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Spectroscopic ellipsometric study of the optical properties of Ag_2O film prepared by direct-current magnetron reactive sputtering 被引量:1
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作者 郜小勇 冯红亮 +1 位作者 马姣民 张增院 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第9期291-296,共6页
The Ag2O film, as-dcposited by direct-current magnetron reactive sputtering at a substrate temperature of 150 ℃, clearly shows a preferential orientation (111), and is capable of lowering the threshold value of the... The Ag2O film, as-dcposited by direct-current magnetron reactive sputtering at a substrate temperature of 150 ℃, clearly shows a preferential orientation (111), and is capable of lowering the threshold value of the thermal decomposition temperature to about 200℃, which is helpful to its application in optical and magneto-optical storage. This paper fits its optical constants in terms of a general oscillator model by using measured ellipsometric parameters. The fitted oscillator energy 2.487 eV is close to the optical direct interband transition energy value of the Ag2O film determined by Tauc equation; whereas, the fitted oscillator energy 4.249 eV is far from the fitted plasma oscillator energy 4.756 eV by single-oscillator energy. The photoluminescence spectrum centred at about 2.31 eV indicates a direct-energy gap photoluminescence mechanism of the Ag2O film. 展开更多
关键词 ag2o film spectroscopic ellipsometry general oscillator model single-oscillator model
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Effects of the sputtering power on the crystalline structure and optical properties of the silver oxide films deposited using direct-current reactive magnetron sputtering
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作者 郜小勇 张增院 +3 位作者 马姣民 卢景霄 谷锦华 杨仕娥 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第2期370-375,共6页
This paper reports that a series of silver oxide (AgzO) films are deposited on glass substrates by direct-current reactive magnetron sputtering at a substrate temperature of 250 ℃ and an oxygen flux ratio of 15:18... This paper reports that a series of silver oxide (AgzO) films are deposited on glass substrates by direct-current reactive magnetron sputtering at a substrate temperature of 250 ℃ and an oxygen flux ratio of 15:18 by modifying the sputtering power (SP). The AgxO films deposited apparently show a structural evolution from cubic biphased (AgO + Ag20) to cubic single-phased (Ag20), and to biphased (Ag20 + AgO) structure. Notably, the cubic single-phased Ag20 fihn is deposited at the SP = 105 W and an AgO phase with (220) orientation discerned in the Ag^O films deposited using the SP 〉 105 W. The transmissivity and refiectivity of the AgxO films in transparent region decrease with the increase the SP, whereas the absorptivity inversely increases with the increase of the SP. These results may be due to the structural evolution and the increasing film thickness. A redshift of the films' absorption edges determined in terms of Tauc formula clearly occurs from 3.1 eV to 2.73 eV with the increase of the SP. 展开更多
关键词 ag2o film direct-current reactive magnetron sputtering x-ray diffraction optical prop-erties
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氧化银薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响 被引量:5
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作者 冯红亮 粱艳 +5 位作者 郜小勇 林清耿 张增院 马姣民 卢景霄 宁皓 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期211-214,共4页
保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着... 保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着OFR的升高,氧化银薄膜呈现了从Ag+Ag2O多晶结构到Ag2O多晶结构的演变。薄膜的表面相应地呈现了从疏松的多孔结构到类金字塔结构的演变。较高的Ag2O含量和致密的表面形貌有利于薄膜可见和红外区的透光性,而较高的银含量和疏松的多孔结构则造成对光的强烈吸收,急剧地降低了薄膜的透射率和反射率。特别是在OFR为0.5条件下成功制备了具有(111)择优取向的Ag2O多晶薄膜,有效地将氧化银热分解的临界温度降低到200℃左右。 展开更多
关键词 氧化银薄膜 直流反应磁控溅射 ag2o薄膜 快速热处理
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溅射功率对射频磁控反应溅射制备的Ag_2O薄膜微结构的影响 被引量:2
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作者 马姣民 梁艳 郜小勇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期283-286,共4页
利用射频磁控溅射技术,通过调节溅射功率(P)在200℃、氧氩比为2∶3条件下在玻璃衬底上制备了一系列氧化银(Ag2O)薄膜。利用X射线衍射谱和扫描电子显微镜重点研究了P对Ag2O薄膜微结构的影响。研究结果表明Ag2O薄膜具有(111)择优取向,这... 利用射频磁控溅射技术,通过调节溅射功率(P)在200℃、氧氩比为2∶3条件下在玻璃衬底上制备了一系列氧化银(Ag2O)薄膜。利用X射线衍射谱和扫描电子显微镜重点研究了P对Ag2O薄膜微结构的影响。研究结果表明Ag2O薄膜具有(111)择优取向,这可能归结于(111)面的表面自由能最低。随着P从120 W增大到240 W,Ag2O薄膜(111)方向的平均晶粒尺寸从22.92 nm增大到27.96 nm,薄膜的表面结构呈现了从均匀、致密的表面结构向疏松、多孔洞的表面结构的演变。Ag2O(111)衍射峰的2θ角与标准值偏差(2θshift)随P的增大先减小后增大,(111)衍射峰峰位向2θ增大的方向发生了明显的移动。根据量子尺寸效应,薄膜的应力与晶粒尺寸呈反比关系,因此薄膜的应力随P的增大先减小后增大。P=240 W时薄膜的应力最小。从应力的角度,这基本可以合理解释P=210 W时制备的Ag2O薄膜的结晶质量最好,尽管与实验结果有些差异。 展开更多
关键词 ag2o薄膜 射频磁控溅射 X射线衍射 微结构
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ZnO:Ag薄膜的生长及电学性质研究 被引量:1
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作者 隋成华 徐天宁 +3 位作者 郑东 蔡霞 夏娟 原子健 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第4期702-705,共4页
p-型ZnO材料因在紫外光电器件方面的潜在应用价值而受到人们的广泛关注。采用反应电子束蒸发法在白宝石上生长了ZnO:Ag薄膜,生长温度范围从150~250°C。研究表明:在该温度范围生长的ZnO:Ag薄膜具有n-型导电特征,但通过退火可以实... p-型ZnO材料因在紫外光电器件方面的潜在应用价值而受到人们的广泛关注。采用反应电子束蒸发法在白宝石上生长了ZnO:Ag薄膜,生长温度范围从150~250°C。研究表明:在该温度范围生长的ZnO:Ag薄膜具有n-型导电特征,但通过退火可以实现p-型导电。当退火温度为300°C时,ZnO:Ag薄膜的空穴浓度为2.8×1016 cm-3,电阻率为1.0 kΩ.cm,空穴的迁移率为0.22 cm2/V.s。当在350°C下进一步退火,薄膜仍为p-型导电,但空穴浓度减小为2.1×1015 cm-3,电阻率增大到5.0 kΩ.cm。通过对ZnO:Ag薄膜的X射线衍射谱分析发现,ZnO:Ag电学性质的变化与薄膜中Ag+替代Zn2+的浓度有关。 展开更多
关键词 p-型导电 ZNO薄膜 ag2o 反应电子束蒸发
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含Ag_2O型高密度聚乙烯基真空蒸镀复合膜的抗菌性研究 被引量:2
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作者 李亚娜 孙彦铮 +3 位作者 张岩松 杜丽平 孙岩 贺庆辉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期129-133,共5页
本文通过真空蒸镀法制备得到含银型高密度聚乙烯(HDPE)基抗菌复合膜(Ag2O/HDPE),利用原子力显微镜、扫描电子显微镜及原子吸收光谱法测试手段对膜进行了表征,并考察了复合膜的抗菌动力学和抗菌长效性,以及对细菌的黏附性。结果表明,HDP... 本文通过真空蒸镀法制备得到含银型高密度聚乙烯(HDPE)基抗菌复合膜(Ag2O/HDPE),利用原子力显微镜、扫描电子显微镜及原子吸收光谱法测试手段对膜进行了表征,并考察了复合膜的抗菌动力学和抗菌长效性,以及对细菌的黏附性。结果表明,HDPE上的银离子含量为7.0020μg/cm2,无机镀层厚度为17.2 nm。抗菌实验发现,复合膜能在3 h内将大肠杆菌和金黄色葡萄球菌全部杀死,并且无机镀层能在一定程度上提高膜表面平滑度,减少细菌在膜表面上的黏附量。但由于无机镀层与HDPE基膜的结合力不够强,该膜不具有抗菌长效性。 展开更多
关键词 抗菌性 无机/有机复合膜 真空蒸镀ag2o镀层
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Ag/Ag_2O/Pt非易失存储的双极性电阻转变
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作者 董春颖 孙光兰 +1 位作者 陈伟 侯登录 《河北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2015年第6期490-494,共5页
采用脉冲激光沉积系统制备了Ag/Ag2O/Pt器件并对其电致电阻特性进行了研究.结果表明,所制备的器件在电场触发下具有较好的高低电阻转变特性,器件具有较好的抗疲劳性和温度、时间稳定性.微区XPS测试证明样品电致电阻效应的内在机制是Ag2... 采用脉冲激光沉积系统制备了Ag/Ag2O/Pt器件并对其电致电阻特性进行了研究.结果表明,所制备的器件在电场触发下具有较好的高低电阻转变特性,器件具有较好的抗疲劳性和温度、时间稳定性.微区XPS测试证明样品电致电阻效应的内在机制是Ag2O的氧化还原反应. 展开更多
关键词 阻变存储器 ag2o薄膜 电致电阻 氧化还原反应
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基于第一性原理的氧化银纳米薄膜光学性质的研究
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作者 许晔 张文舒 韩培德 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期621-627,共7页
采用密度泛函理论构建了氧化银表面结构,并分析了薄膜厚度对结构稳定性及光学性质的影响规律,得出了氧化银(100)、(110)和(111)纳米薄膜的折射率、介电函数。研究表明,纳米薄膜的折射率、介电函数在可见光波段均低于块体,对(100)和(110... 采用密度泛函理论构建了氧化银表面结构,并分析了薄膜厚度对结构稳定性及光学性质的影响规律,得出了氧化银(100)、(110)和(111)纳米薄膜的折射率、介电函数。研究表明,纳米薄膜的折射率、介电函数在可见光波段均低于块体,对(100)和(110)面来说,随着薄膜厚度的增加,其折射率、介电函数实部逐渐增加并接近于块体。而对于消光系数来讲,这三个表面构成的纳米薄膜均低于块体,尤其(111)面的吸收相对于另外两个面来说更小,其中21层和24层相对更小。因此可以得出结论:由氧化银纳米薄膜构建的光存储和磁光存储纳米薄膜器件,具有更高的透过率。 展开更多
关键词 氧化银 纳米薄膜 DFT 光学性质
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ITO/PZT-Ag2O/Pt铁电薄膜的光伏特性 被引量:1
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作者 代智华 鲍育文 +2 位作者 张婧娇 苏晓东 章灵军 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期544-548,共5页
研究了在透明导电ITO玻璃衬底上制备PZT-Ag2O铁电薄膜的工艺条件,并测量和表征了在不同衬底温度下生长的薄膜的相结构、表面形貌、铁电性能和光电特性。结果表明:在ITO玻璃衬底上可制备出铁电性能较好的PZT-Ag2O铁电薄膜;ITO/PZT-Ag2O/P... 研究了在透明导电ITO玻璃衬底上制备PZT-Ag2O铁电薄膜的工艺条件,并测量和表征了在不同衬底温度下生长的薄膜的相结构、表面形貌、铁电性能和光电特性。结果表明:在ITO玻璃衬底上可制备出铁电性能较好的PZT-Ag2O铁电薄膜;ITO/PZT-Ag2O/Pt铁电器件实现了可见光响应,其短路光电流和开路电压随极化电压的变化呈回线关系;产生这一现象的物理机制为:光生短路电流和开路电压的大小取决于退极化场和界面肖特基势垒的综合作用,不同的外加极化电压在PZT薄膜诱导出强度不同的退极化场,从而使光生短路电流和开路电压与外加极化电压呈回线型关系。 展开更多
关键词 无机非金属材料 PZT-ag2o薄膜 ITO玻璃衬底 电滞回线 光伏特性
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真空热退火温度对单相Ag_2O薄膜微结构和光学性质的影响 被引量:1
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作者 张增院 郜小勇 +2 位作者 冯红亮 马姣民 卢景霄 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期442-447,共6页
利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响.研究结... 利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响.研究结果表明,TA=300℃时Ag2O薄膜中开始出现Ag纳米颗粒,且随着TA的升高薄膜中Ag的含量明显增加.特别是当TA=475℃时Ag2O相完全转化为Ag.随着TA的升高,薄膜的表面形貌发生了由致密到疏松的结构演变.薄膜微结构的变化显示在真空热退火过程中伴随着Ag2O相热分解为Ag和O原子及O原子在体内的扩散和从表面的逃逸过程.薄膜的透射率、反射率和吸收率随TA的变化归结于热退火过程中Ag2O的热分解和薄膜结构的演变. 展开更多
关键词 ag2o薄膜 热退火温度 微结构 光学性质
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