有机铜薄膜的等离子体聚合研究

提供了一种用等离子体聚合制备金属－ 有机化合物ＣｕＡＡ 薄膜的实验研究。指出ＣｕＡＡ薄膜随工艺条件的不同可呈现出不同的颜色和电性能，尤其是其电阻率变化范围可达６ － ７ 个数量级。对所制备的ＣｕＡＡ薄膜进行了红外光谱分析和扫描电镜分析。