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Demonstration of Far-Infrared GaAs/AlGaAs Quantum Well Photodetectors for Broadband Wavelength Detection
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作者 沈文忠 Perera A.G.U 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2000年第12期921-923,共3页
We discuss the realization of broadband wavelength detection by demonstrating the longest cutoff wavelength(λc=28.6μm)far-infrared GaAs/AIGaAs quantum well infrared photodetectors(QWIPs).The responsivity is comparab... We discuss the realization of broadband wavelength detection by demonstrating the longest cutoff wavelength(λc=28.6μm)far-infrared GaAs/AIGaAs quantum well infrared photodetectors(QWIPs).The responsivity is comparable to that of mid-infrared GaAs/AIGaAs and InGaAs/GaAs QWIPs,with a responsivity of 0.265 A/W and detectivity of 3.4x109 cm.Hz1/2/W at the peak wavelength of 26.9μm at 4.2K.Based on the temperature-dependent dark current and response results,it is expected that similar performance can be obtained at least up to 20 K.Several ways to expand the wavelength coverage are also addressed. 展开更多
关键词 gaas/ALgaas infrared quantum
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QUANTUM MECHANICAL MODEL AND SIMULATION OF GaAs/AlGaAs QUANTUM WELL INFRARED PHOTO-DETECTOR-ⅠOPTICAL ASPECTS 被引量:2
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作者 Fu Y Willander M +1 位作者 Li Ning Lu W 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期321-326,共6页
A complete quantum mechanical model for GaAs?AlGaAs quantum well infrared photodetectors(QWIPs) is presented here. The model consisted of four parts: (1) Starting with the description of the electromagnetic field of t... A complete quantum mechanical model for GaAs?AlGaAs quantum well infrared photodetectors(QWIPs) is presented here. The model consisted of four parts: (1) Starting with the description of the electromagnetic field of the infrared radiation in the QWIP, effective component of the vector potential <| A z |> along the QWIP growth direction ( z axis) due to the optical diffraction grating was calculated. (2) From the wave transmissions and the occupations of the electronic states, it was discussed that the dark current in the QWIP is determined by the drift diffusion current of carriers thermally excited from the ground sublevel in the quantum well to extended states above the barrier. (3) The photocurrent was investigated by the optical transition (absorption coefficient between the ground state to excited states due to the nonzero <| A z |> ). (4) By studying the inter diffusion of the Al atoms across the GaAs?AlGaAs heterointerfaces,the mobility of the drift diffusion carriers in the excited states was calculated, so the measurement results of the dark current and photocurrent spectra can be explained theoretically. With the complete quantum mechanical descriptions of (1 4), QWIP device design and optimization are possible. 展开更多
关键词 gaas/ALgaas photodetector quantum well infrared photodetector(QWIP) quantum mechanical model
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Direct Observation of Carrier Transportation Process in InGaAs/GaAs Multiple Quantum Wells Used for Solar Cells and Photodetectors 被引量:1
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作者 孙庆灵 王禄 +7 位作者 江洋 马紫光 王文奇 孙令 王文新 贾海强 周均铭 陈弘 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第10期103-106,共4页
The resonant excitation is used to generate photo-excited carriers in quantum wells to observe the process of the carriers transportation by comparing the photoluminescence results between quantum wells with and witho... The resonant excitation is used to generate photo-excited carriers in quantum wells to observe the process of the carriers transportation by comparing the photoluminescence results between quantum wells with and without a p-n junction. It is observed directly in experiment that most of the photo-excited carriers in quantum wells with a p-n junction escape from quantum wells and form photoeurrent rather than relax to the ground state of the quantum wells. The photo absorption coei^cient of multiple quantum wells is also enhanced by a p-n junction. The results pave a novel way for solar cells and photodetectors making use of low-dimensional structure. 展开更多
关键词 INgaas on of Direct Observation of Carrier Transportation Process in Ingaas/gaas Multiple quantum Wells Used for Solar Cells and photodetectors in for
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9μm截止波长128×128AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列(英文) 被引量:4
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作者 李献杰 刘英斌 +6 位作者 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1355-1359,共5页
报道了128×128 Al GaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作.采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料,并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作.为得到器件参数,设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测... 报道了128×128 Al GaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作.采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料,并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作.为得到器件参数,设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测试器件;77K下2V偏压时暗电流密度为1·5×10-3A/cm2;80K工作温度下,器件峰值响应波长为8·4μm,截止波长为9μm,黑体探测率DB*为3·95×108(cm·Hz1/2)/ W.将128×128元Al GaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列芯片与相关CMOS读出电路芯片倒装焊互连,在80K工作温度下实现了室温环境目标的红外热成像,盲元率小于1%. 展开更多
关键词 ALgaas/gaas 量子阱红外探测器 红外热成像
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MOCVD生长GaAs/Al_xGa_(1-x)As多量子阱子带间红外吸收特性 被引量:1
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作者 程兴奎 黄柏标 +3 位作者 徐现刚 刘士文 任红文 蒋民华 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期33-36,共4页
对MOCVD生长的GaAs(40)/AlxGa(1-x)As(300)多量子阱结构观察到附内电子从基态到第一激发态跃迁引起的红外吸收.用Bruker红外光谱仪测量,发现了一个峰值在986cm-1(10.1μm)带宽为... 对MOCVD生长的GaAs(40)/AlxGa(1-x)As(300)多量子阱结构观察到附内电子从基态到第一激发态跃迁引起的红外吸收.用Bruker红外光谱仪测量,发现了一个峰值在986cm-1(10.1μm)带宽为237cm-1(9~11.5μm)的强吸收峰,该峰位置与阱内电子从基态到第一激发态跃迁所计算的吸收峰位置基本一致. 展开更多
关键词 多量子阱 子带 红外辐射 外延生长
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新型8~14μm GaAs/GaAlAs红外探测器数值模拟和分析 被引量:1
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作者 李群 杜春霞 +3 位作者 邓军 孔锐 沈光地 尹洁 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 1996年第4期7-12,共6页
简要介绍了红外探测器的历史和现状。在提出的一种新型GaAs/GaAlAs红外探测器的构想及已有工作的基础上,建立了一个物理模型,并进行了模拟计算,着重分析了各个器件参数对器件性能的影响,为今后设计器件打下了理论基础,... 简要介绍了红外探测器的历史和现状。在提出的一种新型GaAs/GaAlAs红外探测器的构想及已有工作的基础上,建立了一个物理模型,并进行了模拟计算,着重分析了各个器件参数对器件性能的影响,为今后设计器件打下了理论基础,在此基础上特别指出了该构想的一个新用途:外加偏压调制波长红外探测器。 展开更多
关键词 红外探测器 数值模拟 砷化镓 gaaLAS
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1550nm InAs/GaAs量子点调Q光纤激光器 被引量:1
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作者 秦亮 王旭 +3 位作者 刘健 蒋成 陈红梅 张子旸 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第2期133-137,168,共6页
调Q光纤激光器在光纤传感、激光雷达、激光加工和光纤通信等众多方面有着广泛的应用。半导体量子点(QD)由于具有较高的损伤阈值和宽光谱特性,是一种优良的可饱和吸收体(SA),但是目前制备发光中心波长为1550 nm的QD SA依然是一个巨大的... 调Q光纤激光器在光纤传感、激光雷达、激光加工和光纤通信等众多方面有着广泛的应用。半导体量子点(QD)由于具有较高的损伤阈值和宽光谱特性,是一种优良的可饱和吸收体(SA),但是目前制备发光中心波长为1550 nm的QD SA依然是一个巨大的挑战。通过在分子束外延(MBE)生长InAs QD过程中加入两次间断制备了1550 nm InAs/GaAs量子点半导体可饱和吸收镜(QD-SESAM),并通过构建光纤直线腔,研制出发光中心波长约为1550 nm的被动调Q光纤激光器。该激光器最大输出功率约为2.5 mW,实现了55 kHz的重复频率,同时达到了1.45μs的脉冲宽度和45.36 nJ的单脉冲能量,表现出了InAs/GaAs QD材料在1550 nm调Q光纤激光器应用中的巨大潜力。 展开更多
关键词 INAS/gaas量子点 被动调Q光纤激光器 近红外(NIR) 量子点半导体可饱和吸收镜(QD-SESAM) 直线腔
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基于MOCVD技术的长波AlGaAs/GaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:10
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作者 李献杰 刘英斌 +6 位作者 冯震 过帆 赵永林 赵润 周瑞 娄辰 张世祖 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期435-438,共4页
采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流... 采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列。用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外响应光谱对单元测试器件进行了评估,针对不同材料结构,实现了9μm和10.9μm的截止波长;黑体探测率最高达到2.6×109 cm.Hz1/2.W-1。将128×128 AlGaAs/GaAs QWIP阵列芯片与CMOS读出电路芯片倒装焊互连,成功演示了室温环境下目标的红外热成像;并进一步讨论了提高QWIP组件成像质量的途径。 展开更多
关键词 MOCVD ALgaas/gaas 量子阱红外探测器 红外热成像
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2μm像元间距GaAs/AlGaAs量子阱红外焦平面探测器 被引量:6
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作者 史衍丽 曹婉茹 +2 位作者 周艳 杨明珠 何丹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期968-971,共4页
量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光... 量子阱焦平面探测器具有大面阵焦平面探测器重复性和均匀性好、成品率高、成本低等明显的产业化优势,在军民两用领域获得了广泛而重要的应用。为了尽快研制出全国产化高性能量子阱红外焦平面探测器,通过完全正向的器件设计,采用常规光刻和反应离子刻蚀方法,成功研制出87.1%的高占空比320×256长波量子阱焦平面探测器,峰值波长9μm,平均峰值探测率1.6×1010cm·Hz1/2·W-1。第一支样管的噪声等效温差为33.2mK,响应率不均应性8.9%,面阵盲元率1%。在70K温度下获得了1km和4.2km处的建筑物的清晰成像。实验结果充分显示了器件设计的正确性及研制技术的可控性。 展开更多
关键词 gaas/AIgaas 量子阱红外探测器 长波 焦平面 噪声等效温差
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MOCVD与MBE生长GaAs/AlGaAs量子阱材料的红外探测器特性比较 被引量:5
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作者 李娜 李宁 +9 位作者 陆卫 窦红飞 陈张海 刘兴权 沈学础 H.H.Tan LanFu C.Jagadish M.B.Johnston M.Gal 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期441-444,共4页
用金属有机物化学气相沉积法 ( MOCVD)生长 Ga As/Al Ga As量子阱材料 ,并制成红外探测器 .测量了材料的光致发光光谱和探测器的光电流响应光谱及其它光电特性 ,峰值波长7.9μm,响应率达到 6× 1 0 3V/W,与分子束外延法 ( MBE)生长... 用金属有机物化学气相沉积法 ( MOCVD)生长 Ga As/Al Ga As量子阱材料 ,并制成红外探测器 .测量了材料的光致发光光谱和探测器的光电流响应光谱及其它光电特性 ,峰值波长7.9μm,响应率达到 6× 1 0 3V/W,与分子束外延法 ( MBE)生长的材料和相关器件进行了比较 ,MOCVD法可满足量子阱材料和器件的要求 . 展开更多
关键词 ALgaas 量子阱 红外探测器 MOCVD 砷化镓
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Excitonic transitions in Be-doped GaAs/AlAs multiple quantum well
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作者 郑卫民 李素梅 +3 位作者 丛伟艳 王爱芳 李斌 黄海北 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第4期330-334,共5页
A series of GaAs/A1As multiple-quantum wells doped with Be is grown by molecular beam epitaxy. The photolu- minescence spectra are measured at 4, 20, 40, 80, 120, and 200 K, respectively. The recombination transition ... A series of GaAs/A1As multiple-quantum wells doped with Be is grown by molecular beam epitaxy. The photolu- minescence spectra are measured at 4, 20, 40, 80, 120, and 200 K, respectively. The recombination transition emission of heavy-hole and light-hole free excitons is clearly observed and the transition energies are measured with different quantum well widths. In addition, a theoretical model of excitonic states in the quantum wells is used, in which the symmetry of the component of the exciton wave function representing the relative motion is allowed to vary between the two- and three- dimensional limits. Then, within the effective mass and envelope function approximation, the recombination transition energies of the heavy- and light-hole excitons in GaAs/A1As multiple-quantum wells are calculated each as a function of quantum well width by the shooting method and variational principle with two variational parameters. The results show that the excitons are neither 2D nor 3D like, but are in between in character and that the theoretical calculation is in good agreement with the experimental results. 展开更多
关键词 gaas/gaa1As mulitiple quantum wells heavy- and light-hole excitons photoluminescence spec-tra variational calculation
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新型GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器暗电流特性 被引量:3
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作者 史衍丽 邓军 +6 位作者 杜金玉 廉鹏 高国 陈建新 沈光地 尹洁 吴兴惠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期503-506,共4页
对基于 Ga As/ Al Ga As系子带间吸收的一种新型量子阱红外探测器 ,采用 Poisson方程和 Schrodinger方程 ,计算了新器件结构的能带结构、电子分布特性 ,在此基础上采用热离子发射、热辅助遂穿模型对器件的暗电流特性进行了模拟 ,计算结... 对基于 Ga As/ Al Ga As系子带间吸收的一种新型量子阱红外探测器 ,采用 Poisson方程和 Schrodinger方程 ,计算了新器件结构的能带结构、电子分布特性 ,在此基础上采用热离子发射、热辅助遂穿模型对器件的暗电流特性进行了模拟 ,计算结果与器件实测的暗电流特性吻合得很好 ,说明热离子发射、热辅助遂穿机制是形成器件暗电流的主要构成机制 ,增加垒高、降低阱中掺杂浓度及降低工作温度是抑制器件暗电流的主要途径 ,计算结果对进一步优化器件的设计将起到重要的理论指导作用 . 展开更多
关键词 gaas/AIgaas 量子阱红外探测器 暗电流特性分析 砷化镓
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GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As量子阱红外探测器光谱特性研究 被引量:3
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作者 胡小英 刘卫国 +2 位作者 段存丽 蔡长龙 关晓 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第8期2305-2308,共4页
采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长Ga As/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm单元量子阱器件两种。利用傅里叶光谱仪对1#,2#样品进行77... 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长Ga As/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm单元量子阱器件两种。利用傅里叶光谱仪对1#,2#样品进行77K液氮温度光谱响应测试。实验结果显示1#,2#样品峰值响应波长分别为8.43μm,8.32μm,与根据薛定谔方程得到器件理论峰值波长8.5μm间误差分别为1.0%,2.1%。实验结果说明MOCVD技术可以满足QWIP生长制备工艺要求,且器件电极压焊点位置与面积大小对器件峰值波长影响不大,而对峰值电流有一定影响。 展开更多
关键词 GA As/Al0.3Ga0.7As 量子阱红外探测器 金属有机物化学气相沉积法 光谱特性
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GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As QWIP暗电流特性HRTEM研究 被引量:5
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作者 胡小英 刘卫国 +3 位作者 段存丽 蔡长龙 韩军 刘钧 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第9期3057-3060,共4页
采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长GaAs/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77~30... 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长GaAs/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77~300 K暗电流特性测试。结果显示,器件暗电流曲线呈现出正负偏压的不对称性。利用高分辨透射扫描电镜(HRTEM)获得样品纳米尺度横断面高分辨像,分析结果表明:样品横断面处存在不同程度的位错及不均匀性。说明样品内部穿透位错造成相位分离是引起量子阱光电性能变差的根本原因,不同生长次序中AlGaAs与GaAs界面的不对称性与掺杂元素的扩散现象加剧了暗电流曲线的不对称性。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 gaas/ALgaas 金属有机物化学气相沉积 暗电流 高分辨透射扫描电镜
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Raman spectrum study of δ-doped GaAs/AlAs multiple-quantum wells
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作者 郑卫民 丛伟艳 +3 位作者 李素梅 王爱芳 李斌 黄海北 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第1期514-519,共6页
Three samples of GaAs/A1As multiple-quantum wells with different quantum well widths and tS-doped with Be ac- ceptors at the well center were grown on (100) GaAs substrates by molecular beam epitaxy. Polarized Raman... Three samples of GaAs/A1As multiple-quantum wells with different quantum well widths and tS-doped with Be ac- ceptors at the well center were grown on (100) GaAs substrates by molecular beam epitaxy. Polarized Raman spectra were recorded on the three samples at temperatures in a range of 4-50 K in a backscattering configuration. The two branches of coupled modes due to the interaction of the hole intersubband transitions and the quantum-well longitudinal optical (LO) phonon were observed clearly. The evaluation formalism of the Green function was employed and each lineshape of the Raman spectrum of the coupled modes was simulated. The dependence of the peak position of Raman shifts of the two coupled modes as well as the quantum-well LO phonon on the quantum-well size and measured temperature were given, and the coupling interaction mechanism between the hole subband transitions and the quantum-well LO phonon was researched. 展开更多
关键词 coupled mode Raman spectrum δ-doped gaas/a1As multiple quantum wells
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新型GaAs/GaAlAs非对称量子阱红外光电导探测器
16
作者 史衍丽 邓军 +2 位作者 杜金玉 沈光地 尹洁 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期269-272,共4页
提出一种新型 Ga As/ Ga Al As子带间光吸收的红外光电导探测机理 ,利用 MOCVD系统进行器件材料的生长 ,研制了 2 0 0μm× 2 0 0μm的台面形式单管 ,测到了明显的红外光电流信号及阱间共振遂穿效应造成的负阻震荡现象 ,对器件的性... 提出一种新型 Ga As/ Ga Al As子带间光吸收的红外光电导探测机理 ,利用 MOCVD系统进行器件材料的生长 ,研制了 2 0 0μm× 2 0 0μm的台面形式单管 ,测到了明显的红外光电流信号及阱间共振遂穿效应造成的负阻震荡现象 ,对器件的性能测试结果表明 ,器件的光电流响应和信噪比随着阱数增加而增加 ,器件噪声比常规 Ga As/ Ga Al 展开更多
关键词 gaaLAS 非对称量子阱 红外探测器 砷化镓
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GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的设计 被引量:1
17
作者 刘红梅 董丽娟 吕良宇 《山西大同大学学报(自然科学版)》 2019年第3期14-16,52,共4页
随着探测领域的不断扩大和深入,人们对高性能量子阱红外探测器的需求也越来越迫切。为了解决这一问题,从量子阱红外探测器性能对探测器材料、结构的依赖作用入手,利用电磁仿真方法设计了5个周期的GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器。该探测... 随着探测领域的不断扩大和深入,人们对高性能量子阱红外探测器的需求也越来越迫切。为了解决这一问题,从量子阱红外探测器性能对探测器材料、结构的依赖作用入手,利用电磁仿真方法设计了5个周期的GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器。该探测器采用纵向层状三明治结构,顶部和底部由n型掺杂的GaAs接触层构成,中间是5个周期的GaAs/AlGaAs量子阱复合层。结果表明,该量子阱探测器的最优探测波段为978 nm,而且在近红外波段该红外探测器的反射峰值随着量子阱阱宽的增大向低频方向移动,其最优阱宽为5 nm,为获得高性能量子阱红外探测器提供理论支持。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 gaas/ALgaas 阱宽
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AlGaAs/GaAs量子阱探测器的吸收光谱研究 被引量:1
18
作者 赵昆 杨希峰 《红外》 CAS 2013年第7期15-19,共5页
从定态Schrodinger方程出发,研究了不同Al组分和不同温度对宽量子阱红外探测器吸收光谱的影响。当体系的费米能级固定后,发现量子阱基态束缚能随着A1组分增长而变大,且相应的吸收光谱峰值趋于短波。环境温度对A1GaAs/GaAs量子阱红外探... 从定态Schrodinger方程出发,研究了不同Al组分和不同温度对宽量子阱红外探测器吸收光谱的影响。当体系的费米能级固定后,发现量子阱基态束缚能随着A1组分增长而变大,且相应的吸收光谱峰值趋于短波。环境温度对A1GaAs/GaAs量子阱红外探测器的响应光谱影响不大。通过理论计算定量给出了A1GaAs/GaAs量子阱红外探测器吸收光谱随量子阱阱宽、Al组分和温度变化的规律。 展开更多
关键词 ALgaas gaas量子阱 量子阱红外探测器 吸收光谱
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一种新型GaAs/GaAlAs红外探测器的研究
19
作者 杜春霞 邓军 +4 位作者 李群 孔锐 王东凤 沈光地 尹洁 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 1996年第4期1-6,共6页
首次应用一种新的物理构想和工作机制设计了新型的GaAs/GaAlAs红外探测器,并进行了理论计算、器件研制和测试分析。结果表明,这种新型探测器与常规GaAs/GaAlAs量子阱红外探测器相比,具有一些新的特点。理论计... 首次应用一种新的物理构想和工作机制设计了新型的GaAs/GaAlAs红外探测器,并进行了理论计算、器件研制和测试分析。结果表明,这种新型探测器与常规GaAs/GaAlAs量子阱红外探测器相比,具有一些新的特点。理论计算和实验结果得到了很好的一致性。给出了这种新型器件电流输运的计算方法;得到较低的暗电流,较宽的光吸收谱(5~10μm);得到了新型器件的红外辐射下的光电流响应;初步给出了新型器件工作点的选取方法;模拟计算表明,增加周期个数,将会得到更大的光电流响应。 展开更多
关键词 红外探测器 低暗电流 砷化镓 gaaLAS 量子阱
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320×256 GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器 被引量:17
20
作者 史衍丽 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第1期42-44,101,共4页
采用n型GaAs/AlGaAs量子阱材料,反应离子刻蚀RIE设备进行光栅、像元分割刻蚀,制备了320×256格式的长波量子阱红外探测器,像元中心距30μm,像元光敏面28μm×28μm,两像元间距2μm,达到了目前国际上1k×1k量子阱焦平面探测... 采用n型GaAs/AlGaAs量子阱材料,反应离子刻蚀RIE设备进行光栅、像元分割刻蚀,制备了320×256格式的长波量子阱红外探测器,像元中心距30μm,像元光敏面28μm×28μm,两像元间距2μm,达到了目前国际上1k×1k量子阱焦平面探测器像元间距研制水平。通过对320×256阵列上设计的陪管区进行光电性能测试,平均黑体探测率1.66×109 cm.Hz/W-1,响应率89.6 mA/W。 展开更多
关键词 320×256 gaas/ALgaas 量子阱红外探测器 黑体探测率 响应率
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