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粒子与洁净度分级
被引量:
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作者
王大千
刘娜
王尧
《洁净与空调技术》
2010年第1期26-29,共4页
介绍国际标准《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念,以利从业者准确理解并熟悉应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。
关键词
粒子
关注粒径
洁净度分级
浓度限值
95
%
置信上限
下载PDF
职称材料
题名
粒子与洁净度分级
被引量:
2
1
作者
王大千
刘娜
王尧
机构
中国电子学会洁净技术分会
世源科技工程有限公司
电子行业特种生产环境技术与装备检测中心
出处
《洁净与空调技术》
2010年第1期26-29,共4页
文摘
介绍国际标准《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念,以利从业者准确理解并熟悉应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。
关键词
粒子
关注粒径
洁净度分级
浓度限值
95
%
置信上限
Keywords
Particle
Considered particle size
Cleanliness classification
Concentration
limit
95% upper confidence limit
分类号
TU834.8 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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作者
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1
粒子与洁净度分级
王大千
刘娜
王尧
《洁净与空调技术》
2010
2
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