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蓝绿激光作用下沉积态Ag_(11)In_(12)Sb_(51)Te_(26)相变薄膜的晶化性能 被引量：1
1
作者 张广军 顾冬红 干福熹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1351-1355,共5页
用反射率对比度来衡量晶化程度,分别探讨了脉宽为500ns,100ns,60ns的蓝绿激光(514nm)作用下沉积态Ag11In12Sb51Te26相变薄膜的晶化性能,表明Ag11In12Sb51Te26相变薄膜在蓝绿激光下可具有较高的晶化速度。对比分析了热致晶化后的Ag11In12... 用反射率对比度来衡量晶化程度,分别探讨了脉宽为500ns,100ns,60ns的蓝绿激光(514nm)作用下沉积态Ag11In12Sb51Te26相变薄膜的晶化性能,表明Ag11In12Sb51Te26相变薄膜在蓝绿激光下可具有较高的晶化速度。对比分析了热致晶化后的Ag11In12Sb51Te26薄膜在514nm处的反射率对比度,结果表明激光晶化和热致晶化后薄膜的反射率对比度有明显差别,分别为8%和192%。 展开更多
关键词 薄膜 相变薄膜 蓝绿激光 ag11in12sb51te26 晶化 反射率对比度
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