黏滑断层隧道刚柔并济抗减错技术研究

为提高强震区黏滑断层隧道的结构安全性和稳定性,以都汶高速友谊隧道F1黏滑断层段为研究背景,对黏滑断层隧道采用刚柔并济抗减错技术进行研究。研究结果表明:采用结构加强措施抵抗断层黏滑错动影响,结构位移抗减错效果不显著,结构内力的平均抗减错效果在23%~33%之间;施设减错层有利于消减断层黏滑错动对隧道结构的影响,其拱顶沉降、边墙收敛抗减错效果分别达到20%以上,结构内力平均抗减错效果在37%~47%之间,优于结构加强措施;刚柔并济抗减错措施在抵抗及消减断层黏滑错动影响方面效果显著,其拱顶沉降、边墙收敛抗减错效果均能达到30%以上,而结构内力平均抗减错效果达到80%以上。研究成果可为强震区黏滑断层隧道抗震减灾设防设计提供参考。

金属连线光刻技术

介绍了一种细线条金属连线光刻技术。在溅射铝后,生长一薄层氮化硅薄膜作为减反层,利用氮化硅薄膜的光刻条件,涂覆薄胶可以保证刻出细线条,腐蚀薄层氮化硅保证线宽,同时在腐蚀铝过程中用氮化硅作掩蔽解决了薄胶问题。并在亚微米的抗辐射加固电路中成功应用。