老炼对集成电路静态电源电流的影响

为使用户得到更可靠的集成电路产品,老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法,通过研究正常CMOS器件和有工艺缺陷的CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线,经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据,可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中,为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据,使集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用,是提高集成电路可靠性的有效手段。