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Progressive current degradation and breakdown behavior in GaN LEDs under high reverse bias stress 被引量:1
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作者 赵琳娜 于沛洪 +6 位作者 郭子骧 闫大为 周浩 吴锦波 崔志强 孙华锐 顾晓峰 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第8期429-432,共4页
The progressive current degradation and breakdown behaviors of GaN-based light emitting diodes under high reversebias stress are studied by combining the electrical, optical, and surface morphology characterizations. ... The progressive current degradation and breakdown behaviors of GaN-based light emitting diodes under high reversebias stress are studied by combining the electrical, optical, and surface morphology characterizations. The current features a typical “soft breakdown” behavior, which is linearly correlated to an increase of the accumulative number of electroluminescence spots. The time-to-failure for each failure site approximately obeys a Weibull distribution with slopes of about 0.67 and 4.09 at the infant and wear-out periods, respectively. After breakdown, visible craters can be observed at the device surface as a result of transient electrostatic discharge. By performing focused ion beam cuts coupled with scan electron microscope, we observed a local current shunt path in the surface layer, caused by the rapid microstructure deterioration due to significant current heating effect, consistent well with the optical beam induced resistance change observations. 展开更多
关键词 GaN LEDs current degradation breakdown behavior reverse bias stress
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SOI高压LDMOS器件氧化层抗总电离剂量辐射效应研究
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作者 王永维 黄柯月 +4 位作者 王芳 温恒娟 陈浪涛 周锌 赵永瑞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期758-766,共9页
绝缘体上硅(SOI)高压横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件是高压集成电路的核心器件,对其进行了总电离剂量(TID)辐射效应研究。利用仿真软件研究了器件栅氧化层、场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷对电场和载流子分布的调制作用,栅氧化... 绝缘体上硅(SOI)高压横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件是高压集成电路的核心器件,对其进行了总电离剂量(TID)辐射效应研究。利用仿真软件研究了器件栅氧化层、场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷对电场和载流子分布的调制作用,栅氧化层辐射陷阱电荷主要作用于器件沟道区,而场氧化层和埋氧化层辐射陷阱电荷则主要作用于器件漂移区;辐射陷阱电荷在器件内部感生出的镜像电荷改变了器件原有的电场和载流子分布,从而导致器件阈值电压、击穿电压和导通电阻等参数的退化。对80 V SOI高压LDMOS器件进行了总电离剂量辐射实验,结果表明在ON态和OFF态下随着辐射剂量的增加器件性能逐步衰退,当累积辐射剂量为200 krad(Si)时,器件的击穿电压大于80 V,阈值电压漂移为0.3 V,器件抗总电离剂量辐射能力大于200 krad(Si)。 展开更多
关键词 辐射电荷 总电离剂量(TID)辐射效应 绝缘体上硅(SOI) 横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS) 击穿电压 导通电流
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辅助放电针对气体间隙直流自击穿特性的影响
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作者 石凌 谢霖燊 +10 位作者 郭帆 贾伟 王海洋 陈志强 程乐 王艺 吴刚 肖晶 梅锴盛 王戈飞 花见涛 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期86-91,共6页
为降低气体放电间隙直流条件下自击穿电压分散性,尽可能不影响其自击穿电压,基于环形电极放电间隙,设计了一种在阴极中心植入辅助放电针的辅助放电电极结构。通过电场仿真,研究了辅助放电针直径、长度和顶部倒角对放电间隙场畸变的影响... 为降低气体放电间隙直流条件下自击穿电压分散性,尽可能不影响其自击穿电压,基于环形电极放电间隙,设计了一种在阴极中心植入辅助放电针的辅助放电电极结构。通过电场仿真,研究了辅助放电针直径、长度和顶部倒角对放电间隙场畸变的影响。实验研究了放电间隙无辅助放电针和植入辅助放电针后,其在干燥空气和SF_(6)气体中的直流自击穿特性。结果表明:辅助放电针直径越小、长度越长,电极环对其电场屏蔽作用越弱,放电间隙场畸变强度越大;辅助放电针对SF_(6)气体放电间隙直流自击穿电压影响较小,随着场畸变系数的增大,同一气压下干燥空气自击穿电压下降百分数为SF_(6)气体自击穿电压下降百分数的2~3倍;辅助放电针对直流条件下干燥空气和SF_(6)气体放电间隙自击穿电压稳定性具有有益作用,分散性减小百分数较无辅助放电针结构均提高约25%。 展开更多
关键词 气体间隙 辅助放电针 场畸变 直流自击穿电压 击穿电压分散性
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石灰石粉掺量对混凝土中钢筋脱钝临界氯离子含量的影响
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作者 李辰治 蒋林华 《材料导报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期72-78,共7页
本工作研究了不同石灰石粉掺量(10%、20%、30%,质量分数,下同)对钢筋脱钝临界氯离子含量的影响,对混凝土试件进行干湿循环处理以加速氯离子渗透,同时采用半电池电位和电化学阻抗谱分别测定了钢筋的自腐蚀电位和腐蚀电流密度。结果表明,... 本工作研究了不同石灰石粉掺量(10%、20%、30%,质量分数,下同)对钢筋脱钝临界氯离子含量的影响,对混凝土试件进行干湿循环处理以加速氯离子渗透,同时采用半电池电位和电化学阻抗谱分别测定了钢筋的自腐蚀电位和腐蚀电流密度。结果表明,临界氯离子含量随着石灰石粉掺量的增加而减小,这主要是因为石灰石粉的掺入导致水泥含量降低,从而使混凝土孔隙液pH值降低。XRD分析表明石灰石粉的掺入抑制了单硫型水化硫铝酸钙(AFm)相的生成,从而降低了水化产物的氯离子结合能力。腐蚀电流密度的变化趋势服从三参数Weibull分布,其概率密度可以表征钝化膜破裂的速率,随着石灰石粉掺量的增加,钝化膜破裂速率增加。 展开更多
关键词 石灰石粉掺量 临界氯离子含量 腐蚀电位与电流密度 钢筋脱钝 WEIBULL分布
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某海上风电场35 kV集电线跳闸故障的处理
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作者 张金博 《农村电气化》 2024年第6期87-89,共3页
通过对某海上风电场35 kV集电线跳闸进行检查分析,确定集电线断路器跳闸的原因是集电线上连接的3#风机海缆终端头被击穿,造成单相接地故障。3#风机海缆终端头更换后送电时3#风机断路器跳闸,检查发现3#风机断路器TA二次接线端子松动,引... 通过对某海上风电场35 kV集电线跳闸进行检查分析,确定集电线断路器跳闸的原因是集电线上连接的3#风机海缆终端头被击穿,造成单相接地故障。3#风机海缆终端头更换后送电时3#风机断路器跳闸,检查发现3#风机断路器TA二次接线端子松动,引起自产零序电流过流,造成零序保护误动,使断路器跳闸。 展开更多
关键词 击穿 终端头 零序电流
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高压直流电缆用绝缘聚丙烯研究进展
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作者 黄勃 《合成树脂及塑料》 CAS 北大核心 2024年第3期63-69,共7页
综述了高压直流电缆用绝缘聚丙烯(PP)采用物理共混及化学改性时其结构、力学性能、电性能等方面的研究进展。机械拉伸会导致PP电荷积聚;接枝改性,添加抗氧剂、多环化合物、偶联剂改性及与其他高分子共混改性等均能有效抑制空间电荷,提... 综述了高压直流电缆用绝缘聚丙烯(PP)采用物理共混及化学改性时其结构、力学性能、电性能等方面的研究进展。机械拉伸会导致PP电荷积聚;接枝改性,添加抗氧剂、多环化合物、偶联剂改性及与其他高分子共混改性等均能有效抑制空间电荷,提高体积电阻率和直流击穿场强;添加无机氧化物纳米材料对PP复合材料的球晶尺寸、结晶温度、延展性、空间电荷行为和击穿场强有显著影响;无规共聚PP具有相对较好的热性能及显著高于交联聚乙烯(XLPE)的断裂伸长率和击穿场强,且其空间电荷行为远优于嵌段PP和XLPE。 展开更多
关键词 高压直流电缆 聚丙烯 空间电荷集聚 击穿场强
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新能源并网逆变器自同步电压源控制方法
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作者 王绍帅 江勇 《电气开关》 2024年第4期95-100,共6页
针对并网模式下的主动支撑和电流控制等问题,提出一种新能源并网逆变器的自同步电压源控制方法。首先,基于系统有功和无功功率,采用具有自同步特性的频率和电压主动支撑控制方法。其次,采用基于PIR调节器的平衡电流控制,一方面调节新能... 针对并网模式下的主动支撑和电流控制等问题,提出一种新能源并网逆变器的自同步电压源控制方法。首先,基于系统有功和无功功率,采用具有自同步特性的频率和电压主动支撑控制方法。其次,采用基于PIR调节器的平衡电流控制,一方面调节新能源并网逆变器自同步电压源的内电势与电网电压之间的阻抗特性,另一方面提升电网不平衡和扰动条件下的电流控制能力。此外,提出了直流侧电压防崩溃控制策略,能够有效应用于光伏自同步电压源系统中,提高了光伏电池输出电压的稳定性。仿真与实验结果表明,所提方法兼顾了电网自同步特性和电流的控制能力,优化了三相不平衡和扰动下的电流质量,提高了新能源并网逆变器的整体性能。 展开更多
关键词 新能源发电 并网逆变器 自同步电压源控制 平衡电流控制 防崩溃控制
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高压直流金属化薄膜电容器绝缘性能提升方法研究进展
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作者 肖萌 陈毓妍 +1 位作者 赵亦烁 杜伯学 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期2319-2331,共13页
金属化薄膜电容器因其具有优异的绝缘特性与自愈性能,被广泛用作高压直流输电等先进能源系统的核心设备,其绝缘介质聚丙烯薄膜是制约电容器安全可靠运行的重要因素。文中系统梳理了高压直流电容器用金属化聚丙烯薄膜的研究进展,基于聚... 金属化薄膜电容器因其具有优异的绝缘特性与自愈性能,被广泛用作高压直流输电等先进能源系统的核心设备,其绝缘介质聚丙烯薄膜是制约电容器安全可靠运行的重要因素。文中系统梳理了高压直流电容器用金属化聚丙烯薄膜的研究进展,基于聚丙烯薄膜的微观结构、运行工况及电极设计,提出了薄膜介质目前面临的风险及挑战。总结了提升聚丙烯薄膜耐受极端环境的绝缘改性方法,介绍了基于微观结构调控、本体掺杂、界面改性及多层结构设计的聚丙烯薄膜材料改性方法,并阐述了复合薄膜设计、安全膜设计、方阻设计等金属电极设计方法的发展进程。该研究将为服役于高压直流输电系统中电容器的绝缘设计、生产和运行维护提供参考。 展开更多
关键词 高压直流电容器 聚丙烯薄膜 绝缘性能 材料改性 击穿强度
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Dynamic Characteristics in Subnanosecond Breakdown and Generation of Supershort Avalanche Electron Beam 被引量:1
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作者 Victor F. Tarasenko SHAO Tao +6 位作者 Dmitry V. Rybka ZHANG Cheng Alexandr G. Burachenko Igor' D. Kostyrya Mikhail I. Lomaev Ping Yan Evgeni Kh. Baksht 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2207-2215,共9页
In this paper,subnanosecond-pulse and one-nanosecond-pulse generators are used to study the breakdowns in highly overvolted gaps in atmospheric pressure air.With different cathodes,we measured the applied voltage and ... In this paper,subnanosecond-pulse and one-nanosecond-pulse generators are used to study the breakdowns in highly overvolted gaps in atmospheric pressure air.With different cathodes,we measured the applied voltage and discharge current to investigate the dynamic characteristics in the subnanosecond breakdown during the generation of a supershort avalanche electron beam.Especially,characteristics of dynamic displacement current are presented in the current paper,which is detected between the ionization wave front and a plane anode.It is shown that during a subnanosecond voltage rise time,the amplitude of the dynamic displacement current can be higher than 4 kA.It is demonstrated that the breakdown in the air gap is assisted by ionization processes between the ionization wave front and a plane anode. 展开更多
关键词 动力学特性 亚纳秒 电子束 击穿 雪崩 超短 纳秒脉冲发生器 电离过程
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A novel 4H-SiC lateral bipolar junction transistor structure with high voltage and high current gain
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作者 邓永辉 谢刚 +1 位作者 汪涛 盛况 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第9期559-563,共5页
In this paper, a novel structure of a 4H-SiC lateral bipolar junction transistor (LBJT) with a base tield plate and double RESURF in the drift region is presented. Collector-base junction depletion extension in the ... In this paper, a novel structure of a 4H-SiC lateral bipolar junction transistor (LBJT) with a base tield plate and double RESURF in the drift region is presented. Collector-base junction depletion extension in the base region is restricted by the base field plate. Thin base as well as low base doping of the LBJT therefore can be achieved under the condition of avalanche breakdown. Simulation results show that thin base of 0.32 μm and base doping of 3 × 1017 cm 3 are obtained, and corresponding current gain is as high as 247 with avalanche breakdown voltage of 3309 V when the drift region length is 30 μm. Besides, an investigation of a 4H-SiC vertical BJT (VBJT) with comparable breakdown voltage (3357 V) shows that the minimum base width of 0.25 ~tm and base doping as high as 8 × 10^17 cm^-3 contribute to a maximum current gain of only 128. 展开更多
关键词 4H-SIC lateral bipolar junction transistor (BJT) high current gain high breakdown voltage
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基于湿法腐蚀凹槽阳极的低漏电高耐压AlGaN/GaN肖特基二极管
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作者 武鹏 朱宏宇 +3 位作者 吴金星 张涛 张进成 郝跃 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第17期364-370,共7页
得益于铝镓氮/氮化镓异质结材料较大的禁带宽度、较高的击穿场强以及异质界面存在的高面密度及高迁移率的二维电子气,基于该异质结材料的器件在高压大功率及微波射频方面具有良好的应用前景,尤其是随着大尺寸硅基氮化镓材料外延技术的... 得益于铝镓氮/氮化镓异质结材料较大的禁带宽度、较高的击穿场强以及异质界面存在的高面密度及高迁移率的二维电子气,基于该异质结材料的器件在高压大功率及微波射频方面具有良好的应用前景,尤其是随着大尺寸硅基氮化镓材料外延技术的逐渐成熟,低成本的氮化镓器件在消费电子方面也展现出极大的优势.为了提高铝镓氮/氮化镓肖特基二极管的整流效率,通常要求器件具有较小的开启电压、较低的反向漏电和较高的击穿电压,采用低功函数金属阳极结构能有效降低器件开启电压,但较低的阳极势垒高度使器件易受界面缺陷的影响,导致器件反向漏电增大.本文采用一种新型的基于热氧氧化及氢氧化钾腐蚀的低损伤阳极凹槽制备技术,解决了常规干法刻蚀引入的表面等离子体损伤难题,使凹槽表面粗糙度由0.57 nm降低至0.23 nm,器件阳极反向偏置为-1 kV时的漏电流密度由1.5×10^(-6) A/mm降低至2.6×10^(-7) A/mm,另外,由于热KOH溶液对热氧氧化后的AlGaN势垒层及GaN沟道层具有良好的腐蚀选择比,因此避免了干法刻蚀腔体中由于等离子体分布不均匀导致的边缘刻蚀尖峰问题,使器件反向耐压由-1.28 kV提升至-1.73 kV,器件性能得到极大提升. 展开更多
关键词 铝镓氮/氮化镓 肖特基二极管 低反向漏电 高击穿电压
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过压击穿晶闸管的柔直“黑模块”解决方案 被引量:1
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作者 王振 肖凯 +1 位作者 谢文杰 崔焘 《电力电子技术》 北大核心 2023年第2期133-136,共4页
柔性直流换流阀运行时,因“黑模块”引起的故障如不能及时清理,会造成直流输电系统跳闸的严重故障。根据乌东德工程换流阀的研制过程,提出一种利用过压自击穿晶闸管的短路特性,实现柔直“黑模块”故障清除的解决方案。阐述了柔直换流阀... 柔性直流换流阀运行时,因“黑模块”引起的故障如不能及时清理,会造成直流输电系统跳闸的严重故障。根据乌东德工程换流阀的研制过程,提出一种利用过压自击穿晶闸管的短路特性,实现柔直“黑模块”故障清除的解决方案。阐述了柔直换流阀“黑模块”故障机理及其带来的危害,在此基础上提出了过压自击穿晶闸管用于“黑模块”故障处理的原理,并分析了这种柔直专用的过压自击穿晶闸管的电气特性,评估了这种方案的电气应力情况;最后,设计试验电路进行了试验验证。最终成功在乌东德工程中实现工程化应用。 展开更多
关键词 直流输电系统 黑模块 过压自击穿晶闸管
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基于UTB-SOI技术的双辅助触发SCR ESD防护器件研究
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作者 张效俊 成建兵 +2 位作者 李瑛楠 孙旸 吴家旭 《微电子学》 CAS 北大核心 2023年第6期1109-1113,共5页
为了提高FDSOI ESD防护器件的二次击穿电流,基于UTB-SOI技术,提出了一种SOI gg-NMOS和寄生体硅PNP晶体管双辅助触发SCR器件。通过gg-NMOS源区的电子注入和寄生PNP晶体管的开启,共同辅助触发主泄放路径SCR,快速泄放ESD电流。TCAD仿真结... 为了提高FDSOI ESD防护器件的二次击穿电流,基于UTB-SOI技术,提出了一种SOI gg-NMOS和寄生体硅PNP晶体管双辅助触发SCR器件。通过gg-NMOS源区的电子注入和寄生PNP晶体管的开启,共同辅助触发主泄放路径SCR,快速泄放ESD电流。TCAD仿真结果表明,新结构能够泄放较高的二次击穿电流,具有可调节的触发电压。 展开更多
关键词 全耗尽绝缘体上硅 静电放电 双辅助触发 二次击穿电流
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太阳翼电池串基于静电放电所需要的安全距离设计研究
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作者 于博 张岩 +1 位作者 余水淋 康小录 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期267-276,共10页
太阳翼电池串的静电放电作用会产生电池串之间的导通电流以及表面热流,对太阳翼的可靠性带来较大影响。为研究上述问题,本文提出一种等离子体空间电阻数值模型,以求解电池串导电表面之间的空间电阻。基于验证试验,该数值模型的误差为3.1... 太阳翼电池串的静电放电作用会产生电池串之间的导通电流以及表面热流,对太阳翼的可靠性带来较大影响。为研究上述问题,本文提出一种等离子体空间电阻数值模型,以求解电池串导电表面之间的空间电阻。基于验证试验,该数值模型的误差为3.19%~7.82%,可基本满足研究需要。在此基础上,针对各类等离子体环境、不同放电电压以及不同间隙下的电池串之间的导通电流和表面热流密度进行数值计算,获得了导通电流和表面热流密度的变化规律,并总结出电池片之间安全距离的建议设计值。 展开更多
关键词 太阳翼电池串 静电放电 等离子体电阻 导通电流 安全距离
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脉冲电压老炼过程中真空击穿机制演化机理 被引量:1
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作者 李世民 江希茜 +3 位作者 李镇廷 杜昭启 杨威 张潮海 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第11期4790-4797,共8页
脉冲电压老炼是提高真空电极间隙击穿特性的有效方法。该文采用64/700μs冲击电压对纯铜球电极进行脉冲电压老炼试验,利用X射线光子能谱表面分析、阴极表面粗糙度及扫描电子显微镜测量,结合Fowler-Nordheim理论,分析诊断了脉冲电压老炼... 脉冲电压老炼是提高真空电极间隙击穿特性的有效方法。该文采用64/700μs冲击电压对纯铜球电极进行脉冲电压老炼试验,利用X射线光子能谱表面分析、阴极表面粗糙度及扫描电子显微镜测量,结合Fowler-Nordheim理论,分析诊断了脉冲电压老炼过程中真空击穿波形的击穿机制,并揭示真空击穿机制的演化机理。结果表明:阴极表面X射线能谱Cu峰变化对比,表面粗糙度及其突起结构和微观金属微粒分别支撑验证了老炼过程中击穿波形包含脉冲电流诱发真空击穿,场致发射诱发真空击穿和微粒诱发真空击穿3种击穿机制。脉冲电压老炼过程中存在不同真空击穿机制的演化过程,具体为:老炼起始阶段的击穿机制主要为脉冲电流诱发真空击穿和微粒诱发真空击穿;随后老炼过程由微粒诱发真空击穿主导,脉冲电流诱发真空击穿消失,场致发射诱发真空击穿逐渐增多;最终,老炼饱和阶段由场致发射诱发真空击穿与微粒诱发真空击穿共同主导。该试验结果为从击穿机制演化机理角度提升真空电极间隙击穿特性提供重要理论参考。 展开更多
关键词 真空断路器 脉冲电压老炼 击穿机制 电压电流波形 电极表面物理特征 演化机理
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直流电压下油纸复合绝缘电场分布对击穿特性的影响 被引量:3
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作者 宋翰林 黄猛 +3 位作者 姚园鑫 尤玮光 应宇鹏 吕玉珍 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期4938-4947,共10页
油纸复合绝缘击穿是换流变压器的主要绝缘故障之一,但是油纸复合绝缘电场分布与击穿特性之间的量化关系研究较少。通过添加TiO_(2)纳米粒子调节油纸复合绝缘的电场分布与击穿特性,采用电声脉冲法测量了油纸复合绝缘中的电场分布,搭建了... 油纸复合绝缘击穿是换流变压器的主要绝缘故障之一,但是油纸复合绝缘电场分布与击穿特性之间的量化关系研究较少。通过添加TiO_(2)纳米粒子调节油纸复合绝缘的电场分布与击穿特性,采用电声脉冲法测量了油纸复合绝缘中的电场分布,搭建了基于光电倍增管和罗氏线圈的击穿过程光-电联合观测平台,并提出了融合扩展Debye模型和界面势垒限制电流的油纸复合绝缘等效模型。结果发现:纳米粒子引入的松弛极化过程和浅陷阱使界面电荷密度增大,油纸复合绝缘击穿过程的光-电信号时差和击穿电压的极性效应与原来完全相反,其原因在于油纸复合绝缘电场分布改变导致击穿的起始位置不同;所提模型能较好反映夹层介质极化电流、电场分布和击穿电压的极性效应之间的关联关系,并且计算结果与实测结果较相符,验证了模型的有效性。该研究可为换流变压器绝缘结构设计和油纸复合绝缘材料改性提供指导。 展开更多
关键词 油纸绝缘 界面势垒 光电联合 Debye模型 电场分布 击穿 TiO_(2)粒子
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柔直阀用双重保护晶闸管设计及试验研究
17
作者 冯静波 客金坤 +1 位作者 刘斌 王新颖 《电力电子技术》 北大核心 2023年第7期130-133,共4页
半桥型柔性直流系统在直流故障及旁路开关拒动情况下,极易引起IGBT器件的损坏。电压、电流双重保护晶闸管具备故障分流及旁路功能,对提升半桥型柔性直流系统运行安全至关重要。研究了电压电流双重保护晶闸管工作原理,获取短路分流和击... 半桥型柔性直流系统在直流故障及旁路开关拒动情况下,极易引起IGBT器件的损坏。电压、电流双重保护晶闸管具备故障分流及旁路功能,对提升半桥型柔性直流系统运行安全至关重要。研究了电压电流双重保护晶闸管工作原理,获取短路分流和击穿引流的功能设计需求,结合电热应力分析提出了保护晶闸管的选型原则,最后以±800 kV/8 000 MW的半桥结构样机进行试验验证,证明了保护晶闸管设计与试验研究的正确性。 展开更多
关键词 电压电流双重保护晶闸管 击穿通流 开通分流
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屏蔽栅沟槽MOSFET源-漏极间的漏电流优化
18
作者 余长敏 罗志永 刘宇 《半导体技术》 北大核心 2023年第12期1092-1096,共5页
对于功率MOSFET,在较大的外加电压下能否获得更小的源-漏极间漏电流是评价器件性能的重要指标之一。针对击穿电压150 V的屏蔽栅沟槽MOSFET源-漏极间漏电流过大的问题,提出了两种有效的优化方法,包括降低接触孔离子注入后快速退火温度及... 对于功率MOSFET,在较大的外加电压下能否获得更小的源-漏极间漏电流是评价器件性能的重要指标之一。针对击穿电压150 V的屏蔽栅沟槽MOSFET源-漏极间漏电流过大的问题,提出了两种有效的优化方法,包括降低接触孔离子注入后快速退火温度及减薄接触孔钛黏合层的厚度。结合理论计算,从缺陷影响的角度分析了上述方法减小漏电流的原因。这两种方法降低了源区pn结附近的缺陷浓度,导致pn结的反偏产生电流减小,从而减小漏电流,有效改善了源-漏极间漏电流过大的问题,使产品成品率得到提高。 展开更多
关键词 漏电流 击穿电压 接触孔 黏合层 离子注入
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多场环结构对GaN基JBS击穿电压和正向工作电流的影响
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作者 陈宏佑 王志忠 +3 位作者 黄福平 楚春双 张勇辉 张紫辉 《河北工业大学学报》 CAS 2023年第1期32-40,共9页
通过TCAD仿真模拟计算,系统地研究了不同结构参数对GaN基结势垒肖特基二极管(Junction Barrier Schottky Diode)电学特性的影响。JBS二极管在肖特基接触下方以若干个p型场环取代N--GaN漂移区,通过电荷耦合效应降低肖特基接触位置的电场... 通过TCAD仿真模拟计算,系统地研究了不同结构参数对GaN基结势垒肖特基二极管(Junction Barrier Schottky Diode)电学特性的影响。JBS二极管在肖特基接触下方以若干个p型场环取代N--GaN漂移区,通过电荷耦合效应降低肖特基接触位置的电场强度,减弱镜像力的影响以达到减小反向漏电和提高击穿电压的效果。研究表明,P-GaN场环的厚度、掺杂浓度及场环的间隔均对器件的反向击穿电压有明显影响。例如,采用适当厚度的场环可以显著降低反偏状态下肖特基接触位置下方的电场强度,同时不会产生过大的pn结漏电,最优厚度300 nm的场环可以实现1 120 V的击穿电压。同时,由于阳极金属分别与N--GaN和P-GaN形成肖特基接触和欧姆接触,JBS二极管可以实现低开启电压。当pn开启后,P-GaN内空穴注入漂移区产生电导调制效应,有助于提高正向电流密度。 展开更多
关键词 击穿电压 漏电流 结势垒肖特基(JBS)二极管 电荷耦合 器件优化
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兼具高电流增益和高击穿性能的电荷等离子体双极晶体管
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作者 金冬月 贾晓雪 +5 位作者 张万荣 那伟聪 曹路明 潘永安 刘圆圆 范广祥 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期1141-1149,共9页
为了兼顾高电流增益β和发射极开路集电结的高击穿电压V_(CBO)与基极开路集电极-发射极间的高击穿电压V_(CEO),有效提升电荷等离子体双极晶体管(bipolar charge plasma transistor,BCPT)的高压大电流处理能力,利用SILVACO TCAD建立了npn... 为了兼顾高电流增益β和发射极开路集电结的高击穿电压V_(CBO)与基极开路集电极-发射极间的高击穿电压V_(CEO),有效提升电荷等离子体双极晶体管(bipolar charge plasma transistor,BCPT)的高压大电流处理能力,利用SILVACO TCAD建立了npn型BCPT的器件模型。考虑到双极晶体管的击穿电压主要取决于集电区掺杂浓度,首先研究了集电极金属对BCPT性能的影响。分析表明,BCPT集电区的电子浓度强烈依赖于电极金属的功函数,当采用功函数较大的铝(Al)作为集电极金属时,由于减小了金属-半导体接触的功函数差,降低了集电区中诱导产生的电子等离子体浓度,从而有效降低了集电结空间电荷区峰值电场强度,减小了峰值电子温度以及峰值电子碰撞电离率,因此,达到改善击穿电压V_(CBO)和V_(CEO)的目的。然而,集电区电子浓度的减小会引起基区Kirk效应,增大基区复合,降低β。为此,进一步提出了一种采用衬底偏压结构的BCPT,通过在发射区和基区下方引入正衬底偏压,调制发射区和基区有效载流子浓度,达到提高发射结注入效率、增大β的目的。结果表明:与仅采用锆(Zr)作为集电极金属的BCPT相比,该器件的峰值电流增益改善了21.69%,击穿电压V_(CBO)和V_(CEO)分别改善了12.78%和56.41%,从而有效扩展了BCPT的高功率应用范围。 展开更多
关键词 电荷等离子体双极晶体管(bipolar charge plasma transistor BCPT) 金属-半导体接触的功函数差 正衬底偏压结构 发射结注入效率 电流增益 击穿电压
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