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外延生长设备EFEM系统设计
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作者 陈国钦 吴限 +1 位作者 周立平 巴赛 《电子工业专用设备》 2024年第1期15-18,共4页
阐述了应用于外延生长设备的EFEM系统,通过采用顶升机构、机械手和校准器等部件,结合机器视觉辅助判断方法,设计了一种外延生长设备的EFEM系统,该系统有效地提高了晶圆洁净度,提升了设备的自动化水平;并在相关机型进行应用和测试,能够... 阐述了应用于外延生长设备的EFEM系统,通过采用顶升机构、机械手和校准器等部件,结合机器视觉辅助判断方法,设计了一种外延生长设备的EFEM系统,该系统有效地提高了晶圆洁净度,提升了设备的自动化水平;并在相关机型进行应用和测试,能够可靠高效地运行。 展开更多
关键词 外延生长 机械手 机器视觉 半导体设备前端模块
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基于EFEM的5R机械臂刚柔耦合动力学分析 被引量:1
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作者 车仁炜 陆念力 薛渊 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1504-1508,共5页
为分析复杂机械系统动力学特性,将系统划分为含有限刚性构件的刚柔耦合系统,基于等效元素集成法,对构件自身的动力学特性进行等效,组建成等效系统。将建模的关键归结为系统中二阶转换张量和相应的三阶转换张量的求解以及系统质量阵的组... 为分析复杂机械系统动力学特性,将系统划分为含有限刚性构件的刚柔耦合系统,基于等效元素集成法,对构件自身的动力学特性进行等效,组建成等效系统。将建模的关键归结为系统中二阶转换张量和相应的三阶转换张量的求解以及系统质量阵的组装,然后,按多柔体动力学的方式建立方程。建立了港口起重机5R机械臂刚柔耦合动力学模型,给出了动力响应曲线,并与刚性解进行了比较。结果表明,采用EFEM方法,动力学方程维数减少,系统质量阵阶数降低,模型建立简单快捷,规范化、程式化,解题效率和精度较高。 展开更多
关键词 刚柔耦合 等效元素集成法 转换张量 等效质量阵 5R机械臂
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基于EFEM和气泡统一方程的双气泡耦合效应研究
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作者 许流逸 李世民 +2 位作者 王诗平 刘云龙 张阿漫 《应用数学和力学》 2024年第7期835-849,共15页
基于Euler有限元方法(EFEM),建立了双气泡水下脉动轴对称数值模型,通过与气泡统一方程和实验结果的对比,该模型的准确性和网格的收敛性得到了充分验证.计算结果表明,相比其他气泡理论,气泡统一方程对气泡动力学行为和流场中压力载荷的... 基于Euler有限元方法(EFEM),建立了双气泡水下脉动轴对称数值模型,通过与气泡统一方程和实验结果的对比,该模型的准确性和网格的收敛性得到了充分验证.计算结果表明,相比其他气泡理论,气泡统一方程对气泡动力学行为和流场中压力载荷的预测更为准确.结合EFEM和气泡统一方程,研究了浮力参数δ和强度参数ε对双气泡耦合规律的影响.当δ≤0.15时,上气泡在下气泡的作用下会产生垂直向下的射流,此时下气泡边界与固壁边界相似;而当δ增大至0.2时,下气泡对上气泡的影响减弱,浮力效应占据主导地位,上气泡的射流方向垂直向上.ε对气泡间的耦合作用未造成明显影响,但当ε≥150时,其对气泡射流速度的作用会明显减弱. 展开更多
关键词 气泡动力学 efem 气泡统一方程 气泡耦合
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附加自由阻尼板高频振动响应的能量流模型
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作者 江旭东 韩月东 滕晓艳 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2023年第14期321-330,共10页
为了预示自由阻尼结构(free layer damping,FLD)的高频振动响应,将复刚度法与能量流分析(energy flow analysis,EFA)理论相结合,推导了大阻尼条件下高频振动自由阻尼板的能量密度方程。分析了阻尼交界面处的能量传递关系,利用耦合结构... 为了预示自由阻尼结构(free layer damping,FLD)的高频振动响应,将复刚度法与能量流分析(energy flow analysis,EFA)理论相结合,推导了大阻尼条件下高频振动自由阻尼板的能量密度方程。分析了阻尼交界面处的能量传递关系,利用耦合结构的能量流分析方法推导了局部附加阻尼处理的薄板结构的能量密度方程。基于上述能量密度方程,构建了完全/局部自由阻尼板的能量有限元法(energy finite element method,EFEM)模型,求解了阻尼层合结构的高频能量流响应。通过对比模态解析解与能量有限元模型的数值解,验证了所建立的自由阻尼板高频振动能量流模型的有效性。 展开更多
关键词 能量流分析 自由阻尼结构 能量有限元法(efem) 高频振动
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基于扩展有限元的深部岩体分区破裂化现象初步数值模拟 被引量:6
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作者 陈旭光 张强勇 +1 位作者 李术才 梅宇 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期3291-3298,共8页
通过轮廓法追踪岩石裂纹扩展轨迹,将其嵌入ABAQUS扩展有限元(EFE)平台,对单轴压力下裂隙试件受压过程进行了模拟验证,裂纹起裂扩展效果良好。以此为平台,将推导得到的弧形裂纹应力强度因子嵌入其中,以最大周向拉应力准则为开裂... 通过轮廓法追踪岩石裂纹扩展轨迹,将其嵌入ABAQUS扩展有限元(EFE)平台,对单轴压力下裂隙试件受压过程进行了模拟验证,裂纹起裂扩展效果良好。以此为平台,将推导得到的弧形裂纹应力强度因子嵌入其中,以最大周向拉应力准则为开裂准则,认为当其大于岩体断裂韧度时,硐室围岩体内初始裂纹将开始扩展。在此基础上,以发现分区破裂现象的圆形隧道模型试验为背景开展了分区破裂的数值模拟试验。模拟结果发现,深部巷道围岩出现了3~4层破裂分区,证实深部巷道围岩存在分区破裂现象。将数值模拟结果与模型试验完成后模型围岩破坏状态对比,发现二者破裂区分布特征基本一致。数值模拟结果表明,EFEM方法在处理复杂岩体裂纹问题方面的有效性。 展开更多
关键词 分区破裂 扩展有限元法 应力强度因子 子域积分
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能量有限元方法在复合材料层合梁耦合结构振动分析中的应用 被引量:6
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作者 蔡忠云 唐文勇 张圣坤 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2010年第10期23-27,共5页
以能量有限元方法(EFEM)建立控制方程,研究了复合材料层合梁受激励时的横向振动问题。该方法以结构中的能量密度作为变量,根据波动理论中功率流与能量密度的平衡关系建立了与傅里叶热传导方程类似的二阶偏微分方程组,通过有限元离散得... 以能量有限元方法(EFEM)建立控制方程,研究了复合材料层合梁受激励时的横向振动问题。该方法以结构中的能量密度作为变量,根据波动理论中功率流与能量密度的平衡关系建立了与傅里叶热传导方程类似的二阶偏微分方程组,通过有限元离散得到结构单元节点的能量密度矩阵形式方程。根据耦合连续平衡条件,建立耦合单元节点矩阵,从而对总矩阵方程进行组集及求解,得到结构中能量密度的分布。通过数值算例与传统有限元方法(FEM)结果做了对比,取得了较好的一致性。 展开更多
关键词 复合材料 层合梁 能量有限元 功率流 有限元分析 振动
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飞轮扰动作用下卫星结构响应能量预示方法 被引量:2
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作者 王坤 赵阳 +1 位作者 马文来 王有懿 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2012年第13期159-162,168,共5页
为计算卫星框式结构在飞轮扰动下中高频域的响应,用能量有限元法对其进行研究。通过分析产生扰动的主因及飞轮扰动模型特性,采用正弦扫频激励,计算结构振动的能量密度响应,得到卫星框式结构能量密度的空间域及频率域分布,并与波动方法... 为计算卫星框式结构在飞轮扰动下中高频域的响应,用能量有限元法对其进行研究。通过分析产生扰动的主因及飞轮扰动模型特性,采用正弦扫频激励,计算结构振动的能量密度响应,得到卫星框式结构能量密度的空间域及频率域分布,并与波动方法的结果进行对比。结果表明,飞轮位置处扰动响应的能量密度最高,能量有限元法是对波动方法结果的平均,对激励与边界模型的要求较低,更适用于高频振动领域及工程实际,为航天器结构的扰动响应计算提供一种新思路。 展开更多
关键词 飞轮扰动 能量有限元 结构响应
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平面7R-Ⅲ级机构的等效系统动力学建模与分析 被引量:2
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作者 车仁炜 陆念力 胡长胜 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期326-330,共5页
以等效元素法建立了7R-Ⅲ级机构的通用动力学模型,将等效的思想与有限元的方法结合起来,通过静力和动力凝聚的方式将任一形式的构件的质量和惯量向质心或杆件两端等效,采用有限元方法对单元进行集成组装,建立既适用于定常约束系统也适... 以等效元素法建立了7R-Ⅲ级机构的通用动力学模型,将等效的思想与有限元的方法结合起来,通过静力和动力凝聚的方式将任一形式的构件的质量和惯量向质心或杆件两端等效,采用有限元方法对单元进行集成组装,建立既适用于定常约束系统也适用于非定常约束系统的动力学微分方程,将建模的关键归结为二阶张量Tia和三阶张量Tibc的建立以及等效质量阵的组装,建模和解算过程简单快捷.实现了规范、统一、易于组装和计算机编程的动力学系统建模. 展开更多
关键词 7R-Ⅲ级机构 等效元素法 等效构件 等效质量阵 转换张量
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RRR-RRPⅡ级杆组的等效系统动力学建模与分析 被引量:1
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作者 车仁炜 陆念力 +1 位作者 潘志刚 胡长胜 《吉林大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期563-568,共6页
将等效方法与有限元方法相结合,基于等效元素集成法建立了RRR-RRPⅡ级杆组的动力学等效模型,给出了其动力学微分方程。建模时重点确定二阶张量、三阶张量和组装等效质量阵,建模过程简单、快捷,通用性强。对给定的RRR-RRP六杆机构进行了... 将等效方法与有限元方法相结合,基于等效元素集成法建立了RRR-RRPⅡ级杆组的动力学等效模型,给出了其动力学微分方程。建模时重点确定二阶张量、三阶张量和组装等效质量阵,建模过程简单、快捷,通用性强。对给定的RRR-RRP六杆机构进行了求解,给出了其动力响应曲线。通过实例表明,利用本文方法列写微分方程或由计算机进行解算比用传统方法解题效率高,弥补了用传统方法对杆组进行动力学分析时,由于系统运动关系复杂和人为分析技术差而极易出错的缺陷。 展开更多
关键词 机械设计 RRR-RRPⅡ级杆组 等效元素集成法 动力学模型
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RRR-RRR Ⅱ级杆组的等效系统动力学建模 被引量:1
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作者 车仁炜 陆念力 胡长胜 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期125-128,共4页
将等效的思想与有限元的方法结合起来,用等效元素法建立了RRR Ⅱ级杆组的动力学等效模型,给出了其动力学微分方程,将建模的关键归结为二阶张量Tia和三阶张量Tibc的建立以及等效质量阵的组装。对给定的RRR-RRR六杆机构进行了建模和求解,... 将等效的思想与有限元的方法结合起来,用等效元素法建立了RRR Ⅱ级杆组的动力学等效模型,给出了其动力学微分方程,将建模的关键归结为二阶张量Tia和三阶张量Tibc的建立以及等效质量阵的组装。对给定的RRR-RRR六杆机构进行了建模和求解,给出了其动力响应曲线。实例表明,此方法与传统方法比较,无论从微分方程的列写,还是由计算机进行的解算,都显示出强大优势,解题效率高。 展开更多
关键词 Ⅱ级杆组 等效元素法 等效转动惯量 动力学模型
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An equivalent finite element method to kinetics analysis of complex mechanism 被引量:8
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作者 车仁炜 陆念力 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2005年第2期197-200,共4页
The Finite Element Method was combined with the results from considerable analysis, producing a new kinetics analysis method of EFEM for a mechanism in truss, geared system, and assembled system. The equivalent princi... The Finite Element Method was combined with the results from considerable analysis, producing a new kinetics analysis method of EFEM for a mechanism in truss, geared system, and assembled system. The equivalent principle and the motive differential equation of the system were derived by using an equivalent element, a virtual inertia matrix, and a systematic force matrix. The element’s mass matrix expression in the two dimensional and three dimensional mechanisms of the equivalent element was determined. The equivalent mass matrixes fashion of the Jacobin matrix, generalized coordinate matrix, and equivalent forces matrix were also determined. It was validated by two examples that the new method was normal, simple and direct, and had a higher efficiency than alternative methods; this is regardless of whether traditional methods are used with differential equations and calculated by using a computer. 展开更多
关键词 动力学分析 复合机械装置 等价要素 有限元分析
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