应用在惯性约束核聚变系统中的压电陶瓷微机械手的设计

研制了应用在惯性约束核聚变装配系统中的压电陶瓷微机械手,并对压电陶瓷的驱动电路,计算机控制的硬件及软件系统设计,以及系统的标定方法等进行了详细的叙述。该机械手应用于惯性约束核聚变装配系统靶标的位置调整中,实验证明其位置误差小于1μm。