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TiN/TiCN/Al_2O_3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为 被引量:14
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作者 谢灿强 陈康华 +3 位作者 王社权 祝昌军 徐银超 陈响明 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2011年第1期26-31,共6页
采用高温化学气相沉积(HT-CVD)和中温化学气相沉积(MT-CVD)相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-(W,Ti)C-(Ta,Nb)C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂... 采用高温化学气相沉积(HT-CVD)和中温化学气相沉积(MT-CVD)相结合的复合化学气相沉积新技术在硬质合金基体WC-(W,Ti)C-(Ta,Nb)C-6%Co上分别沉积TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层,制备TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金。通过氧化实验,X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和显微硬度计等手段研究TiN/TiCN/TiN和TiN/TiCN/Al2O3/TiN CVD多层涂层硬质合金的氧化行为。结果表明,涂层后硬质合金的抗氧化性能明显提高,Al2O3的加入能进一步提高CVD多层涂层硬质合金的抗氧化性能,并使涂层硬质合金表现出独特的氧化行为。Al2O3涂层的抗氧化机理为Al2O3具有良好的高温化学稳定性,能起到很好的隔热和阻碍氧扩散的作用。 展开更多
关键词 tin/TiCN/tin tin/TiCN/Al2O3/tin cvd多层涂层硬质合金 氧化行为
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CVD制备纳米TiN合金镀层工艺研究 被引量:2
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作者 淮遵科 孙长涛 +1 位作者 邓斌 申世坤 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第10期196-198,共3页
为了提高汽车行星齿轮轴的耐磨性和耐腐蚀性,设计了CVD沉积纳米Ti N合金镀层工艺,并在轴表面制备了纳米Ti N合金镀层;通过试验分别研究了镀层硬度与纳米Ti N含量间的关系,以及镀层的耐磨性耐腐蚀性能。结果表明:镀层硬度随Ti N质量的增... 为了提高汽车行星齿轮轴的耐磨性和耐腐蚀性,设计了CVD沉积纳米Ti N合金镀层工艺,并在轴表面制备了纳米Ti N合金镀层;通过试验分别研究了镀层硬度与纳米Ti N含量间的关系,以及镀层的耐磨性耐腐蚀性能。结果表明:镀层硬度随Ti N质量的增加而增大,耐磨性和耐腐蚀性均有成倍提高。 展开更多
关键词 纳米tin cvd 合金镀层 耐磨性 耐腐蚀性
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具有CVD纳米TiN摩擦面的汽车同步环制造工艺研究
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作者 淮遵科 南欢 +1 位作者 孙慧 王峰 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2015年第8期106-108,共3页
同步环是重载汽车变速箱中的关键零件,可以有效减少汽车换挡过程的振动、冲击和噪声,有效提升汽车操控的稳定性和安全性,并能够降低油耗。同步器是利用同步环摩擦副实现动力传递,从而实现汽车的换挡。应用化学气相沉积技术在钢基同步环... 同步环是重载汽车变速箱中的关键零件,可以有效减少汽车换挡过程的振动、冲击和噪声,有效提升汽车操控的稳定性和安全性,并能够降低油耗。同步器是利用同步环摩擦副实现动力传递,从而实现汽车的换挡。应用化学气相沉积技术在钢基同步环表面沉积纳米Ti N合金镀层,是一种新的同步环制造工艺。同步环摩擦副的性能直接关系到变速器的可靠性、安全性和使用寿命。 展开更多
关键词 同步环 纳米tin 化学气相沉积 制造工艺
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高速钢工件表面物理化学气相沉积TiN 被引量:10
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作者 石玉龙 彭红瑞 +1 位作者 李世直 李建华 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第11期22-23,共2页
介绍了等离子化学气相沉积氮化钛技术在高速钢刀具和飞机用高速钢精密轴承上的应用。经PCVD-TiN处理的高速钢刀具可以提高其表面强度,降低摩擦系数,从而提高其使用寿命。处理过的高速钢轴承精度高,具有抗高温氧化和抗热震性... 介绍了等离子化学气相沉积氮化钛技术在高速钢刀具和飞机用高速钢精密轴承上的应用。经PCVD-TiN处理的高速钢刀具可以提高其表面强度,降低摩擦系数,从而提高其使用寿命。处理过的高速钢轴承精度高,具有抗高温氧化和抗热震性能,满足了使用要求。 展开更多
关键词 等离子化学气相沉积 氮化钛 高速钢刀具 精密轴承
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等离子体化学气相沉积TiN涂层的后热处理技术研究 被引量:9
5
作者 赵程 彭红瑞 +1 位作者 谢广文 李世直 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第5期366-369,共4页
为了提高等离子体化学气相沉积 (PCVD)涂层的质量 ,改善基体材料的机械性能 ,更好地发挥PCVD硬质涂层的使用效果 ,采用了先沉积后热处理的新工艺。结果表明 ,热处理温度对PCVD TiN涂层的化学成分、显微结构和性能有较大的影响。随着处... 为了提高等离子体化学气相沉积 (PCVD)涂层的质量 ,改善基体材料的机械性能 ,更好地发挥PCVD硬质涂层的使用效果 ,采用了先沉积后热处理的新工艺。结果表明 ,热处理温度对PCVD TiN涂层的化学成分、显微结构和性能有较大的影响。随着处理温度的提高 ,涂层的结晶度得到大幅度的改善 ,涂层内的杂质氯含量降低 ,涂层的 (2 0 0 )晶面距减小 ,但在 90 0℃时 ,PCVD 展开更多
关键词 tin涂层 后热处理 Pcvd 金属表面强化
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化学气相沉积耐磨涂层TiN的温度选择 被引量:2
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作者 张林荣 张福林 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第1期69-73,共5页
化学气相沉积(CVD)TiN涂层在模具上涂复3~10μm可使模具寿命提高3~4倍。本文研究指出:沉积温度对沉积速率、涂层硬度及对基体Cr12MoV硬度和尺寸都有影响。在950~1000℃间可以得到接近化学计量的TiN,其硬度Hv(1)≈20000N/mm^2,基体尺... 化学气相沉积(CVD)TiN涂层在模具上涂复3~10μm可使模具寿命提高3~4倍。本文研究指出:沉积温度对沉积速率、涂层硬度及对基体Cr12MoV硬度和尺寸都有影响。在950~1000℃间可以得到接近化学计量的TiN,其硬度Hv(1)≈20000N/mm^2,基体尺寸变化在万分之五以内。 展开更多
关键词 涂层 tin 模具 气相沉积 氮化钛
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Ti(CN)/TiC/Al_2O_3/TiN多层涂层的结构和界面结合力研究 被引量:5
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作者 张进 程小伟 薛屺 《真空》 CAS 北大核心 2011年第6期25-28,共4页
采用中温、高温复合化学气相沉积技术(MHCVD)在WC-(6%wt)Co硬质合金基体表面制备了Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN多层陶瓷涂层。通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和数显显微硬度计等手段分析多层陶瓷涂层的表面及断面形貌... 采用中温、高温复合化学气相沉积技术(MHCVD)在WC-(6%wt)Co硬质合金基体表面制备了Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN多层陶瓷涂层。通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和数显显微硬度计等手段分析多层陶瓷涂层的表面及断面形貌、物相组成、显微硬度;采用表面划痕实验,结合形貌观察及X射线能谱分析(EDS)研究多层陶瓷涂层/硬质合金基体的界面结合力及其影响因素。结果表明:Ti(CN)/TiC/Al2O3/TiN多层陶瓷涂层结构均匀致密,涂层后硬质合金的显微硬度明显提高,约2600 HV,多层陶瓷涂层与基体界面结合良好,划痕实验显示临界载荷高达105 N,多层陶瓷涂层界面间的原子扩散作用对涂层/基体界面附着力有较大贡献,而涂层内部少量Ti2O3、W6Co6C等物相的存在对提高界面结合力也有帮助。 展开更多
关键词 化学气相沉积 Ti(CN)/TiC/Al2O3/tin 划痕实验 界面结合力
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湿喷砂对TiN+Al2O3+TiCN涂层性能的影响 被引量:3
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作者 曾伟 董凯林 +1 位作者 王鹏 时凯华 《四川冶金》 CAS 2020年第3期12-17,共6页
研究了在不同压力、不同时间和不同砂水浓度三种情况下,湿喷砂工艺参数对CVD膜TiN+Al2O3+TiCN涂层厚度、表面光洁度、涂层硬度、涂层磨粒磨损的影响变化规律。研究发现:涂层厚度随喷砂时间、喷砂压力及砂水浓度的增加而减小;涂层表面光... 研究了在不同压力、不同时间和不同砂水浓度三种情况下,湿喷砂工艺参数对CVD膜TiN+Al2O3+TiCN涂层厚度、表面光洁度、涂层硬度、涂层磨粒磨损的影响变化规律。研究发现:涂层厚度随喷砂时间、喷砂压力及砂水浓度的增加而减小;涂层表面光洁度随喷砂时间的延长,提升效果明显;湿喷砂对提高涂层表面硬度和磨粒磨损性能具有显著影响,且变化趋势相同。通过实验分析还得出湿喷砂工艺参数为砂水浓度值30%、时间4秒、压力0.4 MPa时,TiN+Al2O3+TiCN膜能够形成双色表态,且综合性能最好。 展开更多
关键词 湿喷砂 cvd 涂层性能 tin+Al2O3+TiCN 砂水浓度 喷砂时间 喷砂压力
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TiN/TiSiN复合涂层的耐磨性能研究 被引量:10
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作者 谢春雨 何畏 徐彤 《石油矿场机械》 2008年第2期8-11,共4页
根据Archard磨损理论推导牙轮钻头滑动轴承摩擦计算公式,在CVD装置中生成滑动轴承摩擦面上的TiN/TiSiN复合涂层,并通过万能摩擦磨损试验机进行试件试验。试验结果表明,TiN/TiSiN复合涂层可以有效提高牙轮钻头滑动轴承耐磨性,延长其使用... 根据Archard磨损理论推导牙轮钻头滑动轴承摩擦计算公式,在CVD装置中生成滑动轴承摩擦面上的TiN/TiSiN复合涂层,并通过万能摩擦磨损试验机进行试件试验。试验结果表明,TiN/TiSiN复合涂层可以有效提高牙轮钻头滑动轴承耐磨性,延长其使用寿命。 展开更多
关键词 tin/TiSiN复合涂层 滑动轴承 cvd 磨损
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化学气相沉积TiC-Ti(CN)-TiN涂层在硬质合金模具上应用研究 被引量:2
10
作者 张福林 张林荣 《表面技术》 EI CAS CSCD 1995年第1期27-30,共4页
用化学气相沉积(CVD)法在硬质合金模具上沉积TiC-Ti(CN)—TiN耐磨涂层,经工业试验表明,涂层具有硬度高,摩擦系数小,与基体结合良好,化学稳定性好和耐磨损等优良性能。有复合耐磨涂层模具比无复合涂层模具使用寿命高1~l0多倍。
关键词 硬质合金 模具 氮化钛 刀片 涂层 碳化钛
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Study of TiC+TiN Multiple Films On Type of 316L Stainless Steel 被引量:10
11
作者 XUEQi JINYong +2 位作者 HUDong-ping HUANGBen-sheng DENGBai-quan 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第05B期916-920,共5页
In this paper, the synthesis process of TiC+TiN multiple films on super-low-carbon stainless steels is reported. The TiC layer is coated as the first layer in the multiple film, the change of growth rate of the film o... In this paper, the synthesis process of TiC+TiN multiple films on super-low-carbon stainless steels is reported. The TiC layer is coated as the first layer in the multiple film, the change of growth rate of the film on the 316L Stainless steel is not same as the one on carbides substrates, while the mole ratio of CRi to TiCLi (mCH/TiCl4) is changed from 1.2 to 2.0. The Ti [C, N], as a kind of inter-layer between TiC and TiN layers, is helpful to improve the adhesion between the TiC and TiN layer. The cooling rate greatly influences the quality of the adhesion between the TiC+TiN film and substrates. 展开更多
关键词 316L不锈钢 cvd TIC tin 复合薄膜
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含TiN阻氚过渡层新型第一壁的氘渗透实验研究
12
作者 张舒婷 黄向玫 +3 位作者 赵栋烨 洪志浩 曾晓晓 才来中 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第S01期38-42,共5页
为了更好地控制氚滞留和改善氚循环,同时确保聚变装置的氚安全许可,第一壁的阻氚性能显得格外重要。一种含氮化钛(TiN)阻氚过渡层的新型第一壁结构被提出,由化学气相沉积钨(CVD-W)作为面向等离子体材料(PFM),低活化铁素体马氏体钢(RAFM)... 为了更好地控制氚滞留和改善氚循环,同时确保聚变装置的氚安全许可,第一壁的阻氚性能显得格外重要。一种含氮化钛(TiN)阻氚过渡层的新型第一壁结构被提出,由化学气相沉积钨(CVD-W)作为面向等离子体材料(PFM),低活化铁素体马氏体钢(RAFM)CLF-1作为基体材料,TiN作为过渡层,该过渡层兼具结合功能和阻氚功能。为了研究该第一壁结构的阻氚性能,本工作制备了具有不同基材粗糙度的样品,采用气相驱动渗透(GDP)实验对样品进行氘渗透测试,采用配有能谱仪(EDS)的扫描电镜(SEM)及X射线衍射仪(XRD)对样品的CVD-W表面、TiN过渡层及样品截面进行微观形貌观察及成分分析。结果表明,氘的渗透率与温度满足Arrhenius关系。相较于在CLF-1钢中,氘在含TiN阻氚过渡层第一壁结构中有更低的渗透率,对氘有明显的阻挡效果。基材粗糙度较大的样品在渗透过程中发生了CVD-W的碎裂和脱落以及TiN过渡层的开裂,使其氘渗透率相对更大。 展开更多
关键词 第一壁 阻氚 氘的渗透 tin cvd-W CLF-1钢
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CVD技术在模具上的应用 被引量:2
13
作者 张林荣 张福林 《北京科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第5期472-477,共6页
化学气相沉积(CVD)涂层TiN、Ti(C,N)是提高模具使用寿命的有效途径。本文总结了涂层模具的使用情况,分析了寿命提高的原因。
关键词 模具 cvd涂层 磨损 TI tin
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等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用研究 被引量:7
14
作者 任志华 彭红瑞 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1995年第4期345-349,共5页
总结了等离子体化学气相沉积(PCVD)技术涂层高速钢、硬质合金刀具的应用。试验表明经TiN涂层的滚刀、插齿刀可显著提高使用寿命。硬质合金刀片上涂覆2~3μmTiN后,月牙洼磨损显著降低,切削温度也降低。
关键词 Pcvd 涂层 切削 刀具 氮化钛
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工模具钢表面化学气相沉积法强化技术应用研究 被引量:1
15
作者 段来根 葛柏青 《电加工与模具》 2007年第6期47-49,共3页
在实验和理论分析的基础上,利用化学气相沉积技术在工具钢和模具钢基体表面沉积TiN薄膜,以提高模具表面强度和耐磨性。
关键词 化学气相沿 tin薄膜 工艺参数 工模具钢 强化
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互连线工艺中铝上窜至VIA的研究
16
作者 姜晨 刘恩峰 徐锋 《电子器件》 CAS 2007年第5期1580-1582,1586,共4页
讨论一种发生在铝互连线工艺中的较为少见的VIA(通孔)失效现象:淀积VIA氮化钛阻挡层后出现下层铝的上窜.通过对于失效的VIA进行失效分析,我们在VIA孔底部发现了一层变异的金属层.EDS成分分析显示它的主要成分是铝,并包含一些钛化铝的成... 讨论一种发生在铝互连线工艺中的较为少见的VIA(通孔)失效现象:淀积VIA氮化钛阻挡层后出现下层铝的上窜.通过对于失效的VIA进行失效分析,我们在VIA孔底部发现了一层变异的金属层.EDS成分分析显示它的主要成分是铝,并包含一些钛化铝的成分.这种VIA失效现象的根本成因是在淀积VIA氮化钛阻挡层时,下面金属层的铝被挤入至VIA孔导致VIA的主要填充成分钨无法顺利填入. 展开更多
关键词 通孔 铝上窜 氮化钛
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TiCN,TiAlN,TiAlCN涂层研究现状 被引量:1
17
作者 吴勇 杨汉哲 +2 位作者 孙清云 陈辉 夏思瑶 《材料保护》 CAS CSCD 2023年第9期1-10,共10页
TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C... TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C对涂层结构及性能的影响及其作用机理。归纳了近几年TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的制备方法,包括直流磁控溅射法(DCMS)、高功率脉冲磁控溅射法(HiPIMS)、中温化学气相沉积法(MTCVD)和激光化学气相沉积法(LCVD)等,并对多元TiN涂层的未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 硬质涂层 多元tin涂层 物理气相沉积(PVD) 化学气相沉积(cvd)
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TiCN,TiAlN,TiAlCN涂层研究现状
18
作者 吴勇 杨汉哲 +2 位作者 孙清云 陈辉 夏思瑶 《表面工程与再制造》 2023年第6期40-43,共4页
TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C... TiAlCN等硬质涂层能提高金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、磨具及汽车零部件的精密度和使用寿命。综述了TiN添加Al、C元素形成的TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的结构及应用,总结了添加元素Al、C对涂层结构及性能的影响及其作用机理。归纳了近几年TiCN、TiAlN及TiAlCN涂层的制备方法,包括直流磁控溅射法(DCMS)、高功率脉冲磁控溅射法(HiPIMS)、中温化学气相沉积法(MTCVD)和激光化学气相沉积法(LCVD)等,并对多元TiN涂层的未来发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 硬质涂层 多元tin涂层 物理气相沉积(PVD) 化学气相沉积(cvd)
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纳米TiN粒子对TiN-Ni合金镀层机械性能的影响
19
作者 淮遵科 南欢 王峰 《机械传动》 CSCD 北大核心 2015年第6期77-79,共3页
应用化学沉积技术在汽车变速器行星齿轮轴上沉积一层纳米TiN-Ni合金镀层,试验表明纳米TiN粒子提高了TiN-Ni合金镀层的硬度、耐磨性和耐腐蚀性,摩擦系数也有增大。纳米TiN粒子均匀地弥散分布在TiN-Ni镀层合金的晶胞中,形成了金属合金陶... 应用化学沉积技术在汽车变速器行星齿轮轴上沉积一层纳米TiN-Ni合金镀层,试验表明纳米TiN粒子提高了TiN-Ni合金镀层的硬度、耐磨性和耐腐蚀性,摩擦系数也有增大。纳米TiN粒子均匀地弥散分布在TiN-Ni镀层合金的晶胞中,形成了金属合金陶瓷镀层,镀层组织致密而坚硬,且镀层中有无数个硬点,起到强化TiN-Ni合金镀层机械性能的作用。 展开更多
关键词 纳米tin cvd 合金镀层 机械性能
原文传递
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