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质子入射Al_(x)Ga_(1-x)N材料的位移损伤模拟
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作者 何欢 白雨蓉 +5 位作者 田赏 刘方 臧航 柳文波 李培 贺朝会 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期92-99,共8页
氮化镓材料由于优良的电学特性以及耐辐照性能,其与不同含量Al_(x)Ga_(1-x)N材料组成的电子器件,有望应用于未来空间电子系统中.然而目前关于氮化镓位移损伤机理研究多关注于氮化镓材料,对于Al_(x)Ga_(1-x)N材料位移损伤研究较少.本文... 氮化镓材料由于优良的电学特性以及耐辐照性能,其与不同含量Al_(x)Ga_(1-x)N材料组成的电子器件,有望应用于未来空间电子系统中.然而目前关于氮化镓位移损伤机理研究多关注于氮化镓材料,对于Al_(x)Ga_(1-x)N材料位移损伤研究较少.本文通过两体碰撞近似理论模拟了10 keV-300 MeV质子在不同Al元素含量的Al_(x)Ga_(1-x)N材料中的位移损伤机理.结果表明质子在Al_(x)Ga_(1-x)N材料中产生的非电离能损随质子能量增大而下降,当质子能量低于40 MeV时,非电离能损随着Al含量的增大而变大,当质子能量升高时该趋势相反;分析由质子导致的初级撞出原子以及非电离能量沉积,发现不同Al_(x)Ga_(1-x)N材料初级撞出原子能谱虽然相似,然而Al元素含量越高,由弹性碰撞产生的自身初级撞出原子比例越高;对于质子在不同深度造成的非电离能量沉积,弹性碰撞导致的能量沉积在径迹末端最大,而非弹性碰撞导致的能量沉积在径迹前端均匀分布,径迹末端减小,并且低能质子主要是通过弹性碰撞造成非电离能量沉积,而高能质子恰好相反.本研究揭示了不同Al元素含量的Al_(x)Ga_(1-x)N材料质子位移损伤机理,为GaN器件在空间辐射环境下的应用提供参考依据. 展开更多
关键词 Al_(x)Ga_(1-x)n 质子 位移损伤 两体碰撞近似
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AlxGa1-x N/GaN双量子阱的结构和掺杂浓度对子带间跃迁波长和吸收系数的影响 被引量:5
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作者 雷双瑛 沈波 张国义 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期2386-2391,共6页
用薛定谔方程和泊松方程自洽计算的方法研究了Al0.75Ga0.25N/GaN对称双量子阱(DQWs)中子带间跃迁(ISBT)的波长和吸收系数对中间耦合势垒高度、中间耦合势垒宽度、势阱宽度和势垒掺杂浓度的依赖关系.研究发现,第一奇序子带S1ood与第二偶... 用薛定谔方程和泊松方程自洽计算的方法研究了Al0.75Ga0.25N/GaN对称双量子阱(DQWs)中子带间跃迁(ISBT)的波长和吸收系数对中间耦合势垒高度、中间耦合势垒宽度、势阱宽度和势垒掺杂浓度的依赖关系.研究发现,第一奇序子带S1ood与第二偶序子带S2even ISBT波长随着中间耦合势垒高度的降低而变短.当中间耦合势垒高度高于0.62eV时,S1odd-S2even ISBT吸收系数随着中间耦合势垒的降低而增加.当减小AlxGa1-xN/GaN的DQWs中间耦合势垒宽度时,S1odd-S2even ISBT波长将变短,其吸收系数变大.另一方面,当对称DQWs的势阱宽度大于1.9nm时,S1odd-S2even ISBT波长随着势阱的变窄而减小,S1odd-S2even ISBT吸收系数随着势阱的变窄而增加.当势垒中的掺杂浓度小于1018/cm3时,S1odd-S2even ISBT波长基本不随掺杂浓度变化,而吸收系数随掺杂浓度的增加而增加.这些结果对于利用DQWs实现工作于光纤通信波段超快的、基于三能级或四能级系统的双色光电子器件的应用具有指导意义. 展开更多
关键词 自洽 Alx Ga1-x n/Gan双量子阱 子带间跃迁
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高Al组分N-Al_xGa_(1-x)N材料的欧姆接触 被引量:4
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作者 王玲 许金通 +3 位作者 陈俊 陈杰 张燕 李向阳 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第B09期967-970,共4页
基于各层金属间在快速热退火时容易合金化及Ti,Al易被氧化的特点,在高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料上溅射生长多层金属Ti/Al/Ti/Au,并且变化Ti,Al比例以及改变退火温度和时间,得到了金属与高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料间的欧姆... 基于各层金属间在快速热退火时容易合金化及Ti,Al易被氧化的特点,在高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料上溅射生长多层金属Ti/Al/Ti/Au,并且变化Ti,Al比例以及改变退火温度和时间,得到了金属与高Al组分N-AlxGa1-xN(x≥0.45)材料间的欧姆接触,由传输线模型方法测试得比接触电阻为4.9×10-2Ω.cm2。实验中用到的样品为P(Al0.45Ga0.55N)/i(Al0.45Ga0.55N)/N-Al0.63Ga0.37N多层结构的材料。最后,利用伏安特性和俄歇电子能谱深度分布(AES)研究金属与高Al组分的材料之间形成欧姆接触的原因。 展开更多
关键词 欧姆接触 高Al组分 nalxga1-xn材料
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调制掺杂Al_xGa_(1-x)N/GaN异质结构的微应变 被引量:1
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作者 谭伟石 沙昊 +6 位作者 沈波 蔡宏灵 吴小山 蒋树声 郑文莉 贾全杰 姜晓明 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第10期799-804,共6页
用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,... 用MOCVD方法在 (0 0 0 1)取向的蓝宝石 (α -Al2 O3)衬底上生长了不同势垒层厚度的Al0 .2 2Ga0 .78N/GaN异质结构 ,利用高分辨X射线衍射 (HRXRD)测量了其对称反射 (0 0 0 2 )和非对称反射 (10 14 )的倒易空间图 (RSM )。分析结果表明 ,势垒层内部微结构与应变状态和下层i -GaN的微结构与应变状态互相关联 ,当厚度大于 75 0 时 ,势垒层开始发生应变弛豫 ,临界厚度大于5 0 0 。势垒层具有一种“非常规”应变弛豫状态 ,这种状态的来源可能与n -AlGaN的内部缺陷以及i-GaN/α -Al2 展开更多
关键词 调制掺杂 微应变 alxga1-x/Gan 异质结构 高分辨X射线衍射 微结构 驰豫线模型 半导体材料 氮化镓
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Al_(x)Ga_(1-x)N氮化物结构和热力学性质的第一性原理研究 被引量:1
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作者 李鹏涛 王鑫 +1 位作者 罗贤 陈建新 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第12期2212-2218,共7页
为了掌握Ⅲ族氮化物微观结构对热力学性能的影响规律,进而为超高功率器件的设计提供数据支持,本文借助第一性原理计算软件CASTEP,对半导体Al_(x)Ga_(1-x)N不同合金结构及其热性能进行了系统研究。结构优化和数据分析后发现,Al_(x)Ga_(1-... 为了掌握Ⅲ族氮化物微观结构对热力学性能的影响规律,进而为超高功率器件的设计提供数据支持,本文借助第一性原理计算软件CASTEP,对半导体Al_(x)Ga_(1-x)N不同合金结构及其热性能进行了系统研究。结构优化和数据分析后发现,Al_(x)Ga_(1-x)N的晶格常数、平均键长和晶格热容值随Al组分值x(原子数分数)增大而线性减小。热力学性质计算结果表明,在GaN中引入Al组分会在频率带隙中引入杂质模,随着Al组分浓度的增加杂质模变宽并进入低频段,在低频段顶部频率随Al组分增大而线性升高,在12.5%以上低频段顶部频率均大于(1/2)A1(LO)。温度从300 K到700 K变化时,合金热容随温度变化关系结果证明,在确定温度时,Al_(x)Ga_(1-x)N合金热容随Al组分增大而线性减小。本文的研究为以Al_(x)Ga_(1-x)N为代表的Ⅲ族氮化物半导体高功率器件设计提供了一定的设计参考。 展开更多
关键词 Ⅲ族氮化物 高功率器件 色散关系 热力学性质 第一性原理 密度泛函理论 Al_(x)Ga_(1-x)n
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GaInP/(Al_xGa_(1-x))InP多量子阱结构的光荧光特性分析
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作者 陈练辉 范广涵 +2 位作者 陈贵楚 吴文光 李华兵 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第3期60-63,共4页
利用金属有机化合物气相沉积(MOCVD)技术生长了GaInP/(AlxGa1-x)InP多量子阱(MQW)结构材料,对其进行光荧光特性测量,观察到在波长λ=647 8nm和λ=861 6nm处分别存在一个强发光锋和一个弱发光峰.理论计算和实测结果基本一致.
关键词 GaInP/(alxga1-x)InP 多量子阱 光荧光特性 发光二极管 半导体 光荧光谱 发光锋
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Influence of Al Composition on Transport Properties of Two-Dimensional Electron Gas in Al_xGa_(1-x)N/GaN Heterostructures
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作者 唐宁 沈波 +7 位作者 王茂俊 杨志坚 徐科 张国义 桂永胜 朱博 郭少令 褚君浩 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期235-238,共4页
Magnetotransport properties of two-dimensional electron gases (2DEG) in AlxGa1-x N/GaN heterostructures with different Al compositions are investigated by magnetotransport measurements at low temperatures and in hig... Magnetotransport properties of two-dimensional electron gases (2DEG) in AlxGa1-x N/GaN heterostructures with different Al compositions are investigated by magnetotransport measurements at low temperatures and in high magnetic fields. It is found that heterostructures with a lower Al composition in the barrier have lower 2DEG concentration and higher 2DEG mobility. 展开更多
关键词 Alx Ga1-x n/Gan heterostructure two-dimensional electron gas transport property
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部分有序(Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P(x=0.29)合金的发光衰退过程
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作者 吕毅军 高玉琳 +3 位作者 郑健生 蔡志岗 桑海宇 曾学然 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期129-132,共4页
利用时间分辨光谱研究了 (AlxGa1-x) 0 51In0 4 9P合金的时间衰退过程 ,观察到载流子的转移过程和PL谱峰蓝移现象。这和变温发光谱中谱峰的Z 型依赖关系相吻合。这种现象明显表明了载流子的转移过程和子带的存在 ,证实了我们对超晶格... 利用时间分辨光谱研究了 (AlxGa1-x) 0 51In0 4 9P合金的时间衰退过程 ,观察到载流子的转移过程和PL谱峰蓝移现象。这和变温发光谱中谱峰的Z 型依赖关系相吻合。这种现象明显表明了载流子的转移过程和子带的存在 ,证实了我们对超晶格带折叠效应的猜测。子带是由于有序结构的超晶格效应使导带的L带折叠到Γ带 ,载流子在时间衰退过程中从Γ带转移到L带。 展开更多
关键词 Ⅲ-V化合物 有序结构 光致发光 四元合金 半导体材料 发光谱 (alxga1-x)0.51In0.49P(x=0.29) 发光衰退过程
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N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜结构和光学性质研究
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作者 贾相华 左桂鸿 +3 位作者 郑友进 姜宏伟 张辉霞 黄海亮 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1380-1385,共6页
采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射光谱、光致发光(PL)谱对N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究。XRD结果表明所有样品均形成... 采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜。通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射光谱、光致发光(PL)谱对N掺杂Mg_xZn_(1-x)O薄膜样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了研究。XRD结果表明所有样品均形成了Mg Zn O合金薄膜,没有观察到其它氧化物的衍射峰。样品的结晶质量越差,样品的表面形貌越不规则,但样品在可见光的透射率越强,甚至达到了95%。样品的禁带宽度随Mg含量的增加而增加,随N含量的增加而减小。所有样品的光致发光谱均观察到强的400 nm发光和弱的可见发光。400 nm的发光强度随Mg含量的增加而减弱,随N含量的增加而增强,认为薄膜在400 nm的发光来源Zn O的激子复合。 展开更多
关键词 n掺杂Mg_xZn_(1-x)O 溶胶-凝胶 光致发光
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基于智能感知的In_(x)Al_(1-x)N薄膜的气敏性能研究
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作者 王雪文 白海庭 +5 位作者 赵彦博 张圆梦 彭超 高洁 戴扬 赵武 《西北大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期191-197,共7页
基于Ⅲ-V族半导体的产品已经广泛应用于移动设备、无线网络、卫星通信和光电子技术领域,其中,新型的Ⅲ-V族半导体铟铝氮(In_(x)Al_(1-x)N(x=0~1))因为具有临界击穿电压高、导热系数高、能抵抗强辐射以及化学性质稳定等优点而成为感知器... 基于Ⅲ-V族半导体的产品已经广泛应用于移动设备、无线网络、卫星通信和光电子技术领域,其中,新型的Ⅲ-V族半导体铟铝氮(In_(x)Al_(1-x)N(x=0~1))因为具有临界击穿电压高、导热系数高、能抵抗强辐射以及化学性质稳定等优点而成为感知器件的研究热点。该文首先采用磁控溅射技术以金属In、金属Al和陶瓷Si 3N 4为靶材制备出Si掺杂和纯In_(x)Al_(1-x)N薄膜。在衬底温度600℃、压强0.6pa、Ar∶N 2流量比为20∶10、金属铟靶材和铝靶材的溅射功率分别为70W和300W、氮化硅的靶材附加功率分别为0W,20W,40W和60W条件下制备出薄膜,研究了所制备薄膜的电性能、拉曼光谱、光致发光(PL)光谱。测试结果表明:为氮化硅靶材附加40W功率时,掺杂Si的In_(x)Al_(1-x)N薄膜的载流子浓度比纯In_(x)Al_(1-x)N薄膜提高了两个数量级;硅掺杂的In_(x)Al_(1-x)N薄膜测得的拉曼光谱中,E2(HI)和Al(LO)模式峰都发生了右方移动,这表明了样品的缺陷增加,应力随之增强;PL光谱测试显示In_(x)Al_(1-x)N的发光峰较高,且薄膜随着Si含量的增加,可能导致薄膜缺陷增加。其次,研究了所制备薄膜的气体敏感性,测试表明,掺Si的In_(x)Al_(1-x)N薄膜的气敏性优于纯In_(x)Al_(1-x)N薄膜,且细颗粒的掺Si的In_(x)Al_(1-x)N薄膜的气敏性高于大颗粒,证明小颗粒的表面活性大,易吸附气体使得响应灵敏度高,为气敏传感器的开发和信息领域的潜在应用打下基础。 展开更多
关键词 硅掺杂 In_(x)Al_(1-x)n薄膜 磁控溅射 气敏性能
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基于MOCVD生长的高Al组分Al_xGa_(1-x)N的HRXRD研究 被引量:2
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作者 杜阳 李培咸 +1 位作者 周小伟 白俊春 《电子科技》 2009年第5期69-71,77,共4页
通过MOCVD设备,在c面蓝宝石衬底上异质外延了不同Al组分含量的AlxGa1-xN材料,生长过程中采用了低温缓冲层技术、脉冲原子外延技术(PALE)和多层超晶格缓冲技术,例如AlGaN/AlNSLs结构,成功得到了表面光滑无裂纹的AlxGa1-xN膜。并且通过HR... 通过MOCVD设备,在c面蓝宝石衬底上异质外延了不同Al组分含量的AlxGa1-xN材料,生长过程中采用了低温缓冲层技术、脉冲原子外延技术(PALE)和多层超晶格缓冲技术,例如AlGaN/AlNSLs结构,成功得到了表面光滑无裂纹的AlxGa1-xN膜。并且通过HRXRD对材料进行了多个晶面方向上的摇摆曲线和2θ~ω表征测试,在此测试基础上对材料的Al组分、a轴和c轴的晶格常数以及位错密度进行了相应的计算,并定性的分析了材料的应变状态。 展开更多
关键词 MOCVD alxga1-xn HRXRD 位错 晶格常数
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Influence of Polarization-Induced Electric Fields on Optical Properties of Intersubband Transitions in Al_xGa_(1-x)N/GaN Double Quantum Wells 被引量:1
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作者 雷双英 沈波 +3 位作者 许福军 杨志坚 徐柯 张国义 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期403-408,共6页
The influence of polarization-induced electric fields on the electron distribution and the optical properties of intersubband transitions (ISBT) in AlxGa(1-x)N/GaN coupled double quantum wells (DQWs) is investig... The influence of polarization-induced electric fields on the electron distribution and the optical properties of intersubband transitions (ISBT) in AlxGa(1-x)N/GaN coupled double quantum wells (DQWs) is investigated by self-consistent calculation. It is found that the polarization-induced potential drop leads to an asymmetric potential profile of AlxGa(1-x)N/GaN DQWs even though the two wells have the same width and depth. The polarization effects result in a very large Stark shift between the odd and even order subbands,thus shortening the wavelength of the ISBT between the first odd order and the second even order (1odd-2 ) subbands. Meanwhile, the electron distribution becomes asymmetric due to the polarization effects, and the absorption coefficient of the 1odd-2 ISBT decreases with increasing polarization field discontinuity. 展开更多
关键词 alxga(1-xn/Gan DQWs intersubband transition polarization field discontinuity
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Al质量分数对磁控溅射Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜结构和摩擦学性能的影响 被引量:1
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作者 张世玺 蔡海潮 +2 位作者 薛玉君 畅为航 田昌龄 《河南科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第4期1-6,M0002,共7页
针对TiAlN薄膜耐磨性不够优异的问题,研究了Al质量分数对Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜结构和摩擦学性能的影响。采用磁控溅射沉积技术制备了4种不同Al质量分数的Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)及X射线衍射仪(XRD),对薄膜... 针对TiAlN薄膜耐磨性不够优异的问题,研究了Al质量分数对Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜结构和摩擦学性能的影响。采用磁控溅射沉积技术制备了4种不同Al质量分数的Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)及X射线衍射仪(XRD),对薄膜的微观形貌、元素成分与晶体结构进行了表征。采用纳米压痕仪测试薄膜的硬度和弹性模量,用摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪测试薄膜的摩擦磨损性能。研究结果表明:随着Al质量分数在一定范围内的增加,薄膜从沿c-TiN(111)晶面生长逐渐转向h-AlN(200)晶面择优取向,Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜疏松结构得到了改善,柱状结晶发生细化,表面形貌更加致密。同时,Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜的硬度和弹性模量得到提高,磨损机理由严重的磨粒磨损、黏着磨损转变为轻微的磨粒磨损,平均体积磨损率降低。Ti_(0.67)Al_(0.33)N薄膜的综合性能最优,硬度和弹性模量分别为14.059 GPa和203.37 GPa,摩擦因数最低为0.182,平均体积磨损率为1.321×10^(-8)mm^(3)/(N·m),呈现出较好的摩擦学性能。 展开更多
关键词 Al质量分数 磁控溅射 Ti_(1-x)Al_(x)n薄膜 摩擦学性能
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高效光催化活性g-C3N4/ZnxCd1-xS复合材料的性能分析 被引量:1
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作者 田研 谭玉 +2 位作者 张泽华 童彦敏 亓淑艳 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 北大核心 2020年第4期134-140,共7页
采用原位生长技术,利用共沉淀-水热法制备g-C3N4/ZnxCd1-xS光催化剂。通过XRD、SEM、TEM、EDS、UV-Vis DRS等手段对光催化剂的结构组成和光化学性质进行测试和表征。通过亚甲基蓝(MB)在可见光照射下的降解评价g-C3N4/ZnxCd1-xS的光催化... 采用原位生长技术,利用共沉淀-水热法制备g-C3N4/ZnxCd1-xS光催化剂。通过XRD、SEM、TEM、EDS、UV-Vis DRS等手段对光催化剂的结构组成和光化学性质进行测试和表征。通过亚甲基蓝(MB)在可见光照射下的降解评价g-C3N4/ZnxCd1-xS的光催化活性;并通过捕获剂测试研究光催化降解机制。结果表明:g-C3N4与ZnxCd1-xS形成了结晶良好的异质结结构,g-C3N4的加入增大了复合材料的光吸收范围,且随着x值的增大,材料光吸收范围逐渐减小。其中g-C3N4/Zn0.5Cd0.5S光催化性能最佳,可见光照射210 min后,MB的降解率达到了99%。且经过4次重复性试验后,光催化活性没有出现明显降低;通过捕获剂实验发现,参与降解的主要活性物质为h+和O-2·。 展开更多
关键词 光催化 g-C3n4 ZnxCd1-xS 异质结 亚甲基蓝
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n型Al_xGa_(1-x)N材料的电学和光学性质
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作者 彭铭曾 张洁 +4 位作者 朱学亮 郭丽伟 贾海强 陈弘 周均铭 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1057-1059,共3页
文章介绍了无裂纹高导电性n型A lxGa1-xN的MOCVD生长及其电学、光学和表面形貌性质。通过A lN两步生长法,有效地解决了A lxGa1-xN外延薄膜易裂的难题。并且对其生长进行优化,减少了A lxGa1-xN外延薄膜中的受主补偿缺陷,从而实现了高导... 文章介绍了无裂纹高导电性n型A lxGa1-xN的MOCVD生长及其电学、光学和表面形貌性质。通过A lN两步生长法,有效地解决了A lxGa1-xN外延薄膜易裂的难题。并且对其生长进行优化,减少了A lxGa1-xN外延薄膜中的受主补偿缺陷,从而实现了高导电性的n型A lxGa1-xN薄膜,其载流子浓度为4.533×1018cm-3,并且电子迁移率高达77.5cm2/V.s,已经达到了目前国际上报道的先进水平。另外光学吸收谱说明A lxGa1-xN外延薄膜在302nm处具有陡峭的带边吸收,同时结合原子力显微镜分析材料的表面形貌,证实了材料表面光滑且平整。 展开更多
关键词 nalxga1-xn MOCVD 导电性 光学吸收
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Effect of carbon on microstructure of CrAlC_xN_(1-x) coatings by hybrid coating system 被引量:2
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作者 Sung-Kyu AHN Se-Hun KWON Kwang-Ho KIM 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第A01期78-82,共5页
A systematic investigation of the microstructure of CrA1CxN1-x coatings as a function of carbon contents was conducted. Quaternary CrA1CxN1-x coatings were deposited on Si wafers by a hybrid coating system combining a... A systematic investigation of the microstructure of CrA1CxN1-x coatings as a function of carbon contents was conducted. Quaternary CrA1CxN1-x coatings were deposited on Si wafers by a hybrid coating system combining an arc-ion plating technique and a DC reactive magnetron sputtering technique using Cr and AI targets in the Ar/N2/CH4 gaseous mixture. The effect of carbon content on microstructure of CrA1C^N~ x coatings was investigated with instrumental analyses of X-ray diffraction, X-ray photoelectron, and high-resolution transmission electron microscopy. The results show that the carbon content of CrA1CxN1-x coatings linearly increases with increasing CH4/(CH4/N2) gas flow rate ratio. The surface roughness of the CrA1CxN1-x coating layer decreases with the increase of carbon content. 展开更多
关键词 CrA1C n1-x coating nAnOCOMPOSITE MICROSTRUCTURE hybrid coating system
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Cu_(m)-Fe_(n)/Ti_(1-x)Sn_(x)O_(2)复合催化剂的脱硝性能及抗硫活性
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作者 谭义凤 张婷 +2 位作者 张云飞 孙琦 田蒙奎 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期56-61,共6页
采用共沉淀法制备Ti_(1-x)Sn_(x)O_(2)复合氧化物,浸渍负载质量分数10%的CuO_(x)和FeO_(y)活性组分,制备一系列Cu_(m)-Fe_(n)/Ti_(1-x) Sn_(x)O_(2)催化剂。探究不同Ti/Sn和Cu/Fe(物质的量比)对Cu_(m)-Fe_(n)/Ti_(1-x)Sn_(x)O_(2)催化剂... 采用共沉淀法制备Ti_(1-x)Sn_(x)O_(2)复合氧化物,浸渍负载质量分数10%的CuO_(x)和FeO_(y)活性组分,制备一系列Cu_(m)-Fe_(n)/Ti_(1-x) Sn_(x)O_(2)催化剂。探究不同Ti/Sn和Cu/Fe(物质的量比)对Cu_(m)-Fe_(n)/Ti_(1-x)Sn_(x)O_(2)催化剂的NH_(3)-SCR反应活性的影响。研究结果表明,Ti_(0.67)Sn_(0.33)O_(2)载体可促进活性组分CuO_(x)和FeO_(y)的相互作用。当Cu/Fe为3∶1时,在300℃下NO_(x)的转化率达到91.3%;向反应体系通入286 mg/m^(3) SO_(2)反应3 h后,NO_(x)的转化率仅下降2.6%。X射线光电子能谱(XPS)、程序升温还原(H_(2)-TPR)、程序升温脱附(NH_(3)-TPD和NO_(x)-TPD)的表征表明,CuO_(x)和FeO_(y)之间存在相互作用,与单一的Cu/Ti_(0.67)Sn_(0.33)O_(2)和Fe/Ti_(0.67)Sn_(0.33)O_(2)对比,复合催化剂表面吸附氧浓度相对增加15%~33%,总酸量增大56%,从而提高了催化剂脱硝活性。 展开更多
关键词 nH_(3)-SCR Ti_(1-x)Sn_(x)O_(2)复合氧化物 Cu_(m)-Fe_(n)/Ti_(0.67)Sn_(0.33)O_(2)复合脱硝催化剂 抗硫活性
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Proposal and Achievement of a Relatively Al-rich Interlayer for In-rich Al_x In_(1-x)N Films Deposition
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作者 吕默 DONG Chengjun 王一丁 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2013年第5期868-875,共8页
Ternary In-rich AlxIn1-x N films were successfully grown on Si (111) and (0001) sapphire substrates by radio-frequency magnetron sputtering on a relatively Al-rich AlxIn1-x N layer after AlN buffer. X-ray diffract... Ternary In-rich AlxIn1-x N films were successfully grown on Si (111) and (0001) sapphire substrates by radio-frequency magnetron sputtering on a relatively Al-rich AlxIn1-x N layer after AlN buffer. X-ray diffraction (XRD) patterns of the films indicate highly c axis-oriented wurtzite structure and the indium content of about 0.76 has been evaluated according to the Vegard's law. An Al-rich AlxIn1-xN transition layer was formed between the ultimate In-rich AlxIn1-x N film and the AlN buffer, which served as a further buffer to alleviate mismatch. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) depth profiling analyses confirm the alternative of indium and aluminum composition and the unavoidable oxygen impurities from surface to bulk. Owing to high indium content, obvious E2u and InN-like Al (LO) phonon model accompanying with slight A1N-like A1 (LO) phonon model are observed. Hall effect measurements demonstrate n-type electrical conductivity in these alloys with carrier concentrations n=1019 cm-3. The strain in In-rich AlxIn1-x N films can be significantly reduced by introducing an Al-rich interlayer, facilitating the improvement of film quality for diverse device applications. 展开更多
关键词 AlxIn1-x n film magnetron sputtering buffer layer microstructure
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Al_(1-x)Sc_(x)Sb_(y)N_(1-y):An opportunity for ferroelectric semiconductor field effect transistor
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作者 Shujin Guo Xianghua Kong Hong Guo 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第11期133-140,共8页
For the in-memory computation architecture,a ferroelectric semiconductor field-effect transistor(FeSFET)incorporates ferroelectric material into the FET channel to realize logic and memory in a single device.The emerg... For the in-memory computation architecture,a ferroelectric semiconductor field-effect transistor(FeSFET)incorporates ferroelectric material into the FET channel to realize logic and memory in a single device.The emerging groupⅢnitride material Al_(1-x)Sc_(x)N provides an excellent platform to explore FeSFET,as this material has significant electric polarization,ferroelectric switching,and high carrier mobility.However,steps need to be taken to reduce the large band gap of~5 eV of Al_(1-x)Sc_(x)N to improve its transport property for in-memory logic applications.By state-of-the-art first principles analysis,here we predict that alloying a relatively small amount(less than~5%)of Sb impurities into Al_(1-x)Sc_(x)N very effectively reduces the band gap while maintaining excellent ferroelectricity.We show that the co-doped Sb and Sc act cooperatively to give a significant band bowing leading to a small band gap of~1.76 eV and a large polarization parameter~0.87 C/m^(2),in the quaternary Al_(1-x)Sc_(x)Sb_(y)N_(1-y)compounds.The Sb impurity states become more continuous as a result of interactions with Sc and can be used for impurity-mediated transport.Based on the Landau-Khalatnikov model,the Landau parameters and the corresponding ferroelectric hysteresis loops are obtained for the quaternary compounds.These findings indicate that Al_(1-x)Sc_(x)Sb_(y)N_(1-y)is an excellent candidate as the channel material of FeSFET. 展开更多
关键词 FERROELECTRICITY Al_(1-x)Sc_(x)n FeSFET
原文传递
Al含量对TiAlN涂层的组织和抗氧化性能的影响 被引量:6
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作者 陈佳荣 朱丽慧 +1 位作者 倪旺阳 刘一雄 《上海金属》 CAS 2010年第3期11-14,共4页
采用阴极电弧蒸发镀在WC-Co硬质合金基体表面沉积两种不同Al含量的(Ti_(1-x)Al_x)N涂层,比较了(Ti_(0.4)Al_(0.6))N涂层和(Ti_(0.55)Al_(0.45))N涂层的组织和抗氧化性能。结果表明:两种涂层的主要相都是呈NaCl型面心立方结构的TiN。(Ti_... 采用阴极电弧蒸发镀在WC-Co硬质合金基体表面沉积两种不同Al含量的(Ti_(1-x)Al_x)N涂层,比较了(Ti_(0.4)Al_(0.6))N涂层和(Ti_(0.55)Al_(0.45))N涂层的组织和抗氧化性能。结果表明:两种涂层的主要相都是呈NaCl型面心立方结构的TiN。(Ti_(0.4)Al_(0.6))N涂层晶格常数较小,固溶强化作用较大,具有较高的硬度。与(Ti_(0.55)Al_(0.45))N涂层相比,(Ti_(0.4)Al_(0.6))N涂层900℃氧化后增重较少。XRD和SEM分析结果表明氧化后TiAlN涂层会形成Al_2O_3和TiO_2氧化物,且Al_2O_3对涂层中TiO_2析出有抑制作用,氧化后Al含量较高的(Ti_(0.4)Al_(0.6))N涂层的Al_2O_3和TiO_2含量较低,表面的氧化物颗粒尺寸也较小。(Ti_(0.4)Al_(0.6))N涂层抗氧化性能优于(Ti_(0.55)Al_(0.45))N涂层。 展开更多
关键词 (Ti1-x Alx )n涂层Al含量组织结构抗氧化性
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