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Research on Cutting Force of Ultrasonic Diamond Wire Saw 被引量:5
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作者 张辽远 李鑫 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2010年第2期114-118,共5页
Based on impulse and vibration machining theories,a mathematical model of cutting force for the electroplated diamond ultrasonic wire saw was established using superposition principle.The differences between the cutti... Based on impulse and vibration machining theories,a mathematical model of cutting force for the electroplated diamond ultrasonic wire saw was established using superposition principle.The differences between the cutting forces with and without ultrasonic effect were analyzed theoretically and experimentally.The results indicate that the cutting force of diamond wire increases along with the spindle speed decrease and the lateral pressure increase.The force in ultrasonic vibration cutting is about 20% to 30% less than that in conventional cutting.Also,the cutting trajectory of single diamond grit in sawing process is simulated,and the reason that the ultrasonic vibration can reduce the cutting force is explained further. 展开更多
关键词 machinofature technique and equipment mechanics manufacturing process hard and brittle material electroplated diamond wire saw ultrasonic machining
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Research on Cutting Trajectory of Electroplated Diamond Wire Saw
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作者 张辽远 王超 +1 位作者 王建光 杨勇 《Defence Technology(防务技术)》 CAS 2012年第2期124-128,共5页
The cutting process of electroplated diamond wire saw was researched on the basis of impulse and vibration machining theories. The different contact states in the cutting process were analyzed by using the finite elem... The cutting process of electroplated diamond wire saw was researched on the basis of impulse and vibration machining theories. The different contact states in the cutting process were analyzed by using the finite element method. It shows that the cutting stress is uniformly distributed along the direction of the workpiece width in the steady state. A mathematical equation of sawing trajectory was established by using the superposition principle and the cutting experiment of wire saw to calculate the cutting trajectory. The comparison of the theoretical trajectory with the calculated one indicates that the error is less than 15%. The research results provide a theoretic basis for optimization of the saw's cutting process parameters. 展开更多
关键词 manufacturing technique and equipment electroplated diamond wire saw sawing trajectory stress analysis trajectory equation
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Experimental Study on the Machining Technology of ZrO_2 Ceramics Using Diamond Wire Saw with Ultrasonic Vibration 被引量:1
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作者 张辽远 吕玉山 +2 位作者 李红 张莹 李玉潮 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2007年第2期151-155,共5页
The influence of different technological parameter on material remove rate and surface quality of ZrO2 ceramics is studied using the cutting machining method of electroplate diamond wire saw with ultrasonic vibration.... The influence of different technological parameter on material remove rate and surface quality of ZrO2 ceramics is studied using the cutting machining method of electroplate diamond wire saw with ultrasonic vibration.Experimental results show that,compared with the same experiment condition without ultrasonic vibration,this cutting method has the advantages of high material remove rate,good surface quality,little brokenness and so on. 展开更多
关键词 制造工程 硬度 脆性 机械加工 超声波
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Sawing Performance Comparison of Brazed and Sintered Diamond Wires 被引量:4
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作者 HUANG Guoqin XU Xipeng 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第2期393-399,共7页
Great attention has been paid on fabricating diamond wire by using the brazing diamond because of its strong chemical bonding strength and controllability of grits distribution. Although several serving performances o... Great attention has been paid on fabricating diamond wire by using the brazing diamond because of its strong chemical bonding strength and controllability of grits distribution. Although several serving performances of brazed diamond wire have been reported, seldom do these studies refer to its process characteristics. Sawing performances of a brazed diamond wire are investigated and compared with those of a sintered diamond wire on a wire saw machine. The surface topographies of beads selected from the two wires are micro observed before sawing. The sawing tests are carried out in constant feed rate feeding(CFF) and constant normal force feeding(CNFF). In CFF test, sawing force, power, and the cut depths of positions on contact curve are measured. Then, coupled with the observations of beads topographies, sawing force and its ratio, relations of power against material removal rate, and contact curve linearity are compared and discussed. In CNFF test, the sawing rates of the two wires are investigated. The results indicate that the brazed wire performs with lower sawing force(less 16% of tangential force and 28% of normal force), more energy efficiency(nearly one-fifth of sawing power is saved), at a higher sawing rate (the rate is doubled) and with better contact curve linearity as compared with the sintered wire. This proposed research experimentally evaluates the sawing performances of brazed diamond wire from the aspect of process parameters, which can provide a basis for popularizing the brazed diamond wire. 展开更多
关键词 diamond wire BRAZE SINTER sawing force power contact curve
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Study on swarf when sawing granite with diamond wire 被引量:1
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作者 WU Hairong GUO Hua +1 位作者 ZHAO Ruyi HUANG Hui 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2018年第2期71-77,共7页
The diamond wire-sawing process was developed to cut granite in both quarries and block processing plants.In this paper,swarf was collected from different areas along the sawing arc when sawing three granites.The part... The diamond wire-sawing process was developed to cut granite in both quarries and block processing plants.In this paper,swarf was collected from different areas along the sawing arc when sawing three granites.The particle size distribution and the morphology of the swarf were investigated systematically,along with the swarf formation mechanism in sawing.Granite swarf formation was dominated by transgranular fractures based on the morphology of sawn granite chips and the analysis of sawn chip size.A long cutting arc increased the movement among the swarf,tool,and workpiece,thereby inducing a secondary fracture in the sawn chip. 展开更多
关键词 diamond wire sawING GRANITE swarf
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Polycrystalline diamond mini-cubes for sawing applications 被引量:1
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作者 Sung James C. Chang Kuen-liang +2 位作者 Tso Pei-lum Hsu Kai-hung Sung Michael 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第S1期83-87,共5页
Diamond grits are indispensable for sawing granite or concrete.Each year about 1 000 tons of diamond grits are consumed for such purposes.In all cases,mono crystalline diamond is used.However, polycrystalline grits(po... Diamond grits are indispensable for sawing granite or concrete.Each year about 1 000 tons of diamond grits are consumed for such purposes.In all cases,mono crystalline diamond is used.However, polycrystalline grits(polygrits) are generally better performed than mono grits as abrasives.For example,poly grits of cubic boron nitride(e.g.Borazon(?) CBN-550 of Diamond Innovations) can cut faster and they last longer than mono grits(e.g.Borazon(?) CBN-500). Polygrits of alumina(e.g.Cubitron(?) of 3M) also out perform by far glassy grits(e.g.white alumina).For diamond superabrasives,micron polygrits formed by shock waves may polish as fast as mono grits of the same size,but without causing as much scratches due to the presence of smaller sintered grains.The improved performance of poly grits is attributed to their ability to micro chipping that renews the sharp cutting corners from time to time.By contrast,mono grits tend to round off at low cutting force or macro fracture at high cutting force,so they may lose the cutting ability rapidly. For sawing granite with mesh sizes 40/50 or coarser,poly grits of diamond have not been available until recently.In this research,we have made polygrits in mini cube with sizes of 18/20,20/25,and 30/40.Turbo grinders and wire saws were made by brazing both mono grits and polygrits on steel substrates.Cutting performance on granite demonstrated that grinding speed was faster with turbo grinder,and the surface finish was smoother with wire saw for poly grits than mono ones. Polygrits and mono grits of diamond were mixed for comparison(upper left).Polygrits of mini cubes were brazed on the pearl of a wire saw(upper right).Mono diamond grits were brazed on a turbo grinder(bottom diagrams ). 展开更多
关键词 GRANITE sawING diamond grits polygrits TURBO GRINDER wire saw
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线锯用金刚石微粉表面化学镀镍工艺及性能研究
7
作者 方莉俐 刘韩 +1 位作者 姜羽飞 段雪纯 《工具技术》 北大核心 2024年第4期54-58,共5页
金刚石微粉性能是提升金刚石线锯性能的关键因素。用化学镀方法在线锯用金刚石微粉表面镀镍,通过正交试验研究金刚石粒度、次亚磷酸钠浓度、镀液pH值和镀液温度对化学镀镀层沉积速率、镀层密度、镀层耐腐蚀性能、镀层致密度等性能的影... 金刚石微粉性能是提升金刚石线锯性能的关键因素。用化学镀方法在线锯用金刚石微粉表面镀镍,通过正交试验研究金刚石粒度、次亚磷酸钠浓度、镀液pH值和镀液温度对化学镀镀层沉积速率、镀层密度、镀层耐腐蚀性能、镀层致密度等性能的影响。结果表明:M1/2、M6/12、M20/30三种不同粒度金刚石微粉,在次亚磷酸钠浓度为25~35g/L、化学镀液pH值为3~11、化学镀温度为30℃~90℃时,针对镀层沉积速率、镀层密度和镀层耐腐蚀性的最佳工艺参数不同;不同粒度的金刚石微粉在相同工艺条件下化学镀镍,金刚石微粉粒度越大,镀层越均匀致密;金刚石微粉化学镀镍各工艺参数之间相互作用,共同影响镀层性能。对于不同粒度的金刚石微粉,各因素对镀层性能的影响权重不同,因此针对不同粒度、不同镀层性能需求的金刚石微粉应采取不同的镀覆工艺参数。 展开更多
关键词 金刚石微粉 线锯 化学镀镍 工艺 性能
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晶硅太阳能电池制备过程中硅渣和金刚石线切割硅废料的回收利用研究进展
8
作者 何乾 范斌 +3 位作者 宋剑飞 邹应萍 伍继君 马文会 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期2456-2467,共12页
随着晶硅太阳能电池的快速发展,晶体硅片的需求大幅增加。晶体硅片在生产制备过程中,大量的硅以硅渣和金刚石线切割硅废料的形式流失。硅渣和金刚石线切割硅废料中硅的回收再循环利用对降低晶硅太阳能电池的成产成本、有效解决晶体硅片... 随着晶硅太阳能电池的快速发展,晶体硅片的需求大幅增加。晶体硅片在生产制备过程中,大量的硅以硅渣和金刚石线切割硅废料的形式流失。硅渣和金刚石线切割硅废料中硅的回收再循环利用对降低晶硅太阳能电池的成产成本、有效解决晶体硅片短缺以及环境污染等问题具有重要意义。本文通过对从硅渣和金刚石线切割硅废料中回收制备高纯硅的现有工艺和研究进展进行综述,对不同回收工艺的优势、缺陷以及改进措施进行分析,有助于研究人员选择合理的高纯硅回收策略,为晶硅太阳能电池产业的低成本、绿色可持续发展提供参考。 展开更多
关键词 晶硅太阳能电池 硅渣 金刚石线切割硅废料 高纯硅回收
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无润滑条件下工艺参数对Al6063金刚石线切表面粗糙度影响
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作者 高永华 吕涵 +3 位作者 杜倡 武胜 李士鹏 秦旭达 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第8期138-142,共5页
金刚石线锯因具有超高的硬度和耐磨性,常用于切削各种硬质材料,因加工过程摩擦较为剧烈,通常加冷却润滑介质,但一些特殊需求下,铝合金需要线切时无法施加冷却液。基于单因素试验法,在无润滑条件下进行了Al6063材料的线锯试验,分析了加... 金刚石线锯因具有超高的硬度和耐磨性,常用于切削各种硬质材料,因加工过程摩擦较为剧烈,通常加冷却润滑介质,但一些特殊需求下,铝合金需要线切时无法施加冷却液。基于单因素试验法,在无润滑条件下进行了Al6063材料的线锯试验,分析了加工表面不同区域粗糙度的分布规律以及配重、线速度与进给速度对加工表面粗糙度的影响规律。结果表明,加工面中间位置表面粗糙度最大;在试验范围内配重越大,对应的表面粗糙度值越小;金刚石线锯线速度越大,其表面粗糙度值越小;进给速度越小,所对应的表面粗糙度值越小。试验结果对提高加工表面质量有实际参考价值。 展开更多
关键词 金刚石线锯 工艺参数 表面粗糙度 白光干涉仪
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金刚石串珠绳锯切割煤层卸压增透效应研究
10
作者 李树清 吕晨辉 +6 位作者 黄飞 钱运来 黄向韬 赵天哲 汤铸 杨凤玲 王晨 《煤炭学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期785-800,共16页
为探讨金刚石串珠绳锯割缝对缝槽周围煤层的卸压增透效应,首先建立基于缝槽顶板受力的两端固支梁力学模型,分析顶板梁的受力特征及缝槽顶板下沉接触底板(简称触底)特性,然后采用自行设计的物理相似模拟试验平台开展相似模拟试验,分析不... 为探讨金刚石串珠绳锯割缝对缝槽周围煤层的卸压增透效应,首先建立基于缝槽顶板受力的两端固支梁力学模型,分析顶板梁的受力特征及缝槽顶板下沉接触底板(简称触底)特性,然后采用自行设计的物理相似模拟试验平台开展相似模拟试验,分析不同工艺参数绳锯割缝后缝槽上下方煤岩层应力、位移变化规律,基于FLAC^(3D)数值模拟和开发的煤层瓦斯渗透率计算程序,分析随割煤工作面推进缝槽周围煤岩体的应力和渗透率分布特征和周期演化规律。研究表明:绳锯割缝使缝槽周围应力重新分布,缝槽顶板随着割缝工作面的推进经过顶板悬露、顶板触底,连续缓沉3种演化形态;顶板未触底时,缝槽上下方形成“U”形卸压区,最大挠度在顶板中心位置,也是最先触底部位,顶板触底之后,缝槽中间位置出现应力恢复,减弱绳锯割缝的卸压增透效果;串珠绳锯的直径越大,顶板发生触底的极限跨度越大,缝槽触底越晚,卸压效果越好;相同割缝直径增加第2条割缝,两缝槽卸压区连成一起,卸压效果相互促进,减弱两缝作用下的应力恢复现象,增大了卸压范围;缝槽推进距离足够长时,由于顶板触底,缝槽两边的卸压增透效果更好,割缝卸压的影响范围从左到右划分为应力集中区、卸压区、应力恢复区、卸压区、应力集中区,对应的卸压区和应力恢复区都有较好的增透效果。 展开更多
关键词 绳锯割缝 顶板触底 金刚石串珠 渗透率 卸压增透
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电镀金刚石线锯的基线镀前脱除缺陷黄铜保护镀层技术的研究
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作者 王太信 朱红梅 +2 位作者 严兴朝 吕忠光 邵树锋 《世界有色金属》 2024年第20期51-53,共3页
以镀铜碳钢丝为基线,在其表面电镀镍与金刚石复合层制成金刚石线锯,用于高硬脆材料的切割。线锯高速切割时易发生扭转,若所镀复合层与基线结合力不佳则易分层导致线锯报废。现有技术制备的线锯存在复合层与基线结合力不适合高速切割的... 以镀铜碳钢丝为基线,在其表面电镀镍与金刚石复合层制成金刚石线锯,用于高硬脆材料的切割。线锯高速切割时易发生扭转,若所镀复合层与基线结合力不佳则易分层导致线锯报废。现有技术制备的线锯存在复合层与基线结合力不适合高速切割的缺陷。在探讨其成因的基础上,设计了物理法基线镀前脱除缺陷黄铜保护镀层工艺和装置,可选择性脱除缺陷黄铜镀层,用于制备电镀金刚石线锯。结果表明:该技术可脱除基线表面的缺陷黄铜镀层,提高复合层与基线的结合力,制备的金刚石线锯可满足扭转、折断和破断试验的要求,适合高速切割。 展开更多
关键词 电镀金刚石线锯 基线 镀前处理工艺 脱除缺陷黄铜镀层
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超声辅助金刚石线锯复合切割技术的研究进展
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作者 李洪浩 高玉飞 张乃军 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第5期107-113,共7页
硬脆材料与复合材料等高性能材料在多个领域广泛应用,其切割主要采用金刚石线锯加工技术。近年来,对切割加工质量和效率的要求不断提高,超声辅助金刚石线锯复合切割技术逐渐发展起来。超声辅助金刚石线锯复合切割技术提高了锯切效率和... 硬脆材料与复合材料等高性能材料在多个领域广泛应用,其切割主要采用金刚石线锯加工技术。近年来,对切割加工质量和效率的要求不断提高,超声辅助金刚石线锯复合切割技术逐渐发展起来。超声辅助金刚石线锯复合切割技术提高了锯切效率和加工表面质量,延长了锯丝服役寿命,是未来的重要发展方向。文章从超声辅助金刚石线锯复合切割技术的加工原理、加工质量和影响因素等方面概述了该技术的研究现状,并对未来需进一步研究的问题和发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 金刚石线锯 超声振动 加工质量 复合加工
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金刚石绳锯无损切割在混凝土支撑拆除中的应用
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作者 惠波 《建筑技术开发》 2024年第2期91-93,共3页
通过分析上海某建设项目在地基施工中遇到的技术难题,在混凝土支撑拆除过程中研究并应用了金刚石绳锯无损切割混凝土支撑施工工艺,并对施工过程当中的划分原则、废水处理、外运途径、成品保护等问题提出了解决方案,形成了完善的金刚石... 通过分析上海某建设项目在地基施工中遇到的技术难题,在混凝土支撑拆除过程中研究并应用了金刚石绳锯无损切割混凝土支撑施工工艺,并对施工过程当中的划分原则、废水处理、外运途径、成品保护等问题提出了解决方案,形成了完善的金刚石绳锯切割深基坑混凝土内支撑施工工艺。 展开更多
关键词 金刚石绳锯 无损切割 混凝土支撑拆除
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跨既有高速天桥拆除施工技术
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作者 贾正滴 孙汝 《云南水力发电》 2024年第1期64-66,共3页
按照当前现代交通业的发展进程,大多数涉及预应力钢筋混凝土构造物废除新建、扩容美化施工需求持续增长,预应力钢筋混凝土构造物废除或重建施工采用保守施工工法、机具面临施工条件复杂、安全风险极大、对外协调难度大、利润低等特点,... 按照当前现代交通业的发展进程,大多数涉及预应力钢筋混凝土构造物废除新建、扩容美化施工需求持续增长,预应力钢筋混凝土构造物废除或重建施工采用保守施工工法、机具面临施工条件复杂、安全风险极大、对外协调难度大、利润低等特点,而施工管理必须满足当地有关法律法规、最新规范及环水保要求。因此迫切需要新工艺解决预应力钢筋混凝土构造物废除遇到的各种难题。 展开更多
关键词 跨既有高速 液压金刚石绳锯 保通 预应力放张 切割 吊装
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固结磨粒金刚石线锯的研究进展 被引量:25
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作者 王美娟 王日初 +2 位作者 彭超群 冯艳 张纯 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1368-1379,共12页
总结固结磨粒金刚石线锯的制备方法,主要有钎焊法、树脂结合剂粘结法和电镀法;分析金刚石表面金属化的原理和模型,比较金刚石表面金属化方法的优缺点;探讨复合电镀的共沉积机理,主要有吸附理论、力学理论和电化学理论;展望固结磨粒金刚... 总结固结磨粒金刚石线锯的制备方法,主要有钎焊法、树脂结合剂粘结法和电镀法;分析金刚石表面金属化的原理和模型,比较金刚石表面金属化方法的优缺点;探讨复合电镀的共沉积机理,主要有吸附理论、力学理论和电化学理论;展望固结磨粒金刚石线锯制备的发展方向。 展开更多
关键词 金刚石 线锯 固结磨粒 表面金属化 复合电沉积 沉积机理
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SiC单晶生长及其晶片加工技术的进展 被引量:17
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作者 姜守振 徐现刚 +6 位作者 李娟 陈秀芳 王英民 宁丽娜 胡小波 王继杨 蒋民华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期810-814,共5页
回顾了SiC单晶的发展历史,总结了目前的发展状况,同时介绍了SiC单晶生长所需要的温场和生长工艺,最后介绍了SiC单晶的加工技术.通过模拟计算与具体实验相结合的方法,调整坩埚在系统中的位置及优化坩埚设计可以得到理想温场.近平微凸的... 回顾了SiC单晶的发展历史,总结了目前的发展状况,同时介绍了SiC单晶生长所需要的温场和生长工艺,最后介绍了SiC单晶的加工技术.通过模拟计算与具体实验相结合的方法,调整坩埚在系统中的位置及优化坩埚设计可以得到理想温场.近平微凸的温场有利于晶体小面的扩展,进而有利于减少缺陷提高晶体的质量.由于SiC硬度非常高,对单晶后续的加工造成很多困难,包括切割和磨抛.研究发现利用金刚石线锯切割大尺寸SiC晶体,可以得到低翘曲度、低表面粗糙度的晶片;采用化学机械抛光法,可以有效地去除SiC表面的划痕和研磨引入的加工变质层,加工后的SiC晶片粗糙度可小于1nm. 展开更多
关键词 升华法 SIC 模拟 温场 金刚石线切割 化学机械抛光
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电镀金刚石线锯的研究现状 被引量:28
17
作者 向波 贺跃辉 +1 位作者 谢志刚 黄艳华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期25-29,共5页
电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线)上沉积一层金属,并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。综述了电镀金刚石线锯的原理、模型和特点,以及制备过程中使用的材料(基体材料、金刚石和电镀液)和工艺及其应用... 电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线)上沉积一层金属,并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。综述了电镀金刚石线锯的原理、模型和特点,以及制备过程中使用的材料(基体材料、金刚石和电镀液)和工艺及其应用实例,并对电镀金刚石线锯的进一步发展进行了展望。为开展电镀金刚石线锯的研究和生产提供了一定的指导。 展开更多
关键词 电镀金刚石线锯 特点 制备 现状
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串珠绳锯切花岗石过程中锯切参数对锯切力和能耗的影响 被引量:16
18
作者 黄国钦 黄辉 +1 位作者 郭桦 徐西鹏 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期234-239,共6页
在建立串珠绳锯切弧区内单颗磨粒平均切削深度与锯切参数间理论关系的基础上,采用单因素和正交法进行锯切参数对锯切力和锯切能耗影响的试验研究。结果表明,单颗磨粒平均切削深度与锯切长度无关,但随进给率的增大或线速度的减小而增大... 在建立串珠绳锯切弧区内单颗磨粒平均切削深度与锯切参数间理论关系的基础上,采用单因素和正交法进行锯切参数对锯切力和锯切能耗影响的试验研究。结果表明,单颗磨粒平均切削深度与锯切长度无关,但随进给率的增大或线速度的减小而增大。进给率对锯切力和功率的影响比线速度和锯切长度都要明显。锯切过程中材料去除方式存在体积破碎,适当增大磨粒切削深度有利于提高体积破碎比例从而降低锯切比能;但增大磨粒切削深度直接缩小了介于工具—工件接触面间的动态容屑空间从而加剧岩屑摩阻效应,长弧区排屑困难对锯切力和能耗影响明显。正确选择锯切工艺参数尤其是进给率,对锯切力和能耗的控制及动态容屑空间的平衡至关重要。 展开更多
关键词 串珠绳锯 锯切力 锯切功率 比能 磨粒切削深度
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金刚石线锯横向超声振动切割SiC单晶表面粗糙度预测 被引量:10
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作者 李伦 李淑娟 +2 位作者 汤奥斐 李言 杨明顺 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第19期204-212,共9页
把横向超声振动应用到金刚石线锯切割硬脆材料加工中,基于冲量原理分析了线锯横截面上不同位置处金刚石磨粒对工件的法向锯切力。应用压痕断裂力学理论,定量分析了在法向和切向载荷共同作用下磨粒下方中位/横向裂纹扩展的长度和深度。... 把横向超声振动应用到金刚石线锯切割硬脆材料加工中,基于冲量原理分析了线锯横截面上不同位置处金刚石磨粒对工件的法向锯切力。应用压痕断裂力学理论,定量分析了在法向和切向载荷共同作用下磨粒下方中位/横向裂纹扩展的长度和深度。研究了振动磨粒在工件上间歇加载和卸载使横向裂纹优先扩展并抑制中位裂纹扩展的屏蔽效应。建立了横向振动线锯切割硬脆材料时线锯横截面不同位置处磨粒的材料去除模式模型,得到了横向振动线锯切割硬脆材料晶片表面粗糙度的预测公式。以Si C单晶为切割对象,进行普通线锯和横向超声振动线锯切割对比试验,测定线锯的锯切力和晶片表面粗糙度,并对表面形貌进行观察。结果表明,横向超声振动线锯切割Si C是以脆性去除为主塑性去除为辅的混合材料去除模式;同等试验条件下,超声振动线锯切割能使晶片表面粗糙度降低25.7%。表面粗糙度测试结果与理论预测具有较好的一致性。 展开更多
关键词 金刚石线锯 超声横向激振 振动切割 SI C单晶 中位/横向裂纹 表面粗糙度预测
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切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响 被引量:10
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作者 高玉飞 葛培琪 +1 位作者 李绍杰 侯志坚 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期86-88,共3页
选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验,研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响,分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明,合成液对提高硅片的表面形貌质量,降低硅... 选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验,研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响,分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明,合成液对提高硅片的表面形貌质量,降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的综合效果最好。 展开更多
关键词 金刚石线锯 单晶硅片 切片 切削液
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