带分段环形路径AGV的制造系统排队网建模与分析

针对含物料自动运输环节(automated material handling unit,AMHU)的个性化定制生产系统性能分析问题,文章着重考虑其随机批量运输的特点,提出了该系统的开排队网建模方法。对含AMHU的生产系统进行了描述,并建立其排队网模型;采用改良状态空间分解法,建立了节点状态空间模型,求解并计算出生产系统的性能指标值;与生产系统仿真模型的实验结果进行对比,验证了所提方法的精确性和有效性,为进一步优化配置该类生产系统的资源奠定了基础。

整体式晶圆连续自动物料搬运系统性能分析

为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型。在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型。在考虑加工设备有限缓存容量、损失晶舟循环反馈的情况下,应用M/M/1/K模型及其反馈特性构建Intrabay的性能分析模型。以24个Intrabay的300mm晶圆制造系统为例来验证分析模型。通过与A-rena软件仿真结果对比分析,证明了数学分析模型在评估系统在制品、设备利用率等相关性能方面的准确性。