70-nanometer DRAM Process Technology Employing the CVD Method

随着物质生活水平的提高,人们对手机、个人电脑和家用电器的使用功能要求越来越高。为了满足人们的需求,采用高性能的动态随机存取存储器是提高电子产品性能的关键,因此韩国三星公司利用化学汽相沉淀法开发出70纳米级的动态随机存取存储器加工技术。该技术克服了目前采用物理汽相沉淀法加工存储器所存在的缺陷,如晶片表面沉积物分布不均,同时该技术可节约20％的制造成本。