高纯甲烷纯气体中的杂质分析——CCQM K66国际比对

针对国际CCQM组织的K66高纯甲烷纯度分析关键比对,建立高纯甲烷中杂质的分析和定量方法。根据标准物质的制备过程和对稀释气中杂质的分析结果,对比对过程中的测量不确定度进行了评定。比对样品甲烷中氩气、氮气、乙烷和二氧化碳含量的测定结果分别为2.005、3.601、1.477、2.615μmol/mol,相对扩展不确定度(k=2)分别为1.5%、4.5%、1.5%、1.6%。