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重氮树脂单层膜上铜的无电沉积
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作者 张茂峰 杨朝晖 +1 位作者 丛海林 曹维孝 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第21期2187-2190,共4页
组装于硅片或玻璃片基片上的重氮树脂(DR)单层膜,吸附Sncl2,Pd催化剂后,通过无电沉积的方法,在这些基片上制备了铜膜.对得到的铜膜进行了SEM,XRD表征.通过选择性无电沉积,成功地制备了铜膜图像.
关键词 重氮树脂 单层膜 铜膜 铜膜图像 无电沉积 制备 催化剂 基片
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