高精密圆度仪的研究与设计

研究了高精密圆度仪电气部分与测量软件部分,利用线性差动变压器式位移传感器与AD698驱动芯片作为信号前端,精确地将待测工件表面的机械位移量转换成单极性或双极性的直流电压;应用MSP430单片机和18位AD7691数模转换芯片采集电压信号传入上位机,最终用相应的软件进行数据分析;应用结果表明,标准件的圆度值重复精度达到了30nm以下,标准玻璃球的圆度误差达到了0.05μm左右;该系统运行稳定可靠,精确度高,并且降低了系统的功耗,具有一定的实用性和推广价值。