利用三极射频 直流负偏压 等离子体增强化学气相沉积技术在45#钢表面制备了附着力较强的Si B N复合薄膜;采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了所制备的Si B N复合薄膜的组成和结构,通过划痕试验和球 盘摩擦磨损试验考察了薄膜与基...利用三极射频 直流负偏压 等离子体增强化学气相沉积技术在45#钢表面制备了附着力较强的Si B N复合薄膜;采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了所制备的Si B N复合薄膜的组成和结构,通过划痕试验和球 盘摩擦磨损试验考察了薄膜与基体的附着力及摩擦学性能.结果表明:通过合理地控制工艺参数,并对试样基体施加适当的直流负偏压,可以制得含六方氮化硼(h BN)和立方氮化硼(c BN)混合相的Si B N复合薄膜;而在Si B N复合薄膜表面引入沉积MoS2薄膜可以改善其摩擦学性能.展开更多
文摘利用三极射频 直流负偏压 等离子体增强化学气相沉积技术在45#钢表面制备了附着力较强的Si B N复合薄膜;采用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了所制备的Si B N复合薄膜的组成和结构,通过划痕试验和球 盘摩擦磨损试验考察了薄膜与基体的附着力及摩擦学性能.结果表明:通过合理地控制工艺参数,并对试样基体施加适当的直流负偏压,可以制得含六方氮化硼(h BN)和立方氮化硼(c BN)混合相的Si B N复合薄膜;而在Si B N复合薄膜表面引入沉积MoS2薄膜可以改善其摩擦学性能.