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YBCO 膜上形成类金刚石膜研究
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作者 刘心田 刘兴海 +3 位作者 陆惠秀 余榕 汤定元 余丙鲲 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第10期66-68,共3页
为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman... 为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman谱所表征的C内部结构进行了分析,阐述了石墨态C转化为DLC结构的机制,提出了激光所造成的瞬时高温、高压模型. 展开更多
关键词 类金刚石膜 钝化保护膜 薄膜 ybco 红外探测器
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