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双光束双曝光与四光束单曝光干涉光刻方法的比较 被引量:4
1
作者 张锦 冯伯儒 郭永康 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期21-24,62,共5页
双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列... 双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列图形周期极限为λ/2;四光束单曝光的周期略大,为前者的2倍。模拟和实验结果表明,通过控制曝光和显影工艺,双光束双曝光较四光束单曝光能更灵活地得到孔阵或点阵,而四光束单曝光得到的图形孔与孔之间没有鞍点,较双光束双曝光形成的孔侧壁更陡。这两种方法在需要在大面积范围内形成孔或点这类周期阵列图形的微电子和光电子器件的制造领域有很好的应用前景。 展开更多
关键词 干涉光刻 无掩模 双光束双曝光 四光束单曝光
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平行光束入射双棱镜的干涉研究 被引量:1
2
作者 张晓旭 王素红 吴天安 《物理与工程》 2016年第6期54-56,共3页
本文理论推导出了两相干平行光束在交叉区域的干涉条纹计算公式,测量两相干平行光束的夹角和干涉条纹的间距可以得到入射光波波长的结论.利用多光束光纤激光器作为光源,在分光计上放置双棱镜获得两相干平行光束进行实验.结合电荷耦合器... 本文理论推导出了两相干平行光束在交叉区域的干涉条纹计算公式,测量两相干平行光束的夹角和干涉条纹的间距可以得到入射光波波长的结论.利用多光束光纤激光器作为光源,在分光计上放置双棱镜获得两相干平行光束进行实验.结合电荷耦合器件(CCD)和液晶显示器,用望远镜的自准直目镜测量两相干平行光束的夹角,用测微目镜测量干涉条纹的间距.提高了实验数据的精确度,降低了实验的难度,实现了对传统双棱镜干涉实验的拓展创新. 展开更多
关键词 平行光束 干涉 双棱镜 多光束光纤激光器 分光计
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用激光双参考光两次曝光法检测机械变形 被引量:1
3
作者 冯颖 蔡静 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期92-95,共4页
用可分离双参考光两次曝光全息干涉法叙述了测量物体变形的方向,并设计了光路系统。用两个平面反射镜将一束扩展激光束分成两束参考光和一束物光,记录物体变形下的可分离双参考光两次曝光全息干涉图,从理论上对此作了分析,给出实验结果。
关键词 机械变形方向 可分离双参考光 激光全息干涉
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金膜表面光栅制备中飞秒激光参数的影响 被引量:1
4
作者 高亚臣 李晓平 《黑龙江大学工程学报》 2021年第2期46-52,共7页
为了研究飞秒激光参数对制备金膜表面光栅的影响,设计搭建了飞秒激光干涉微加工实验装置,经衍射光栅得到的两束相干光在金膜表面诱导出微光栅。借助原子力显微镜研究在不同的脉冲能量密度、脉冲个数、波长等条件下制备的光栅形貌,测得... 为了研究飞秒激光参数对制备金膜表面光栅的影响,设计搭建了飞秒激光干涉微加工实验装置,经衍射光栅得到的两束相干光在金膜表面诱导出微光栅。借助原子力显微镜研究在不同的脉冲能量密度、脉冲个数、波长等条件下制备的光栅形貌,测得光栅的周期和线宽。研究发现,飞秒激光参数对光栅形貌的影响显著,制备光栅的最佳波长为800 nm,脉冲能量密度为0.7945~1.3356 J·cm^(-2),得到的光栅最小周期为6.54μm。理论分析了激光参数与所制备的光栅的特征参数之间的数量关系,讨论了这种关系形成的内在物理机制。 展开更多
关键词 微纳光栅 飞秒激光 双光束干涉法
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亚微米电子束曝光机工件台控制系统
5
作者 张福安 谭敏 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1995年第4期49-54,共6页
激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要功能是完成图形的拼接。本文描述了双频激光干涉仪,计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的x-y工件台,该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。
关键词 电子束曝光机 双频激光干涉仪 工件台控制系统
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线光栅扫描实现衍射图形的矢量化直写
6
作者 魏国军 徐兵 陈林森 《光电子技术与信息》 2004年第6期72-75,共4页
在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅线的方向运动,获得连续的多光点同时直写,直写后的衍射光栅线... 在双光束激光直写系统中,衍射光变图像的光刻是逐像素点进行的.本文提出在该系统中采用狭缝获得光栅线来进行衍射图形的直写,利用一种改进的矢量文件格式,使平台沿着垂直光栅线的方向运动,获得连续的多光点同时直写,直写后的衍射光栅线是连续的,系统的运行效率是逐点光刻的几十倍.编写了与DXF文件的接口直写控制程序,给出了实验结果. 展开更多
关键词 激光直写 双光束干涉 DXF文件 矢量文件 衍射光变图像
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中空双螺旋微机器人的飞秒激光动态全息高效加工 被引量:3
7
作者 宋博文 李家文 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期2101-2107,共7页
为了实现微机器人的快速批量制造,提出一种飞秒贝塞尔光束叠加干涉方法生成带侧瓣的环形光场,并结合动态全息加工术实现了中空螺旋微机器人的高效制造。对根据贝塞尔传输函数生成的贝塞尔全息图进行叠加,并对产生的光场进行仿真和实验... 为了实现微机器人的快速批量制造,提出一种飞秒贝塞尔光束叠加干涉方法生成带侧瓣的环形光场,并结合动态全息加工术实现了中空螺旋微机器人的高效制造。对根据贝塞尔传输函数生成的贝塞尔全息图进行叠加,并对产生的光场进行仿真和实验测量。利用叠加的全息图加工得到具有不同侧瓣数目(2~4)的环形结构,分析了两种不同参数对侧瓣宽度和圆环直径的影响。通过引入动态全息加工方法,实现了中空双螺旋微机器人的高效快速加工,微机器人宽为25μm、长度为100μm。最后,利用旋转磁场驱动微机器人在微流体环境实现运动。实验表明,加工单个微机器人仅需6 s,旋转磁场下微机器人在7 s内沿直线前进400μm。该动态全息方法能够快速制备出中空双螺旋微机器人并实现无线磁驱动,为批量制造具有运载能力的磁驱微机器人提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 激光加工 飞秒激光 贝塞尔光束叠加干涉 动态全息加工 中空双螺旋微机器人
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Laser interference fabrication of large-area functional periodic structure surface 被引量:2
8
作者 Lei WANG Zi-Han WANG +1 位作者 Yan-Hao YU Hong-Bo SUN 《Frontiers of Mechanical Engineering》 SCIE CSCD 2018年第4期493-503,共11页
Functional periodic structures have attracted significant interest due to their natural capabilities in regulating surface energy, surface effective refractive index, and diffraction. Several technologies are used for... Functional periodic structures have attracted significant interest due to their natural capabilities in regulating surface energy, surface effective refractive index, and diffraction. Several technologies are used for the fabrication of these functional structures. The laser interference technique in particular has received attention because of its simplicity, low cost, and high-efficiency fabrication of large-area, micro/nanometer-scale, and periodically patterned structures in air conditions. Here, we reviewed the work on laser interference fabrication of large-area functional periodic structures for antireflection, self-cleaning, and superhydrophobicity based on our past and current research. For the common cases, four-beam interference and multi-exposure of two-beam interference were emphasized for their setup, structure diversity, and various applications for antireflection, self-cleaning, and superhydrophobicity. The relations between multi-beam interference and multi-exposure of two-beam interference were compared theoretically and experimentally. Nanostructures as a template for growing nanocrystals were also shown to present future possible applications in surface chemical control. Perspectives on future directions and applications for laser interference were presented. 展开更多
关键词 laser interference four-beam interference multi-exposure of two-beam interference additive fabrication
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表面等离子体无掩膜干涉光刻系统的数值分析(英文) 被引量:5
9
作者 董启明 郭小伟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期558-564,共7页
表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻... 表面等离子体激元具有近场增强效应,可以代替光子作为曝光源形成纳米级特征尺寸的图像.本文数值分析了棱镜辅助表面等离子体干涉系统的参量空间,并给出了计算原理和方法.结果表明,适当地选择高折射率棱镜、低银层厚度、入射波长和光刻胶折射率,可以获得高曝光度、高对比度的干涉图像.入射波长为431nm时,选择40nm厚的银层,曝光深度可达200nm,条纹周期为110nm.数值分析结果为实验的安排提供了理论支持. 展开更多
关键词 干涉光刻 表面等离子体激元 克莱舒曼结构
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基体/介质/金属双层薄膜内应力的研究 被引量:1
10
作者 于映 陈跃 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2001年第1期20-21,19,共3页
采用PECVD法和磁控溅射法在 40Cr钢基片上分别沉积氮化硅薄膜和NiCr合金膜 ,用钠光平面干涉法测量双层薄膜的内应力 ,并具体分析该双层薄膜的内应力与薄膜厚度及系统之间的关系 .
关键词 双层薄膜 内应力 钠光平面干涉法 氮化硅薄膜 镍-络合金膜 薄膜厚度
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物面分波前反射镜位移调制参考光双曝光全息 被引量:1
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作者 吴平 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期195-199,共5页
研究物面分波前反射镜运动调制参考光双曝光全息测量物体位移方向的理论与方法。在两次曝光全息图的记录过程中,置于物面的分波前反射镜作微位移,则该反射镜反射的参考光被反射镜运动所调制,由此记录的双曝光全息干涉图不仅含有物体位... 研究物面分波前反射镜运动调制参考光双曝光全息测量物体位移方向的理论与方法。在两次曝光全息图的记录过程中,置于物面的分波前反射镜作微位移,则该反射镜反射的参考光被反射镜运动所调制,由此记录的双曝光全息干涉图不仅含有物体位移数值的信息,而且还含有位移方向的信息。通过理论分析,建立了当观察点移动时这类双曝光干涉图上干涉条纹的移动方向与物体位移方向及分波前反射镜位移方向之间的相互关系和基本规律,导出了相关公式,并确立了测量物体位移方向的方法,给出了实验结果。 展开更多
关键词 测量 激光全息干涉计量 位移方向测量 分波前反射镜位移调制参考光 两次曝光全息
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利用激光双光束干涉方法测量地球潮及监测地震
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作者 周海光 徐剑芳 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 1999年第3期240-241,251,共3页
本文提出利用激光双光束干涉方法研究地球潮的变化,对其测量原理和测量精度作了分析、讨论。通过对干涉条纹进行调制并计数,在激光波长为0.63μm时,对25m的测量精度可达1/100干涉级次(0.006μm)。因此,在隧道... 本文提出利用激光双光束干涉方法研究地球潮的变化,对其测量原理和测量精度作了分析、讨论。通过对干涉条纹进行调制并计数,在激光波长为0.63μm时,对25m的测量精度可达1/100干涉级次(0.006μm)。因此,在隧道中用这个方法可测地球潮。 展开更多
关键词 地球潮 激光双光束干涉 地震 测量
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