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粒子与洁净度分级 被引量:2
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作者 王大千 刘娜 王尧 《洁净与空调技术》 2010年第1期26-29,共4页
介绍国际标准《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念,以利从业者准确理解并熟悉应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。
关键词 粒子 关注粒径 洁净度分级 浓度限值 95%置信上限
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