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纳米尺度超低漏电ESD电源钳位电路研究 被引量:2
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作者 王源 张雪琳 +3 位作者 曹健 陆光易 贾嵩 张钢刚 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期595-599,共5页
提出一种新型超低漏电ESD电源钳位电路。该电路采用具有反馈回路的ESD瞬态检测电路,能够减小MOS电容栅极–衬底之间电压差,降低电路的泄漏电流,抑制ESD泄放器件的亚阈值电流。65 nm CMOS工艺仿真结果表明,在电路正常上电时,泄漏电流只有... 提出一种新型超低漏电ESD电源钳位电路。该电路采用具有反馈回路的ESD瞬态检测电路,能够减小MOS电容栅极–衬底之间电压差,降低电路的泄漏电流,抑制ESD泄放器件的亚阈值电流。65 nm CMOS工艺仿真结果表明,在电路正常上电时,泄漏电流只有24.13 nA,比传统ESD电源钳位电路的5.42μA降低两个数量级。 展开更多
关键词 静电放电 泄漏电流 电源钳位电路 亚阈值电流
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一种触发型ESD电源钳位电路 被引量:1
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作者 李若飞 《微处理机》 2017年第2期19-21,共3页
ESD电源钳位的应用始于20世纪90年代中期,到现在它已经成为半导体芯片设计及ESD设计综合的典型应用。将ESD电源钳位综合应用到半导体芯片结构中的发展已经成为ESD设计规则的组成部分,同时也是ESD设计艺术的基本组成部分。在CMOS工艺中,M... ESD电源钳位的应用始于20世纪90年代中期,到现在它已经成为半导体芯片设计及ESD设计综合的典型应用。将ESD电源钳位综合应用到半导体芯片结构中的发展已经成为ESD设计规则的组成部分,同时也是ESD设计艺术的基本组成部分。在CMOS工艺中,MOSFET型ESD电源钳位在芯片设计中已经成为一种标准的ESD设计实现。触发型MOSFET ESD电源钳位电路能够弥补栅极接地的NMOS(GGNMOS)在经受二次击穿时的ESD保护缺陷。 展开更多
关键词 MOSFET工艺 esd电源钳位 RC触发esd电源钳位 esd电源钳位频率 电压触发esd电源钳位 主/从esd系统
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基于130nm SOI工艺数字ASIC ESD防护设计 被引量:3
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作者 米丹 周昕杰 周晓彬 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第4期279-285,共7页
绝缘体上硅(SOI)工艺具有寄生电容小、速度快和抗闩锁等优点,成为低功耗和高性能集成电路(IC)的首选。但SOI工艺IC更易受自加热效应(SHE)的影响,因此静电放电(ESD)防护设计成为一大技术难点。设计了一款基于130 nm部分耗尽型SOI(PD-SOI... 绝缘体上硅(SOI)工艺具有寄生电容小、速度快和抗闩锁等优点,成为低功耗和高性能集成电路(IC)的首选。但SOI工艺IC更易受自加热效应(SHE)的影响,因此静电放电(ESD)防护设计成为一大技术难点。设计了一款基于130 nm部分耗尽型SOI(PD-SOI)工艺的数字专用IC(ASIC)。针对SOI工艺ESD防护设计难点,进行了全芯片ESD防护原理分析,通过对ESD防护器件、I/O管脚ESD防护电路、电源钳位电路和ESD防护网络的优化设计,有效减小了SHE的影响。该电路通过了4.5 kV人体模型ESD测试,相比国内外同类电路有较大提高,可以为深亚微米SOI工艺IC ESD防护设计提供参考。 展开更多
关键词 深亚微米 绝缘体上硅(SOI)工艺 全芯片 静电放电(esd)防护 电源钳位 人体模型
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Design of a novel static-triggered power-rail ESD clamp circuit in a 65-nm CMOS process
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作者 Guangyi LU Yuan WANG +2 位作者 Lizhong ZHANG Jian CAO Xing ZHANG 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第12期166-174,共9页
This work presents the design of a novel static-triggered power-rail electrostatic discharge(ESD)clamp circuit. The superior transient-noise immunity of the static ESD detection mechanism over the transient one is fir... This work presents the design of a novel static-triggered power-rail electrostatic discharge(ESD)clamp circuit. The superior transient-noise immunity of the static ESD detection mechanism over the transient one is firstly discussed. Based on the discussion, a novel power-rail ESD clamp circuit utilizing the static ESD detection mechanism is proposed. By skillfully incorporating a thyristor delay stage into the trigger circuit(TC), the proposed circuit achieves the best ESD-conduction behavior while consuming the lowest leakage current(Ileak) at the normal bias voltage among all investigated circuits in this work. In addition, the proposed circuit achieves an excellent false-triggering immunity against fast power-up pulses. All investigated circuits are fabricated in a 65-nm CMOS process. Performance superiorities of the proposed circuit are fully verified by both simulation and test results. Moreover, the proposed circuit offers an efficient on-chip ESD protection scheme considering the worst discharge case in the utilized process. 展开更多
关键词 钳位电路 工艺设计 CMOS 触发式 esd 静态 电源 纳米
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一种用于继电保护的电源钳位静电放电电路 被引量:4
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作者 唐晓柯 李振国 +1 位作者 郭海兵 王源 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第9期675-679,700,共6页
与消费类电子产品相比,用于继电保护的集成电路(IC)面临着更为严苛的静电放电(ESD)环境,需要高可靠性的电源钳位ESD电路,但这会给芯片带来较大的泄漏功耗。针对继电保护电路的ESD需求,提出了一种低漏电型电源钳位ESD电路,减小了ESD触发... 与消费类电子产品相比,用于继电保护的集成电路(IC)面临着更为严苛的静电放电(ESD)环境,需要高可靠性的电源钳位ESD电路,但这会给芯片带来较大的泄漏功耗。针对继电保护电路的ESD需求,提出了一种低漏电型电源钳位ESD电路,减小了ESD触发模块的电容,有效防止了继电保护下快速上电和高频噪声带来的误触发。利用电流镜结构获得大的等效ESD触发模块电容,保证了泄放晶体管的导通时间。利用钳位二极管技术,减小钳位电路触发模块的泄漏电流。基于标准65 nm CMOS工艺对电源钳位ESD电路进行了流片验证,测试结果表明,人体模型(HBM)ESD防护能力可达4 kV,泄漏电流为25.45 nA。 展开更多
关键词 静电放电(esd) 电源钳位电路 电流镜 继电保护 低漏电
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A novel ESD protection structure for output pads
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作者 樊航 蒋苓利 张波 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第11期95-98,共4页
Electro-static discharge (ESD) is always a serious threat to integrated circuits. To achieve higher robustness and a smaller die area at the same time, a novel protection structure for the output pad is proposed. Th... Electro-static discharge (ESD) is always a serious threat to integrated circuits. To achieve higher robustness and a smaller die area at the same time, a novel protection structure for the output pad is proposed. The complementary SCR devices in this structure can protect not only the output under positive or negative stresses versus VDD or Vss, respectively, but also the power rails at the cost of almost no extra area. The robustness of the proposed structure is about three times higher than the conventional four-finger GGNMOS/GDPMOS structure in the same area condition. 展开更多
关键词 electro-static discharge power clamp silicon controlled rectifier
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