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Preparation of Porous Alumina Film on Aluminum Substrate by Anodization in Oxalic Acid 被引量:3
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作者 KunHOU XiangBinZHANG 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 2002年第7期689-692,共4页
Self-ordering of the cell arrangement of the anodic porous alumina was prepared in oxalic acid solution at a constant potential of 40V and at a temperature of 20C. The honeycomb structure made by one step anodization... Self-ordering of the cell arrangement of the anodic porous alumina was prepared in oxalic acid solution at a constant potential of 40V and at a temperature of 20C. The honeycomb structure made by one step anodization method and two step anodization method is different. Pores in the alumina film prepared by two step anodization method were more ordered than those by one step anodization method. 展开更多
关键词 Porous alumina film anodization oxalic acid.
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Enhanced alumina film adhesion of Hf/Y-doped iron-aluminum alloys during high-temperature oxidation:a new observation 被引量:3
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作者 Dong-Qing Li Li-Xian Zhou +3 位作者 Jun Zhan Jing-Chao Wang Jian Gu Jia-Jun Si 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第9期877-884,共8页
The cyclic oxidation behavior of Hf/Y-doped B2 FeAl intermetallics at 1373 K was investigated.For an undoped FeAl alloy,premature spallation of the alumina film occurs due to the formation of numerous voids at the fil... The cyclic oxidation behavior of Hf/Y-doped B2 FeAl intermetallics at 1373 K was investigated.For an undoped FeAl alloy,premature spallation of the alumina film occurs due to the formation of numerous voids at the film/alloy interface and apparent shrinkage in the film.In contrast to this,doping with either Hf or Y significantly improves the interfacial adhesion between the alumina film and the alloy substrate,particularly with Hf-doping.Microstructural observation in combination with Anger electron spectroscopic analysis suggests that in addition to prohibiting interfacial void formation and alleviating film shrinkage,the addition of Hf in the FeAl alloy could consolidate the film/alloy interface by directly participating in chemical bonding across the interface as a Hf ion.This causes the spallation of alumina film from the equiaxed grains/columnar grains interface rather than the bottom of the film. 展开更多
关键词 INTERMETALLICS Reactive elements Thermal CYCLING alumina film INTERFACIAL ADHESION SEGREGATION
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Ultraviolet photoluminescence of porous anodic alumina films
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作者 GAO Tao MENG Guowen ZHANG Lide 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2003年第11期1090-1092,共3页
Photoluminescence (PL) properties of porous anodic alumina (PAA) films prepared by using electrochemical anodization technique in a mixed solution of oxalic and sulfuric acid have been investigated. The PAA films have... Photoluminescence (PL) properties of porous anodic alumina (PAA) films prepared by using electrochemical anodization technique in a mixed solution of oxalic and sulfuric acid have been investigated. The PAA films have an intensive ultraviolet PL emission around 350 nm, of which a possible PL mechanism has been proposed. It was found that the incorporated oxalic ions, which could transform into PL centers and exist in the PAA films, are responsible for this ultraviolet PL emission. 展开更多
关键词 光致发光 紫外线辐射 PAA 阳极氧化铝薄膜 多孔渗水薄膜
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Co Filled Porous Anodic Alumina Film Fabricated on ECR-Al Film with Silicon Substrate
4
作者 Xue, Fan Chao, Wang +1 位作者 Lei, Yang Diao Dongfeng 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S1期136-139,共4页
Magnetic Co nanodots embedded in the porous anodic alumina films(AAFs)on silicon substrate can be used as the magnetic recording material with high area recording density.For this purpose,pure aluminum films were depo... Magnetic Co nanodots embedded in the porous anodic alumina films(AAFs)on silicon substrate can be used as the magnetic recording material with high area recording density.For this purpose,pure aluminum films were deposited on Si substrate with the Electron Cyclotron Resonance(ECR)plasma sputtering technique,and AAFs with vertical nano holes were synthesized with the two-step anodization process in oxalic acid.Finally magnetic material Co was deposited into the nano holes with electrochemical method.The results showed that polycrystalline ECR-Al films are homogenous and fit for the synthesis of AAFs with uniform distributed nano holes when ion sheath formed in front of the substrate surface.The diameters of AAF nano holes were in the range from 30 to 70 nm,and the hole pitches were approximately 100 nm,the AAF on silicon substrate was about 100 nm thick after two-step anodization.Magnetic Co nanodots filled into the nano holes of AAF exhibited both fcc and hcp structures. 展开更多
关键词 ECR-Al film anodic alumina film(AAF) nano hole CO NANODOT
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新型低铬含铝奥氏体不锈钢在超临界水中的腐蚀行为研究
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作者 高阳 郭相龙 +1 位作者 周张健 张乐福 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1335-1343,共9页
基于超临界水冷堆对结构材料的需求,研究了一种低铬含铝奥氏体不锈钢(AFAs)在600℃、25 MPa的超临界水(SCW)中的均匀腐蚀行为。采用扫描电镜、能谱仪、电子背散射衍射等技术分析了氧化膜的形貌、结构和化学成分。结果表明,低铬AFAs在SC... 基于超临界水冷堆对结构材料的需求,研究了一种低铬含铝奥氏体不锈钢(AFAs)在600℃、25 MPa的超临界水(SCW)中的均匀腐蚀行为。采用扫描电镜、能谱仪、电子背散射衍射等技术分析了氧化膜的形貌、结构和化学成分。结果表明,低铬AFAs在SCW中腐蚀动力学符合抛物线规律。Al、Cr含量较低,不足以维持独立的氧化铝膜的形成,而是形成外层为磁铁矿、内层为Cr-Al混合氧化物的双层氧化膜结构。这种氧化膜的保护性较差,对低铬AFAs长期腐蚀不利。本研究揭示了低铬AFAs在SCW中的腐蚀机理,并指出充足的Cr、Al含量是材料在SCW中维持耐腐蚀性的基础。本研究可为超临界水冷堆结构材料选用及AFAs研发提供数据支持。 展开更多
关键词 超临界水 含铝奥氏体不锈钢 均匀腐蚀 氧化铝膜 磁铁矿
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Li_(7)La_(3)Zr_(2)O_(12)基氧化铝薄膜的制备及对固态电解质应用性能的影响
6
作者 杨彦飞 陈志萍 +2 位作者 张立新 杨晓峰 刘烨昕 《化学研究与应用》 CAS 北大核心 2024年第5期1040-1047,共8页
Li_(7)La_(3)Zr_(2)O_(12)(LLZO)具有离子电导率高、电化学窗口宽、与锂负极相容性好的特点,在锂离子电池领域成为了传统有机液态电解质的潜在替代品。然而,LLZO极易与空气中的CO_(2)、H_(2)O反应生成副产物Li_(2)CO_(3),致使LLZO离子... Li_(7)La_(3)Zr_(2)O_(12)(LLZO)具有离子电导率高、电化学窗口宽、与锂负极相容性好的特点,在锂离子电池领域成为了传统有机液态电解质的潜在替代品。然而,LLZO极易与空气中的CO_(2)、H_(2)O反应生成副产物Li_(2)CO_(3),致使LLZO离子电导率降低,甚至丧失。针对这一问题,本研究采用先旋涂后烧结的方法在LLZO表面构筑氧化铝薄膜,借助致密氧化铝薄膜阻隔LLZO与空气的直接接触的特性,改善和提高LLZO的空气-水稳定性。结果表明,采用该方法可在LLZO表面构筑厚度约为13.34μm的无定形氧化铝薄膜层。该薄膜层有效提高了LLZO对气体的阻隔性,增大了LLZO表面疏水特性,在一定程度上抑制了Li_(2)CO_(3)的生成。同时,由于渗入LLZO中氧化铝对空隙的填充作用,强化了离子传输特性,使负载薄膜后LLZO的离子传导的活化能从0.40 eV降低至0.28eV,离子电导率从4.48×10^(5)S·cm^(-1)提高到5.06×10^(-5)S·cm^(-1),提高了13%。 展开更多
关键词 Li_(7)La_(3)Zr_(2)O_(12) 固态电解质 氧化铝薄膜 透气性 离子电导率 活化能
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草状氧化铝微结构渐变折射率的计算及实验研究
7
作者 付秀华 苏久麟 +4 位作者 潘永刚 王奔 林兆文 张功 孙文瀚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期217-226,共10页
针对草状氧化铝的微纳结构对折射率的影响,采用台体计算法与柱体计算法计算氧化铝的体积,使用Clausius-Mossotti方程式与MATLAB软件拟合计算微纳结构的折射率变化,使用TFC软件进行拟合,最终计算出草状氧化铝的渐变折射率,研究其微结构... 针对草状氧化铝的微纳结构对折射率的影响,采用台体计算法与柱体计算法计算氧化铝的体积,使用Clausius-Mossotti方程式与MATLAB软件拟合计算微纳结构的折射率变化,使用TFC软件进行拟合,最终计算出草状氧化铝的渐变折射率,研究其微结构的形貌特征及渐变折射率的分布,计算其可见光减反射性能。采用电子束沉积氧化铝薄膜,通过对沉积温度、水煮工艺等参数的优化,获得了不同结构的草状氧化铝纳米薄膜,制备了可见光波段420~680 nm的减反射薄膜。 展开更多
关键词 草状氧化铝 渐变折射率 折射率计算 减反射膜 分层介质理论
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SiC颗粒包覆氧化铝隔绝膜的性能 被引量:1
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作者 郭睿 刘建明 +1 位作者 黄凌峰 王帅 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2024年第3期10-14,共5页
为了防止SiC颗粒与过渡金属在高温下混合应用时发生反应,使用流化床PECVD在名义粒度180μm SiC颗粒表面镀覆完整的Al_(2)O_(3)隔绝膜。通过SEM、XRD等对膜层的形态、组成和物相进行了表征,利用混合烧结法模拟SiC颗粒与过渡金属在高温下... 为了防止SiC颗粒与过渡金属在高温下混合应用时发生反应,使用流化床PECVD在名义粒度180μm SiC颗粒表面镀覆完整的Al_(2)O_(3)隔绝膜。通过SEM、XRD等对膜层的形态、组成和物相进行了表征,利用混合烧结法模拟SiC颗粒与过渡金属在高温下混合应用的状态。当膜层厚度在4μm以上,膜层主要成分为无定形氧化铝和少量含碳杂质。在700℃/1060℃的温度和空气氛围中保温12 h,膜层发生相变,生成γ-Al_(2)O_(3)/α-Al_(2)O_(3)。经高温真空腐蚀实验验证,证实膜层能有效防止SiC与Ni等过渡金属反应,提高了SiC颗粒高温应用的性能。 展开更多
关键词 流化床 PECVD 氧化铝膜 隔绝膜
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类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究
9
作者 李涛 胡宇涵 +2 位作者 徐冬 尹思淇 杨思远 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第8期60-63,共4页
当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计... 当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计与制备工艺技术。在氧化铝基片陶瓷上,采用双靶共溅射的工艺,通过精确地控制溅射条件,获得均匀且致密的类金刚石膜,在满足高精度与小型化要求的同时,增强异质材料长期工作的稳定性。 展开更多
关键词 传感器 工艺 双靶共溅射 类金刚石碳膜 氧化铝陶瓷
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陶瓷平板膜在球形氧化铝提纯工序中的应用
10
作者 陈洪贵 《佛山陶瓷》 CAS 2024年第2期6-10,共5页
针对四川某高新材料股份有限公司生产的高纯度球形氧化铝粉体,产品在烧球制备过程中需改变粒径的大小,烧球后的粉体具有较高的电导率和磁性,物料中还有一些杂质和金属残渣。提纯工序是产品的最后关键工序,工序采用“预处理筛分+陶瓷平... 针对四川某高新材料股份有限公司生产的高纯度球形氧化铝粉体,产品在烧球制备过程中需改变粒径的大小,烧球后的粉体具有较高的电导率和磁性,物料中还有一些杂质和金属残渣。提纯工序是产品的最后关键工序,工序采用“预处理筛分+陶瓷平板膜超滤”工艺。该工艺采用高温纯水与粉体混合成浆料,浆料与纯水混合摩擦置换出高电导率的废水,用陶瓷平板膜超滤工艺将浆料中的高电导率废水分离出来,达到提高球化率,降低电导率,去除杂质的效果。实机运行证明,陶瓷平板膜提纯处理能力为600kg/批次,每天8小时处理4个批次,120分钟/批次,过滤通量200~300L/m^(2)·h,出水稳定,浊度≤0.5 NTU,30~60天离线清洗一次;经过该工艺处理后的球形氧化铝粉体纯度≥99.9%,球化率96%~98%,pH范围7~8,电导率≤5μs/cm,其特征指标满足企业质量标准及优于GB/T24487-2022《氧化铝》标准中的化学成分和外观质量要求。 展开更多
关键词 陶瓷平板膜 高纯度球形氧化铝 提纯 超滤
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聚酰亚胺薄膜制备高导热石墨烯膜影响因素研究
11
作者 方超 孙善卫 +1 位作者 史恩台 潘成 《辽宁化工》 CAS 2024年第2期196-200,共5页
研究了使用聚酰亚胺薄膜作为前驱体,通过1 200℃真空碳化和2 800℃氩气保护石墨化制备出高导热系数的石墨烯膜,并研究了对苯二胺含量、薄膜拉伸比例、薄膜厚度和导热填料的加入对石墨烯薄膜导热系数和拉伸强度的影响。结果显示在不添加... 研究了使用聚酰亚胺薄膜作为前驱体,通过1 200℃真空碳化和2 800℃氩气保护石墨化制备出高导热系数的石墨烯膜,并研究了对苯二胺含量、薄膜拉伸比例、薄膜厚度和导热填料的加入对石墨烯薄膜导热系数和拉伸强度的影响。结果显示在不添加导热填料时,38μm的聚酰亚胺膜烧制的石墨烯膜导热系数为1 298 W·m^(-1)·K^(-1),拉伸强度为30 MPa;添加5%的粒径为1μm的氧化铝,石墨烯膜的导热系数可达1 278 W·m^(-1)·K^(-1),拉伸强度可达66 MPa。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 石墨烯膜 导热系数 拉伸强度 对苯二胺 氧化铝
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多次氧化对多孔阳极氧化铝模板自组织过程影响 被引量:1
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作者 马迪 于冬梅 +2 位作者 陈舟 胡秀英 陈祥燕 《江苏理工学院学报》 2023年第4期41-47,共7页
在0.4mol/L的H3PO4溶液中制备多孔阳极氧化铝(PAA)模板,采用扫描电子显微镜,结合ImageJ软件,分析出不同电解液中,一次阳极氧化制备的膜具有相似的表面形貌特征,即膜具表面高低不平,带有无序微孔或条纹。一次氧化决定了膜的孔间距和孔密... 在0.4mol/L的H3PO4溶液中制备多孔阳极氧化铝(PAA)模板,采用扫描电子显微镜,结合ImageJ软件,分析出不同电解液中,一次阳极氧化制备的膜具有相似的表面形貌特征,即膜具表面高低不平,带有无序微孔或条纹。一次氧化决定了膜的孔间距和孔密度,随着氧化次数的增加,孔径有变小的趋势。除膜后,铝基体表面具有一定的有序性,二次氧化在此基础上进行自组织,从而大幅提高了膜的有序性。二次氧化制备的PAA膜表面和截面的孔道有序性要好于三次和四次氧化制备的PAA膜。二次乃至更多次数的氧化所制备的膜孔径都不会大于一次氧化除膜后铝基体表面凹坑孔的孔径。在0.4mol/L的H3PO4中,随着氧化电压的升高,二次阳极氧化膜孔径增大,孔密度下降。电位-时间曲线测试结果表明:随着氧化次数的提高,PAA膜的阻挡层有变厚趋势。填孔前,交流阻抗图谱上只体现PAA膜的阻挡层特性;填孔后,相位角峰变得更加明显。 展开更多
关键词 多孔阳极氧化铝膜 自组织 氧化次数 交流阻抗
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太赫兹石墨烯贴片式高温传感器的设计与研究
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作者 翟荣锭 吴倩楠 +2 位作者 王俊强 苏宁宁 李孟委 《电子测量技术》 北大核心 2023年第3期6-11,共6页
设计了一种太赫兹石墨烯贴片式高温传感器,可解决现有温度传感器测温量程小、尺寸较大和灵敏度较低的问题。该传感器由六边形石墨烯薄膜、氧化铝衬底和金三层结构组成。通过优化石墨烯结构尺寸、氧化铝衬底厚度,得到大量程、高灵敏度的... 设计了一种太赫兹石墨烯贴片式高温传感器,可解决现有温度传感器测温量程小、尺寸较大和灵敏度较低的问题。该传感器由六边形石墨烯薄膜、氧化铝衬底和金三层结构组成。通过优化石墨烯结构尺寸、氧化铝衬底厚度,得到大量程、高灵敏度的太赫兹MEMS高温传感器的特征尺寸。结果表明:该温度传感器在3.0~5.0 THz频段内,测温范围可从25℃~1050℃,灵敏度为0.259 GHz/℃,整体体积为20μm×21μm×14.5μm。该传感器具有优异的传感性能和较大的测温量程,可为高温环境下的航空发动机、火箭发射系统、恶劣环境监测等系统的测温提供一种技术方法。 展开更多
关键词 石墨烯 氧化铝薄膜 温度传感 太赫兹
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钢表面微弧氧化预处理工艺技术研究进展
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作者 杨晓禹 董珈静 +4 位作者 梁晖 张立君 谭锁奎 曾辉 吴进明 《热加工工艺》 北大核心 2023年第12期1-6,共6页
为了改善钢的摩擦学性能,需要对钢表面进行改性以生成陶瓷膜层。目前,很多制备陶瓷膜层的方法都需要在高温下操作,但这些方法会降低涂层的力学性能。其中微弧氧化技术可以获得耐磨性较高的附着力强的陶瓷膜层,然而该技术一般只能用于阀... 为了改善钢的摩擦学性能,需要对钢表面进行改性以生成陶瓷膜层。目前,很多制备陶瓷膜层的方法都需要在高温下操作,但这些方法会降低涂层的力学性能。其中微弧氧化技术可以获得耐磨性较高的附着力强的陶瓷膜层,然而该技术一般只能用于阀金属,在钢表面进行微弧氧化时需将钢进行预处理。目前被广泛应用于钢微弧氧化复合膜层的预处理工艺主要包括热浸镀、喷涂(热喷涂、冷喷涂)与离子镀(多弧离子镀、磁控溅射等),综合分析了每种方法技术的优缺点。 展开更多
关键词 微弧氧化 预处理 复合膜层 氧化铝
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可降解柔性相变薄膜的制备及其热性能 被引量:1
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作者 吴学红 栾林林 +3 位作者 陈亚南 赵敏 吕财 刘勇 《化工学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期1818-1826,共9页
为解决相变材料易泄漏、热导率低和力学性能差的问题,以生物基可降解聚乳酸(PLA)为基底,聚乙二醇(PEG)为相变工质,改性氧化铝(Al2O3)为导热添加剂,通过溶液共混法制备PEG/PLA/Al2O3柔性相变薄膜,用于热储能。相变薄膜可任意卷曲和折叠... 为解决相变材料易泄漏、热导率低和力学性能差的问题,以生物基可降解聚乳酸(PLA)为基底,聚乙二醇(PEG)为相变工质,改性氧化铝(Al2O3)为导热添加剂,通过溶液共混法制备PEG/PLA/Al2O3柔性相变薄膜,用于热储能。相变薄膜可任意卷曲和折叠而不发生断裂,表现出良好的柔性。对其热性能、导热性能和降解性能等进行测试,结果表明:PEG和PLA具有良好的相容性,PLA作为支撑基底有效防止了PEG液体的泄漏,所制备的柔性相变薄膜具有良好的形状稳定性。PEG/PLA的熔融和凝固过程中的潜热分别为120.2和128.5 J/g,潜热留存率分别为62.2%和67.6%,添加20%的氧化铝,潜热值仅降低12.5%,而热导率提高了75.0%,热传递效率得到明显提升。PEG/PLA的降解速率明显高于PLA,PEG/PLA薄膜在NaOH溶液(pH=13)中4 h左右可完全降解,具有良好的环境友好性。 展开更多
关键词 柔性相变薄膜 氧化铝 有机相变材料 聚合物 可降解 传热
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裂解炉含铝高温合金炉管发展与应用
16
作者 陈起 张国栋 +2 位作者 蒋鹏飞 李建新 万家川 《石油化工设备》 CAS 2023年第5期80-84,共5页
阐述了裂解炉含铝高温合金炉管的发展历程及其在乙烯装置的应用情况。介绍了目前已经商业化的含铝高温合金炉管的性能和应用情况。从蠕变特性和氧化膜形成过程两个角度,分析了含铝高温合金炉管组成成分对炉管性能的影响。从裂解炉运行... 阐述了裂解炉含铝高温合金炉管的发展历程及其在乙烯装置的应用情况。介绍了目前已经商业化的含铝高温合金炉管的性能和应用情况。从蠕变特性和氧化膜形成过程两个角度,分析了含铝高温合金炉管组成成分对炉管性能的影响。从裂解炉运行周期、稀释蒸汽用量、炉管力学性能等指标对比了铬镍合金炉管和含铝高温合金炉管在乙烯装置的应用情况,总结了含铝高温合金炉管的应用为乙烯装置带来的优势,展望了这类新型炉管在国内乙烯行业的发展前景。 展开更多
关键词 裂解炉 含铝高温合金 炉管 氧化膜 运行周期
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基于原子层沉积的量子点色彩转换膜封装 被引量:1
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作者 严银菓 蔡俊虎 +4 位作者 周小健 陈恩果 徐胜 叶芸 郭太良 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期1059-1068,共10页
量子点色转换是实现新型显示器件全彩化和提升显示色域的一种有效策略,但量子点环境稳定性差限制了其应用和发展。本文基于具有自限制表面反应特性的原子层沉积工艺,探索了在量子点色彩转换膜上原位生长致密的氧化铝封装膜,该封装方法... 量子点色转换是实现新型显示器件全彩化和提升显示色域的一种有效策略,但量子点环境稳定性差限制了其应用和发展。本文基于具有自限制表面反应特性的原子层沉积工艺,探索了在量子点色彩转换膜上原位生长致密的氧化铝封装膜,该封装方法将具有高光透过率、高致密的材料与贴合紧密的工艺有效结合。仿真结果表明,氧化铝封装的量子点色彩转换膜的出光强度达到了未封装的94.9%。并且,实验结果也表明,氧化铝封装基板的光透过率是空白基板的96.4%,而且封装后的量子点色彩转换膜在高温高湿(85℃,85%RH)环境中工作240 h后,光转换效率仍然保持初始的60.8%,比未封装的光转换效率(11.43%)提升了63.9%。该封装方法实现了在量子点色彩转换膜出光强度不受影响的同时,有效提升量子点色彩转换膜的稳定性,为量子点色彩转换膜的稳定性提升提供了一条可行思路,同时扩展了原子层沉积工艺在光电显示领域的应用,具有重要的科学意义和应用前景。 展开更多
关键词 氧化铝 原子层沉积 量子点色彩转换膜 光透过率 稳定性。
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铝阳极氧化膜纳米孔阵列结构的自组织过程分析 被引量:20
18
作者 巩运兰 王为 +1 位作者 王惠 郭鹤桐 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第2期199-201,共3页
提出了在铝阳极氧化膜的生长过程中存在两种力的作用,一种是在阻挡层形成时就已经存在的由于基体铝与氧化铝之间晶格不匹配产生的内应力的作用,另一种是随着纳米孔的形成,存在于纳米孔内壁的表面张力的作用.铝阳极氧化膜纳米孔阵列的自... 提出了在铝阳极氧化膜的生长过程中存在两种力的作用,一种是在阻挡层形成时就已经存在的由于基体铝与氧化铝之间晶格不匹配产生的内应力的作用,另一种是随着纳米孔的形成,存在于纳米孔内壁的表面张力的作用.铝阳极氧化膜纳米孔阵列的自组织过程是在这两种力的共同作用下进行的.这两种力的大小随着纳米孔形貌的变化而改变,当铝阳极氧化膜中的纳米孔呈规则的六角排列时,这两种力达到平衡,此时体系的能量也最低. 展开更多
关键词 铝阳极氧化膜 纳米孔阵列结构 自组织过程 内应力 表面张力
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多孔铝阳极氧化膜的制备及膜孔的影响因素 被引量:13
19
作者 张勇 冯辉 +2 位作者 金远锋 杨勇 武行兵 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2009年第3期9-12,共4页
采用阳极氧化法制备铝氧化膜,探讨了前处理、电解液组成、电解液浓度以及氧化电压等参数对氧化过程的影响。实验结果表明:前处理对氧化膜的质量有较大影响;适当比例的磷酸和草酸的混合酸制备的多孔膜质量最佳,在一定范围内,提高阳极氧... 采用阳极氧化法制备铝氧化膜,探讨了前处理、电解液组成、电解液浓度以及氧化电压等参数对氧化过程的影响。实验结果表明:前处理对氧化膜的质量有较大影响;适当比例的磷酸和草酸的混合酸制备的多孔膜质量最佳,在一定范围内,提高阳极氧化电压可使膜的孔密度减小,孔径增大,膜的有序性增加。两步阳极氧化法制备的多孔氧化铝模板的有序性优于一步氧化法。 展开更多
关键词 阳极氧化 氧化铝膜 多孔膜 二次阳极氧化
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化学液相沉积法制备Al_xO_y薄膜 被引量:5
20
作者 饶文雄 孙捷 +3 位作者 宋昌烈 李成仁 李淑凤 胡礼中 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期668-670,共3页
给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm... 给出了用化学液相沉积法 (CLPD)制备AlxO y/Si薄膜的方法 ,室温下生长 2h得到AlxO y/Si薄膜 ,其退火温度为 10 0 0℃ ,退火时间 2h .对薄膜的显微硬度、成分和结构进行了检测和分析 .结果表明 ,薄膜的显微硬度在退火前为 5 2 0 2 .0N/mm2 ,退火后为 14 5 33.5N/mm2 ,增加近 3倍 ;高温退火去掉了膜内的OH-1,同时使薄膜晶化 ,晶体薄膜的O/Al比例为 1 3. 展开更多
关键词 化学液相沉积法 氧化铝薄膜 光波导放大器 生长液 双水解过程 退火 显微硬度 晶化
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