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题名基于AD7150微位移电容传感器的研究
被引量:4
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作者
黄林
陈向东
谢宁宁
李晓钰
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机构
西南交通大学信息科学与技术学院
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期425-428,441,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61171050)
电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题(KFJJ201015)
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文摘
利用了集成芯片AD7150完成了对微位移电容传感器的电容采样。对AD7150芯片设计了相应的外接电路,为了增强电路的抗干扰能力,加入相应滤波电路;通过单片机模拟I2C通信方式来进行AD7150的读写控制。测量结果给出了10 pF以下不同标称电容值的电容,误差在2.5%以内。初步实验结果表明,当接入双叉电容传感器探头时,电容值随测量距离的增大而增加;在不同位移量下,传感器的灵敏度不同,距离越近,灵敏度越高,最大灵敏度为686 fF/mm,给出了不同情况下的灵敏度分布,并总结了影响电容传感器工作的电路要点。
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关键词
电容位移传感器
ad7150芯片
I2C
电容数字转换器
滤波电路
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Keywords
micro-displacement capacitance sensor
ad7150 chip
I2C
capacitance to digital converter
filter circuit (CDC)
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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