变体籽粒蛋白含量最高达到25.40%,提高90.55%;最低为8.51%,下降36.16%。突变体淀粉含量最高为57.04%,提高13.63%;最低为39.62%,下降21.08%。ISSR分析突变体基因组结构变异率为1.92%,在30 Gy处理组检测到1个新增带型,在50 Gy处理组检测到1个缺失条带。本研究结果为~7Li离子束在大麦诱变育种上的利用提供了参考,为大麦粒型和品质遗传研究与品种改良提供了新的种质资源材料。 展开更多
关键词 7Li离子束 大麦 粒型 近红外品质 ISSR
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HT-7托卡马克实验装置上基于PLC控制的中性束诊断电源系统 被引量:3
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作者 张健 杜少武 +1 位作者 刘保华 丁同海 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期605-609,共5页
文章介绍HT-7托卡马克实验装置上的中性束诊断电源系统的组成、结构,以及基于S7-300 PLC的逻辑控制系统。实验表明,该系统操作简单,性能稳定可靠。
关键词 HT-7托卡马克 中性束诊断 逻辑控制 S7—300 PLC
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HT-7诊断中性束电源控制系统设计
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作者 张健 韦维 +1 位作者 郝旭 黄懿赟 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期2375-2379,共5页
本文介绍了HT-7托卡马克实验装置上研制的基于脉宽调制(PWM)的诊断中性束电源系统的组成、结构和控制需求,以及控制系统的组成和控制功能等。经实际调试与多轮HT-7实验运行,验证了该套电源控制系统的稳定性与可靠性。
关键词 HT-7 诊断中性束 脉宽调制 可编程逻辑控制器 嵌入式实时操作系统
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HT-7上中性束诊断系统高压电源充电机特性研究
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作者 张健 韦维 +3 位作者 黄懿赟 刘保华 郭文军 沈晓岭 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期551-554,共4页
在HT-7托克马克实验装置上DNB系统实验中,加速机高压电源系统的储能电容器组充电电压有过冲现象,为了能够分析并解决这一问题,详细介绍了该套加速极高压电源系统的组成、结构、工作原理以及初级高压充电电源系统的组成、结构和控制流程... 在HT-7托克马克实验装置上DNB系统实验中,加速机高压电源系统的储能电容器组充电电压有过冲现象,为了能够分析并解决这一问题,详细介绍了该套加速极高压电源系统的组成、结构、工作原理以及初级高压充电电源系统的组成、结构和控制流程等,对实验中的过冲现象行了监测,利用具体的电路模型对初级高压充电电源进行了研究,经过详细的分析和计算,结果表明由于变压器漏抗的影响,使得电容器组上随着充电电压设定的不同有0~6 kV的过冲,因此可以认为变压器漏抗是造成电容器组充电过冲的最主要原因,采用反馈控制和简单的预测控制方式,很好地解决了这一问题。 展开更多
关键词 HT-7托卡马克 中性束诊断 高压电源 电容储能
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基于STEP 7的步进式加热炉炉温控制系统
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作者 宋凤娟 窦新宇 +1 位作者 曹胜敏 付侃 《唐山学院学报》 2011年第3期26-27,共2页
对步进式加热炉炉温控制系统创建了一个自动化解决方案,使加热炉炉温燃烧控制实现全自动操作,并保证加热炉正常连续运行。同时介绍了脉冲式燃烧控制技术原理在本系统中的应用特点,介绍了STEP 7和WinCC V6.0软件开发环境向用户提供操作... 对步进式加热炉炉温控制系统创建了一个自动化解决方案,使加热炉炉温燃烧控制实现全自动操作,并保证加热炉正常连续运行。同时介绍了脉冲式燃烧控制技术原理在本系统中的应用特点,介绍了STEP 7和WinCC V6.0软件开发环境向用户提供操作方便、界面友好的自动化开发平台。 展开更多
关键词 步进式加热炉 炉温控制系统 STEP7
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光谱法测HT-7托卡马克诊断中性束的束成分 被引量:2
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作者 韩仁智 石跃江 +9 位作者 黄娟 胡纯栋 王光祺 符佳 周倩 吴振伟 常加峰 孙丹鹏 高伟 朱武 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期305-308,共4页
实验测量了诊断中性束(DNB)中H0的4种主要能量成分(全能量,半能量,1/3能量,1/18能量),运用光谱法来分析中性束的束成分所占百分数。根据多普勒效应,中性束中的氢粒子发出的Hα波长偏离本底的Hα波长,波长偏移量与氢粒子的能量相关,从而... 实验测量了诊断中性束(DNB)中H0的4种主要能量成分(全能量,半能量,1/3能量,1/18能量),运用光谱法来分析中性束的束成分所占百分数。根据多普勒效应,中性束中的氢粒子发出的Hα波长偏离本底的Hα波长,波长偏移量与氢粒子的能量相关,从而在光谱仪上得到多峰Hα谱线。通过编写程序并以此对实验的原始谱线进行了初步和精确拟合,最终准确有效地分析出中性束的束成分和束能量。实验测得DNB束流的中性氢粒子的全能量、半能量、1/3能量和1/18能量4种成分分别占15%,42%,35%,8%。 展开更多
关键词 光谱法 诊断中性束 束成分 等离子体 HT-7托卡马克
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Experiments on Gas Jet in the Wendelstein 7-AS Stellarator 被引量:3
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作者 姚良骅 J.Baldzuhn 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第5期1933-1938,共6页
Wendelstein 7-AS (W7-AS) pertains to an advanced helical stellarator. A new fuelling method, the supersonic molecular beam injection (SMBI, named Gas Jet in Germany) system was installed in W7-AS in May 2001 as a coop... Wendelstein 7-AS (W7-AS) pertains to an advanced helical stellarator. A new fuelling method, the supersonic molecular beam injection (SMBI, named Gas Jet in Germany) system was installed in W7-AS in May 2001 as a cooperation research item co-supported by the National Nature Science Foundation of China and the Max-Planck Institute of Plasma Physics, Garching, Germany. The experiments of the gas jet with hydrogen or deuterium on W7-AS were implemented. The experimental results exhibit the following features such as high fuelling efficiency, stable high-density plasmas and reduction of the recycling fluxes from the vessel wall during injection. These crucial points show that the new fuelling method can be applied to long and stable discharges. 展开更多
关键词 gas jet (Supersonic Molecular beam) injection wendelstein 7-AS stellarator fuelling
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Analyses of d-^(6,7)Li and d-^(7,9)Be Reactions
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作者 Han Yinlu Shen Qingbiao Zhang Jingshang Liu Weiping Bai Xixiang China Institute of Atomic Energy,P.O.Box 275(41),Beijing 102413Zhang Zhengjun Sun Xiuquan Department of Physics,Northwest University,Xian 710069 《Chinese journal of nuclear physics》 1997年第2期103-109,共7页
Aiming at the production of <sup>6</sup>He,<sup>8</sup>Li and <sup>7</sup>Be radioactive beams,various nuclear dataof d+<sup>6,7</sup>Li and d+<sup>9</sup>Be... Aiming at the production of <sup>6</sup>He,<sup>8</sup>Li and <sup>7</sup>Be radioactive beams,various nuclear dataof d+<sup>6,7</sup>Li and d+<sup>9</sup>Be reactions at incident energies spanning 0,1~30.0 MeV are obtained bycalculation with the distorted wave Born approximation,preequilibrium nuclear reaction andHauser-Feshbach(HF)theory.The cross sections of d+<sup>7</sup>Be reaction are also predicted.Theresults show that the experimental measurement for d+<sup>7</sup>Be reaction is feasible at HI-13 tandemaccelerator. 展开更多
关键词 ~6He ~8Li and ~7Be RADIOACTIVE beam
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锂离子束辐照小麦诱发DNA损伤与特异基因调控网络解析 被引量:1
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作者 杜国锋 谢永盾 +7 位作者 郭会君 熊宏春 古佳玉 赵林姝 赵世荣 丁玉萍 隋丽 刘录祥 《植物遗传资源学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期1485-1497,共13页
锂(^(7)Li)离子束作为一种新型诱变剂在作物诱变育种中发挥着越来越重要的作用。本研究利用彗星电泳技术探索了^(7)Li离子束辐照小麦诱导的DNA损伤特点,并结合转录组分析初步解析了特异基因表达调控网络。结果表明,与传统诱变因素伽马(... 锂(^(7)Li)离子束作为一种新型诱变剂在作物诱变育种中发挥着越来越重要的作用。本研究利用彗星电泳技术探索了^(7)Li离子束辐照小麦诱导的DNA损伤特点,并结合转录组分析初步解析了特异基因表达调控网络。结果表明,与传统诱变因素伽马(γ)射线相比,^(7)Li离子束辐照引起的小麦幼苗生长抑制程度低,幼苗叶脉失绿至开裂。对辐照诱导的差异表达基因进行GO和KEGG功能分析显示,^(7)Li离子束辐照诱导的差异表达基因主要富集在细胞壁合成与代谢和甘油脂类代谢通路,而γ射线辐照诱导的差异表达基因主要富集在光合作用代谢通路中,推测细胞壁合成与代谢和甘油脂类代谢通路途径与响应^(7)Li离子束辐照引起的损伤密切相关,而光合作用代谢途径与响应γ射线辐照引起的损伤密切相关。两种辐射诱导的差异表达基因的转录因子分析结果显示,^(7)Li离子束辐照诱导的MYB、WRKY、bHLH和NAC等转录因子家族可能在响应^(7)Li离子束辐照过程中具有重要作用,^(7)Li离子束辐照特异诱导Whirly家族转录因子调控DNA损伤修复,而γ射线辐照诱导E2F/DP家族转录因子调控DNA损伤修复。 展开更多
关键词 小麦 锂(^(7)Li)离子束 伽马射线(γ) DNA损伤 转录组
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某锯齿形排架结构设计事故分析与加固 被引量:1
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作者 张玉明 孟少平 《建筑结构》 CSCD 北大核心 2007年第3期20-21,共2页
分析了某钢筋混凝土锯齿形排架结构设计中柱子截面取值偏小导致结构不满足承载力及变形要求的原因。将锯齿形排架与一般排架受力性能进行了对比研究,得出在锯齿形排架结构设计中不能将七字梁部分简化成链杆进行计算。针对工程特点制定... 分析了某钢筋混凝土锯齿形排架结构设计中柱子截面取值偏小导致结构不满足承载力及变形要求的原因。将锯齿形排架与一般排架受力性能进行了对比研究,得出在锯齿形排架结构设计中不能将七字梁部分简化成链杆进行计算。针对工程特点制定了仅加固边柱的经济有效的加固措施。 展开更多
关键词 锯齿形排架 七字梁 加固
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七芯光纤光束质量的研究 被引量:1
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作者 巩玲仙 付建梅 +2 位作者 田竹梅 王爱珍 任国凤 《光电技术应用》 2016年第3期33-36,共4页
用COMSOL对七芯光纤的各个模场进行仿真,发现同相位超模的远场呈现准高斯分布,其发散角最小,具有最好的光束质量。并通过分析各个模式的光束质量因子M2和桶中功率PIB两个参数,再次证明同相位模式具有最好的光束质量。
关键词 七芯光纤 光束质量 同相位模式 桶中功率 M2
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流动注射微分光度法测定钛酸钡烧结物中微量钡 被引量:1
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作者 徐锐 韩光喜 +1 位作者 徐晓明 赵珍义 《化学研究与应用》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期577-579,共3页
The mechanism of combination of Flow injection(FIA)and double beam of photometry and testing technique,together with the color reaction condition of 2-(4-bromo-2-carboxy phenylazo)-7-(2,4-dimethyl phenylazo)-1,8-dihyd... The mechanism of combination of Flow injection(FIA)and double beam of photometry and testing technique,together with the color reaction condition of 2-(4-bromo-2-carboxy phenylazo)-7-(2,4-dimethyl phenylazo)-1,8-dihydroxynaphthalene-3,6-disulfonic acid reacting with Barium,and the application in the determination of Barium in sinter have been studied.The analyses speed was 130~140 times/h,the Sensitivity was 1.6 times of the ordinary photometric method,the dynamic concentration range of bariumn was 0~1.1μg·mL-1which was in consistent with a Lamber-beer law.The experimental results was satisfactory. 展开更多
关键词 流动注射分析 双光束 微量钡 二溴对甲基偶氮溴酸
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中性束诊断电源系统及束流引出实验研究
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作者 张健 刘保华 +2 位作者 胡立群 杜少武 HT-7DNB组 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期151-155,共5页
HT-7中性束诊断电源系统的计算机控制系统由PLC、工控机、逻辑控制和定时单元等组成。对起弧、束流引出等实验进行了研究。在多种参数下,通过调节弧压、进气量等观察了其对弧流的影响。初步实验结果表明,在高压35kV、弧流80A的情况下,... HT-7中性束诊断电源系统的计算机控制系统由PLC、工控机、逻辑控制和定时单元等组成。对起弧、束流引出等实验进行了研究。在多种参数下,通过调节弧压、进气量等观察了其对弧流的影响。初步实验结果表明,在高压35kV、弧流80A的情况下,束电流可以达到3.6A,引出的中性束流功率可以稳定地达到50kW以上。 展开更多
关键词 中性束诊断 电源系统 HT-7
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5G网络SSB 1+X波束技术应用研究 被引量:7
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作者 李贝 胡煜华 +5 位作者 王鑫炎 许国平 刘光海 肖天 成晨 李一 《电信科学》 2022年第1期150-158,共9页
3GPP标准在5G中引入了波束扫描和空域的维度,信道状态信息(channel state information,CSI)是UE上报给eNodeB的信道状态信息,信道状态信息参考信号(channel state information-reference signal,CSI-RS)是UE用来获取信道状态信息的参考... 3GPP标准在5G中引入了波束扫描和空域的维度,信道状态信息(channel state information,CSI)是UE上报给eNodeB的信道状态信息,信道状态信息参考信号(channel state information-reference signal,CSI-RS)是UE用来获取信道状态信息的参考信号。终端接入时基站采用SSB波束轮发探测终端的最优波束,在终端接入后获取参考信号的配置信息后对信道状态信息进行反馈,基站采用CSI-RS波束轮发的最优波束。5G天线灵活配置波束个数并且兼顾水平维度、垂直维度的覆盖。结合广播波束发展、现网水平7波束面临的挑战,分析比较了水平7波束与1+X波束两种方案,并对两种方案进行测试分析。测试结果表明,1+X波束具有较水平7波束覆盖相当、控制干扰、降低资源开销和设备能耗的优势,结合自动优化工具的应用达到提升工作效率的效果。 展开更多
关键词 5G 波束扫描 SSB CSI-RS 7波束 1+X波束
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Neutron beam optimization based on a ^7Li(p,n)^7Be reaction for treatment of deep-seated brain tumors by BNCT
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作者 Zahra Ahmadi Ganjeh S.Farhad Masoudi 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2014年第10期131-136,共6页
Neutron beam optimization for accelerator-based Boron Neutron Capture Therapy(BNCT) is investigated using a ^7Li(p,n)^7Be reaction. Design and optimization have been carried out for the target, cooling system,mode... Neutron beam optimization for accelerator-based Boron Neutron Capture Therapy(BNCT) is investigated using a ^7Li(p,n)^7Be reaction. Design and optimization have been carried out for the target, cooling system,moderator, filter, reflector, and collimator to achieve a high flux of epithermal neutron and satisfy the IAEA criteria.Also, the performance of the designed beam in tissue is assessed by using a simulated Snyder head phantom. The results show that the optimization of the collimator and reflector is critical to finding the best neutron beam based on the ^7Li(p,n)^7Be reaction. Our designed beam has 2.49×109n/cm^2 s epithermal neutron flux and is suitable for BNCT of deep-seated brain tumors. 展开更多
关键词 BNCT target design ^7Li(p n)^7Be reaction beam shaping assembly DOSIMETRY
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On the Path to High-Temperature Josephson Multi-Junction Devices
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作者 Xu Wang Fucong Chen +4 位作者 Zefeng Lin Shibing Tian Chunguang Li Victor Kornev Nikolay Kolotinskiy 《Electromagnetic Science》 2024年第3期71-78,共8页
We report our progress in the high-temperature superconductor(HTS)Josephson junction fabrication process founded on utilizing a focused helium ion beam damaging technique and discuss the expected device performance at... We report our progress in the high-temperature superconductor(HTS)Josephson junction fabrication process founded on utilizing a focused helium ion beam damaging technique and discuss the expected device performance attainable with the HTS multi-junction device technology.Both the achievable high value of characteristic voltage V_(C)=I_(C)R_(N)of Josephson junctions and the ability to design a large number of arbitrary located Josephson junctions allow narrowing the existing gap in design abilities for lowtemperature superconductor(LTS)and HTS circuits even with using a single YBa_(2)Cu_(3)O_(7-x) film layer.A one-layer topology of active electrically small antenna is suggested and its voltage response characteristics are considered. 展开更多
关键词 Josephson junctions High-temperature superconductors YBa_(2)Cu_(3)O_(7-x)(YBCO) Focused helium ion beam fabrication technique Josephson multi-junction devices Superconducting quantum interference device Active electrically small antenna
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表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文) 被引量:5
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作者 董启明 郭小伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期558-564,共7页
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻... 表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持. 展开更多
关键词 干涉光刻 表面等离子体激元 克莱舒曼结构
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