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基于ALE算法的水射流破土特性 被引量:1
1
作者 杨志鹏 刘剑 +2 位作者 蓝雄东 王观石 罗嗣海 《科学技术与工程》 北大核心 2023年第15期6378-6384,共7页
为探究水射流破土过程中射流参数对破土特性的影响,通过拉格朗日-欧拉方法(Arbitrary Lagrange-Euler, ALE)流固耦合算法建立了淹没状态下水射流破土的数值模型,开展水射流破土的室内试验验证了数值计算结果的准确性。基于数值模型分析... 为探究水射流破土过程中射流参数对破土特性的影响,通过拉格朗日-欧拉方法(Arbitrary Lagrange-Euler, ALE)流固耦合算法建立了淹没状态下水射流破土的数值模型,开展水射流破土的室内试验验证了数值计算结果的准确性。基于数值模型分析不同射流速度和靶距下冲蚀深度与体积的变化特征,探讨射流参数对破土特性的影响机制。研究结果表明:水射流破土形成的冲蚀深度随着射流速度的增大而逐渐变大,且随着射流时间的增加会呈现线性增长、缓慢稳定增长和稳定三个阶段;靶距越大冲蚀深度越小,但冲蚀体积受射流速度的影响较大,在低速时冲蚀体积随靶距的减小而增大,而在高速时冲蚀体积则会先减小后增大再减小;基于试验结果分析敏感性可知射流速度对冲蚀深度与体积的影响程度要大于靶距。 展开更多
关键词 alE算法 水射流破土 数值模拟 靶距
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Effect of Cold Deformation and Annealing on Microstructure of Al-Ti Alloy Target for Sputter Deposition
2
作者 吴丽君 夏慧 +2 位作者 袁冠森 陆彪 刘安生 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2000年第3期187-191,196,共5页
The microstructure of the Al Ti alloy was studied.It was found that Al x Ti( x <5.0wt%) alloy consists of two phases,the solid solution of titanium in aluminum and the intermetallic compound Al 3Ti.The allo... The microstructure of the Al Ti alloy was studied.It was found that Al x Ti( x <5.0wt%) alloy consists of two phases,the solid solution of titanium in aluminum and the intermetallic compound Al 3Ti.The alloy was deformed by rolling and heat treated.The results show that the second phase precipitates are broken and refined in the matrix by large amount of cold work and crystalline grains are refined by annealing after the cold work.Deformation and heat treatment can improve the distribution of second phase of precipitates in the matrix to certain extent. 展开更多
关键词 al Ti alloy target Microstructure
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Fabrication and properties of ZAO powder,sputtering target materials and the related films 被引量:6
3
作者 Wei Shao Ruixin Ma Bin Liu 《Journal of University of Science and Technology Beijing》 CSCD 2006年第4期346-349,共4页
Aluminum-doped zinc oxide (ZnO:Al), abbreviated as ZAO, is a novel and widely used transparent conductive material. The ZAO powder was synthesized by chemical coprecipitation. The ZAO ceramic sputtering target mate... Aluminum-doped zinc oxide (ZnO:Al), abbreviated as ZAO, is a novel and widely used transparent conductive material. The ZAO powder was synthesized by chemical coprecipitation. The ZAO ceramic sputtering target materials were fabricated by sintering in air, and ZAO transparent conductive films were prepared by RF magnetron sputtering on glass substrates. XRD proved that such films had an orientation of (002) crystal panel paralleled to the surface of the glass substrate. The average transmittance of the films in the visible region exceeded 80%. 展开更多
关键词 transparent conductive film al-doped zinc oxide chemical coprecipitation sputtering target materials
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Research on fabricating technique of Ba-Al-S:Eu sputtering target
4
作者 丁曌 喻志农 +2 位作者 张东璞 薛唯 王武育 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期399-402,共4页
Ba-Al-S-Eu sputtering target for blue emitting phosphors was prepared by powder sintering method. XRD patterns showed that the main components of the target were barium tetra aluminum sulfide (BaAl4S7), bariutm sulf... Ba-Al-S-Eu sputtering target for blue emitting phosphors was prepared by powder sintering method. XRD patterns showed that the main components of the target were barium tetra aluminum sulfide (BaAl4S7), bariutm sulfide (BaS), and europium sulfide (EuS). In the samples, part of the barium and aluminum are formed into barium aluminum oxide (BaAl2O4) with the impurity element of oxygen. The PL characteristic spectra of the target showed the 470 nm blue emission obviously, and the Ba-Al-S thin films also transmitted a purple-blue emission at the position of 440 nm.The results indicated that this method was suitable for the fabrication of the Ba-Al-S:Eu sputtering target. 展开更多
关键词 Ba-al-S:Eu sputtering target powder sintering rare earths
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远程靶基距Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结薄膜溅射制备技术研究
5
作者 王振宇 曾九孙 +5 位作者 高鹤 王仕建 徐达 钟青 李劲劲 王雪深 《计量学报》 CSCD 北大核心 2023年第9期1333-1338,共6页
高质量Nb/Al-AlO x/Nb三层膜制备是基于超导-绝缘-超导型(SIS)约瑟夫森结的量子电压标准芯片和超导量子干涉器件的关键工艺。针对远程靶基距直流磁控溅射工艺条件,研究溅射气氛和溅射功率对Nb、Nb/Al薄膜结构、形貌和电学性质的影响。A... 高质量Nb/Al-AlO x/Nb三层膜制备是基于超导-绝缘-超导型(SIS)约瑟夫森结的量子电压标准芯片和超导量子干涉器件的关键工艺。针对远程靶基距直流磁控溅射工艺条件,研究溅射气氛和溅射功率对Nb、Nb/Al薄膜结构、形貌和电学性质的影响。Ar气流量20 mL/min,0.53 Pa,600 W制备的Nb膜的应力接近零压力,粗糙度仅为1.05 nm,超导转变温度9.2 K,剩余电阻比达到5.33。0.53 Pa,450 W制备的150 nm Nb上10 nm Al膜粗糙度仅为1.51 nm,完全覆盖底层Nb膜。以此条件制备的Nb/Al-AlO x/Nb SIS结能隙电压达到2.6 mV,表明远程溅射可以实现SIS结工艺所需高质量三层膜。 展开更多
关键词 计量学 Nb/al-alO x/Nb约瑟夫森结 磁控溅射 靶基距 薄膜沉积
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气压对激光烧蚀Al等离子体中粒子速度的影响 被引量:6
6
作者 张树东 陈冠英 +1 位作者 刘亚楠 董晨钟 《原子核物理评论》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期206-208,共3页
在背景气压为 8× 10 - 3 — 10 0Pa范围内 ,通过测量脉冲激光烧蚀平面Al靶产生的等离子体辐射谱的时间分辨特征 ,比较空间不同点辐射的飞行时间轮廓的相对延迟 ,从而得到辐射粒子速度及其空间分布 .利用绝热膨胀的理论和激波模型... 在背景气压为 8× 10 - 3 — 10 0Pa范围内 ,通过测量脉冲激光烧蚀平面Al靶产生的等离子体辐射谱的时间分辨特征 ,比较空间不同点辐射的飞行时间轮廓的相对延迟 ,从而得到辐射粒子速度及其空间分布 .利用绝热膨胀的理论和激波模型分别对背景气压小于 0 .6Pa的结果和 5Pa时的结果作了分析 ,并得出激波的波面基本上为柱对称 . 展开更多
关键词 激光烧蚀 al 激光等离子体 平面铝靶 粒子速度分布 激波模型 背景气压 铝原子
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Al靶电流对复合离子镀TiAlCN薄膜组织结构与性能的影响 被引量:3
7
作者 王晓峰 赵瑞山 任鑫 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期6-11,共6页
TiAlCN集TiAlN和TiCN优良特性,作为一种新型硬质薄膜材料具有重要应用,目前研究主要集中在单一工艺下薄膜的组织结构和力学性能,对于薄膜耐蚀性的研究鲜有报道。通过复合离子镀技术制备了一系列TiAlCN薄膜,着重研究了Al靶电流对薄膜组... TiAlCN集TiAlN和TiCN优良特性,作为一种新型硬质薄膜材料具有重要应用,目前研究主要集中在单一工艺下薄膜的组织结构和力学性能,对于薄膜耐蚀性的研究鲜有报道。通过复合离子镀技术制备了一系列TiAlCN薄膜,着重研究了Al靶电流对薄膜组织结构与性能的影响规律。结果表明:不同Al靶电流下制备的TiAlCN薄膜表面光滑、平整,组织结构致密,适当增大靶电流可使薄膜表面颗粒、凹坑及针孔等缺陷数量减少,表面形貌得到改善; TiAlCN薄膜形成fcc-TiN型(Ti,Al)(C,N)相为主的多相混合结构,且随着Al靶电流的增大,薄膜发生生长取向的转变; TiAlCN薄膜的平均硬度与弹性模量随Al靶电流的升高先增大后减小,在靶电流60 A时达到最大值,分别为36.8 GPa和410 GPa,显著高于SS304的4.8 GPa和150 GPa; SS304表面镀覆TiAlCN薄膜后其自腐蚀电位上升,自腐蚀电流密度减小,随着Al靶电流的增加,薄膜的耐腐蚀性能逐渐提高,靶电流为60 A所得薄膜的自腐蚀电流密度和极化电阻分别为0.129μA/cm^2和430.500 kΩ·cm^2,腐蚀速率最小,具有良好的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 复合离子镀 TialCN薄膜 al靶电流 组织结构 耐腐蚀性能
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脉冲紫外激光和X射线辐照Al靶冲量耦合的异同性 被引量:1
8
作者 王玉恒 赵学庆 +2 位作者 谭晓莉 刘峰 丁升 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期463-469,共7页
为了探索不同脉冲束辐照热-力学效应的相似性关系,同时为实验室开展激光模拟X射线热力学效应研究提供参考,分析了脉冲紫外激光(0.308μm)和X射线辐照Al靶喷射冲量的异同性。首先,对二者辐照热-力学效应机理的异同性进行了比较;其次,理... 为了探索不同脉冲束辐照热-力学效应的相似性关系,同时为实验室开展激光模拟X射线热力学效应研究提供参考,分析了脉冲紫外激光(0.308μm)和X射线辐照Al靶喷射冲量的异同性。首先,对二者辐照热-力学效应机理的异同性进行了比较;其次,理论和实验研究了两种脉冲束辐照Al靶引起的喷射冲量,对较低能注量(小于100 J/cm2)条件下两种脉冲束产生喷射冲量的大小进行了对比。研究结果表明,在低能量密度条件下(小于100 J/cm2)由于没有等离子体屏蔽现象,两种脉冲束辐照靶材产生喷射冲量的机理近似。相同能注量条件下,激光与X射线辐照Al靶产生的喷射冲量具有相同的数量级,均小于102。两种脉冲束在一定范围内具有一定的可比性。 展开更多
关键词 脉冲紫外激光 X射线 铝靶 热-力学效应 喷射冲量 异同性
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高纯Al合金与6061Al合金的电子束焊接 被引量:5
9
作者 何金江 郭力山 +1 位作者 王欣平 孙秀霞 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第19期33-35,共3页
高纯铝合金溅射靶是重要的半导体集成电路镀膜用材料。本文将电子束焊接技术应用于溅射靶的制备,研究镀膜用高纯AlCu0.5合金(纯度>99.9995%)与6061(?)合金的焊接工艺。通过显微组织和力学性能分析表明,高纯AlCu0.5与6061(?)具有良好... 高纯铝合金溅射靶是重要的半导体集成电路镀膜用材料。本文将电子束焊接技术应用于溅射靶的制备,研究镀膜用高纯AlCu0.5合金(纯度>99.9995%)与6061(?)合金的焊接工艺。通过显微组织和力学性能分析表明,高纯AlCu0.5与6061(?)具有良好的焊接成形,通过合适的线能量输入,焊接接头具有较佳的显微组织和力学性能。能够满足靶材焊接的严格要求。 展开更多
关键词 高纯铝 溅射靶材 电子束焊接 组织性能
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孪生对靶直流磁控溅射制备ZnO:Al薄膜及其特性研究 被引量:10
10
作者 李微 孙云 +2 位作者 何青 刘芳芳 李凤岩 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期761-764,815,共5页
本文以ZnO:A l(ZAO)陶瓷为靶材,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出高质量的铝掺杂氧化锌透明导电膜,研究了该薄膜的结构、光电及力学特性。采用孪生对靶制备ZAO薄膜可使样品避开等离子体直接轰击,减少基底薄膜的损伤。制... 本文以ZnO:A l(ZAO)陶瓷为靶材,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出高质量的铝掺杂氧化锌透明导电膜,研究了该薄膜的结构、光电及力学特性。采用孪生对靶制备ZAO薄膜可使样品避开等离子体直接轰击,减少基底薄膜的损伤。制备的薄膜具有结晶程度高、电阻率低、迁移率高等优点。ZAO薄膜的最低电阻率达到了4.47×10-4Ω.cm,在可见光区的平均透过率达到85%以上,非常适合做为铜铟硒(C IS)薄膜太阳电池窗口层。 展开更多
关键词 孪生对靶 磁控溅射 ZNO:al
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热蒸发制备自支撑Al平面薄膜靶的参数测量 被引量:3
11
作者 周斌 赖珍荃 +5 位作者 徐平 沈军 邓忠生 吴广明 张勤远 王珏 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期294-296,325,共4页
以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑 Al平面薄膜靶。该靶用于惯性约束聚变( I C F)精密化分解实验,研究驱动激光光束不均匀性对瑞利泰勒流体力学不稳定性的影响。以卢瑟福背散射( R B S)、俄歇电子能谱( A E S)、... 以热蒸发工艺制备微结构可控的自支撑 Al平面薄膜靶。该靶用于惯性约束聚变( I C F)精密化分解实验,研究驱动激光光束不均匀性对瑞利泰勒流体力学不稳定性的影响。以卢瑟福背散射( R B S)、俄歇电子能谱( A E S)、扫描电子显微镜( S E M )和αstep 500 台阶仪测量 Al 薄膜靶的靶参数。 Al膜厚度为微米量级,表面稳定的氧化层厚度约为 7 nm ,膜密度为2312 g·cm - 3,颗粒度01 μm ,表面粗糙度平均值为53 nm 。测试结果表明:热蒸发工艺制备出的自支撑 Al平面薄膜靶的厚度、表面平整度及均匀性基本符合 I C F 分解实验所提出的技术要求。 展开更多
关键词 平面薄膜靶 自支撑 热蒸发 微结构 铝靶 ICF
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激光烧蚀Al靶产生的等离子体信号的飞行时间测量 被引量:1
12
作者 胡芳林 张树东 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第1期50-55,共6页
利用快速存贮示波器 ( 10 0MHz)对脉冲激光烧蚀固体Al靶产生的等离子体信号的飞行时间特征进行了测量 .在YAG脉冲激光基频输出 (脉宽 10ns ,波长 1 0 6μm ,能量 10 8mJ/pulse)、烧蚀斑的直径为 2 0 0 μm、靶面上激光功率密度约为 1... 利用快速存贮示波器 ( 10 0MHz)对脉冲激光烧蚀固体Al靶产生的等离子体信号的飞行时间特征进行了测量 .在YAG脉冲激光基频输出 (脉宽 10ns ,波长 1 0 6μm ,能量 10 8mJ/pulse)、烧蚀斑的直径为 2 0 0 μm、靶面上激光功率密度约为 1× 10 11W/cm2 的条件下 ,分别在靶和靶前方的探极测到带电粒子信号 .通过这些信号的飞行时间轮廓 ,观测到持续时间与激光脉宽相当的峰值极大的快速光电子和持续时间达 μs的等离子体中的热电子 ,并估算出快速光电子的平均速度在 10 7cm/s以上 .同时测得离子动能达几百eV .实验还表明 ,真空度对信号轮廓有很大影响 ,结合光谱实验的结果 ,给予了适当的解释 . 展开更多
关键词 激光等离子体 平面al 电信号 飞行时间测量 激光烧蚀
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我国抗ALS类除草剂油菜种质创制与研究进展 被引量:8
13
作者 胡茂龙 浦惠明 张洁夫 《中国油料作物学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期679-686,共8页
化学除草是控制田间草害的有效手段,但我国油菜化学除草面积非常有限。创制对特定除草剂具有选择抗性的油菜新种质,选育抗性品种是实现我国油菜化学除草的有效途径。乙酰乳酸合酶(acetolactate synthase,ALS)类除草剂具有高效低量、选... 化学除草是控制田间草害的有效手段,但我国油菜化学除草面积非常有限。创制对特定除草剂具有选择抗性的油菜新种质,选育抗性品种是实现我国油菜化学除草的有效途径。乙酰乳酸合酶(acetolactate synthase,ALS)类除草剂具有高效低量、选择性强、杀草谱广等优点,在生产上得到广泛应用。本文简述了ALS基因及其突变产生抗性的机制,着重介绍我国基于ALS靶酶突变的抗除草剂油菜种质创制、抗性生理生化和分子机理等方面的研究进展,并探讨了抗除草剂新种质在油菜抗性新品种选育、杂交油菜制种及抗性基因在转基因工程中的应用。 展开更多
关键词 油菜 化学除草 alS类除草剂 靶酶突变 种质创制 抗性品种
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中子辐照后~6Li-Al合金靶片中氚的测量方法研究 被引量:2
14
作者 程贵钧 曹小华 +4 位作者 杨本福 龙兴贵 张祖华 颜登云 王维笃 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2004年第1期25-28,共4页
建立了流气式系统捕集和化学转移法测量6Li Al合金靶片在中子辐照过程中的渗漏氚和辐照后靶片中总氚量的方法。渗漏氚的捕集方法是:在流气式系统中,用含少量氢的惰性载气将渗漏氚载带出来,经高温催化氧化后被乙二醇鼓泡器捕集;靶片中的... 建立了流气式系统捕集和化学转移法测量6Li Al合金靶片在中子辐照过程中的渗漏氚和辐照后靶片中总氚量的方法。渗漏氚的捕集方法是:在流气式系统中,用含少量氢的惰性载气将渗漏氚载带出来,经高温催化氧化后被乙二醇鼓泡器捕集;靶片中的氚转移法是用NaOH溶液将合金靶片溶解,气相中的氚采用渗漏氚的捕集方法捕集,液相中的氚则蒸馏到馏分中。最后用液体闪烁计数器分别测量乙二醇鼓泡器和馏分中的氚量。测量结果与理论氚产量基本相符。 展开更多
关键词 中子辐照 ^6Li—al合金靶片 化学转移法 流气式系统 液体闪烁计数器
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冷却速度对Al-Si-Cu溅射靶材凝固组织的影响 被引量:3
15
作者 王日初 郭敏 +1 位作者 余琨 文丹华 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2007年第4期244-248,共5页
采用宏观腐蚀、X射线衍射分析和扫描电镜观察,研究在不同冷却速度下凝固的Al-1%Si-0.5%Cu(质量分数,下同)合金的宏观和微观组织。实验结果表明,冷却速度对Al-Si-Cu合金的凝固组织有显著影响。随着冷却速度增大,Al-Si-Cu合金凝固组织的... 采用宏观腐蚀、X射线衍射分析和扫描电镜观察,研究在不同冷却速度下凝固的Al-1%Si-0.5%Cu(质量分数,下同)合金的宏观和微观组织。实验结果表明,冷却速度对Al-Si-Cu合金的凝固组织有显著影响。随着冷却速度增大,Al-Si-Cu合金凝固组织的晶粒形状和尺寸以及第二相的大小、形貌和分布都发生明显的变化:炉冷试样晶粒为粗大树枝晶状,第二相呈带状富集在晶界处,宽度达15μm;铁模和铜模铸造试样具有典型铸锭组织,大部分第二相呈不到3μm宽的线状富集在晶界处,但铜模铸造试样的柱状晶区较窄,且晶粒较细小;水冷铜模铸造试样几乎完全为细小的等轴晶,晶粒尺寸小而均匀,第二相呈直径约3μm的细小点状弥散分布在α-Al基体中,可得到成分和结构都较均匀的靶材。 展开更多
关键词 al—Si—Cu溅射靶材 冷却速度 凝固组织
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热处理对Al-Cu合金电导率的影响 被引量:2
16
作者 罗俊锋 王欣平 +3 位作者 万小勇 何金江 朱晓光 江轩 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第20期11-14,共4页
通过电导率测量、硬度分析和金相组织观察,研究了不同热处理工艺对Al-4.0%Cu(质量分数,下同)合金电导率的影响,分析了析出相、合金硬度和电导率之间的关系。实验结果表明,Al-4.0%Cu合金的电导率主要受基体中Cu固溶度和析出相状态的影响... 通过电导率测量、硬度分析和金相组织观察,研究了不同热处理工艺对Al-4.0%Cu(质量分数,下同)合金电导率的影响,分析了析出相、合金硬度和电导率之间的关系。实验结果表明,Al-4.0%Cu合金的电导率主要受基体中Cu固溶度和析出相状态的影响;双级时效处理对电导率和硬度的决定因素主要为二级时效的温度与时间,一级时效后合金的电导率和硬度会随着二级时效发生改变;退火后的Al-4.0%Cu合金于350℃保温24h后,可获得较高的电导率,此时基体中的析出相为细小、弥散的θ相。 展开更多
关键词 al-CU合金 溅射靶材 热处理 显微组织 电导率
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Al离子高温注入Fe靶的表面合金化研究 被引量:1
17
作者 陈涛 常海威 雷明凯 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期417-420,共4页
利用能量120 keV的Al离子注入250和500℃的Rj靶,研究了高温注入条件下Fe靶表层合金化过程.Fe靶表 层A1的浓度一深度分布和相结构分别采用Rutherford背散射谱(RBS)和X射线衍射谱(XRD)分析.实验结果表明:注 入剂量为1×10"cm一。... 利用能量120 keV的Al离子注入250和500℃的Rj靶,研究了高温注入条件下Fe靶表层合金化过程.Fe靶表 层A1的浓度一深度分布和相结构分别采用Rutherford背散射谱(RBS)和X射线衍射谱(XRD)分析.实验结果表明:注 入剂量为1×10"cm一。时, AI离子注入250和500℃Fe靶的注入深度分别为180和200 nrn,峰值浓度均为10%(原子 分数).离子注入层中形成了金属间化合物AllaFe4相,同时记录到少量残留氧造成的氧化物A1Ee03相.利用有效形成热模型 合理解释了Al离子高温注入Fe靶的合金相形成规律,利用相应金属离子高温注入金属靶传质模型可获得与实验相符的结果. 展开更多
关键词 Fe靶 al离子注入 高温 表面合金化
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衬底温度对ZnO:Al薄膜结构和性能的影响 被引量:5
18
作者 徐玮 于军 +2 位作者 王晓晶 袁俊明 雷青松 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期665-668,共4页
利用射频磁控溅射法采用氧化锌铝(98%ZnO+2%Al2O3)为靶材在普通载玻片上制备了ZAO(ZnO:Al)薄膜,研究了衬底温度对薄膜晶体结构,电学和光学性能的影响。利用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析,利用分光光度计和... 利用射频磁控溅射法采用氧化锌铝(98%ZnO+2%Al2O3)为靶材在普通载玻片上制备了ZAO(ZnO:Al)薄膜,研究了衬底温度对薄膜晶体结构,电学和光学性能的影响。利用X射线衍射仪、场扫描电镜对薄膜的结构及表面形貌进行了分析,利用分光光度计和电阻测试仪分别测试了薄膜的光电学性能。结果表明,衬底温度对薄膜结构及光电学性能影响最大。溅射功率120W、衬底温度300℃、工作气压0.6Pa制得的薄膜具有良好的光电学性能(可见光平均透过率为79.49%(考虑衬底的影响,电阻率为4.99×10-2Ω.cm)。 展开更多
关键词 磁控溅射 陶瓷靶材 电阻率 透过率 ZAO薄膜
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射频磁控溅射(Ti,Al)N薄膜性能的研究 被引量:14
19
作者 何欣 杨会生 +4 位作者 王燕斌 熊小涛 乔利杰 瞿春燕 杨建军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期142-146,共5页
采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜。研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)和六方结构(B4型)共存。随Al成分的增加,B1型结构晶格常数减小,... 采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜。研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)和六方结构(B4型)共存。随Al成分的增加,B1型结构晶格常数减小,薄膜择优取向由B1型(111)向B4型(002)转变。薄膜表面随Al靶功率增加分别呈岛状、纤维状和柱状增长。(Ti,Al)N薄膜的硬度随Al靶功率的增加呈上升趋势。等离子体发射光谱分析显示,在相同工艺条件下Al靶比Ti靶先进入非金属态溅射模式,导致在相同功率下Al溅射速率低于Ti溅射速率。 展开更多
关键词 磁控溅射 (Ti al)N薄膜 硬度 等离子体发射光谱
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爆炸成型弹丸侵彻钢靶的ALE算法 被引量:16
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作者 常向阳 王自力 《解放军理工大学学报(自然科学版)》 EI 2004年第3期70-73,共4页
采用 LS- DYNA3D有限元计算软件中 ALE算法描述对爆炸成型弹丸成型过程以及对 45 #钢靶板的侵彻过程进行了数值模拟和分析。在模拟过程中考虑了空气的存在 ,计算模型同实际基本相符。通过模拟 ,证明了 ALE算法综合了纯 Langrange和纯 Eu... 采用 LS- DYNA3D有限元计算软件中 ALE算法描述对爆炸成型弹丸成型过程以及对 45 #钢靶板的侵彻过程进行了数值模拟和分析。在模拟过程中考虑了空气的存在 ,计算模型同实际基本相符。通过模拟 ,证明了 ALE算法综合了纯 Langrange和纯 Euler法的优点 。 展开更多
关键词 爆炸成型弹丸 alE算法 数值模拟 成型 穿甲
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