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全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能
被引量:
5
1
作者
刘洪喜
蒋业华
+1 位作者
周荣
汤宝寅
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期108-112,118,共6页
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)...
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10%。以纯石墨棒做阴极,C2H2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp3键含量高。与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍。
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关键词
类金刚石碳膜(DLC)
等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)
RAMAN光谱
aisi440c
不锈钢
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职称材料
题名
全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能
被引量:
5
1
作者
刘洪喜
蒋业华
周荣
汤宝寅
机构
昆明理工大学机电工程学院
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期108-112,118,共6页
基金
国家自然科学基金项目(50671045)
云南省自然基金项目(2008ZC021M)
昆明理工大学分析测试基金(2009-022)
文摘
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10%。以纯石墨棒做阴极,C2H2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp3键含量高。与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍。
关键词
类金刚石碳膜(DLC)
等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)
RAMAN光谱
aisi440c
不锈钢
Keywords
diamond-like carbon(DLC) film
plasma immersion ion implantation and deposition(PIIID)
raman spectroscopy analysis
aisi440c stainless steel
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能
刘洪喜
蒋业华
周荣
汤宝寅
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
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职称材料
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