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Analysis of Orange Peel Defect in St14 Steel Sheet by Electron Backscattered Diffraction (EBSD) 被引量:7
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作者 ShengquanCAO JinxuZHANG +1 位作者 JianshengWU JiaguangCHEN 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第1期17-20,共4页
In this paper, the orange peel defect in the surface range of the st14 steel sheet has been investigated using the electron backscattered diffraction (EBSD) technique. It has been found that the orange peel defect in ... In this paper, the orange peel defect in the surface range of the st14 steel sheet has been investigated using the electron backscattered diffraction (EBSD) technique. It has been found that the orange peel defect in the st14 steel sheet was resulted from the local coarse grains which were produced during hot-rolling due to the critical deformation in dual-phase zone. During deep drawing, the coarse grains with {100}<001> microtexture can slip on the {112}<111> slip system to form bulging and yields orange peel defects, while the coarse grains with {112}<110> orientation do not form the defect as the Schmid factor of {112}<111> slip system in it equals zero. 展开更多
关键词 electron backscattered diffraction (ebsd) Orange peel defect Stl4 steel MICROTEXTURE
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Crystallographic Characteristic of Intermetallic Compounds in Al-Si-Mg Casting Alloys Using Electron Backscatter Diffraction 被引量:2
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作者 ZOU Yongzhi XU Zhengbing +1 位作者 HE Juan ZENG Jianmin 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第3期305-311,共7页
The Al-Si-Mg alloy which can be strengthened by heat treatment is widely applied to the key components of aerospace and aeronautics. Iron-rich intermetallic compounds are well known to be strongly influential on mecha... The Al-Si-Mg alloy which can be strengthened by heat treatment is widely applied to the key components of aerospace and aeronautics. Iron-rich intermetallic compounds are well known to be strongly influential on mechanical properties in Al-Si-Mg alloys. But intermetallic compounds in cast Al-Si-Mg alloy intermetallics are often misidentified in previous metallurgical studies. It was described as many different compounds, such as AlFeSi, Al8Fe2Si, Al5(Fe, Mn)3Si2 and so on. For the purpose of solving this problem, the intermetallic compounds in cast Al-Si alloys containing 0.5% Mg were investigated in this study. The iron-rich compounds in Al-Si-Mg casting alloys were characterized by optical microscope(OM), scanning electron microscope(SEM), energy dispersive X-ray spectrometer(EDS), electron backscatter diffraction(EBSD) and X-ray powder diffraction(XRD). The electron backscatter diffraction patterns were used to assess the crystallographic characteristics of intermetallic compounds. The compound which contains Fe/Mg-rich particles with coarse morphologies was Al8FeMg3Si6 in the alloy by using EBSD. The compound belongs to hexagonal system, space group P6_2m, with the lattice parameter a=0.662 nm, c=0.792 nm. The β-phase is indexed as tetragonal Al3FeSi2, space group I4/mcm, a=0.607 nm and c=0.950 nm. The XRD data indicate that Al8FeMg3Si6 and Al3FeSi2 are present in the microstructure of Al-7Si-Mg alloy, which confirms the identification result of EBSD. The present study identified the iron-rich compound in Al-Si-Mg alloy, which provides a reliable method to identify the intermetallic compounds in short time in Al-Si-Mg alloy. Study results are helpful for identification of complex compounds in alloys. 展开更多
关键词 Al-Si-Mg alloys intermetallic compound electron backscatter diffraction(ebsd X-ray powder diffraction(XRD)
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EBSD技术及其在金属材料中的研究应用
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作者 梁梦斐 李静宇 +1 位作者 刘艳红 牛晓慧 《河南冶金》 2023年第1期9-12,29,共5页
电子背散射衍射技术(EBSD)作为分析材料晶体结构、物相分布、织构以及取向差的新型研究方法,通过介绍EBSD的系统构成以及基本原理,对比其与传统分析技术之间的优缺点,结合具体实例说明EBSD在金属材料中织构、取向和晶粒尺寸等方面的应用。
关键词 电子背散射衍射 取向 织构 晶粒尺寸
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HR3C奥氏体耐热钢晶界蠕变损伤的电子背散射衍射分析
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作者 胡正飞 张家乐 张洁 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期611-618,共8页
对不同条件下的HR3C奥氏体耐热钢蠕变试样进行性能测试和微观结构观察,研究奥氏体耐热不锈钢蠕变沿晶破坏行为和损伤特征。电子背散射衍射(EBSD)分析结果表明,不同蠕变速度下材料的晶粒尺寸基本不变,未产生择优取向,但高蠕变速度条件下... 对不同条件下的HR3C奥氏体耐热钢蠕变试样进行性能测试和微观结构观察,研究奥氏体耐热不锈钢蠕变沿晶破坏行为和损伤特征。电子背散射衍射(EBSD)分析结果表明,不同蠕变速度下材料的晶粒尺寸基本不变,未产生择优取向,但高蠕变速度条件下部分孪晶界演变成一般晶界,而低蠕变速度下原始孪晶结构基本保持不变。EBSD分析结果清楚地反映了微观蠕变应变的不均匀性。沿晶微裂纹和蠕变空洞的产生和扩展是最显著的损伤特征,这些损伤现象与不同蠕变速度下的蠕变机制及晶界性质密切相关。 展开更多
关键词 奥氏体耐热钢 蠕变 损伤特征 晶界 电子背散射衍射
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电子背散射衍射(EBSD)及其在材料研究中的应用 被引量:48
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作者 陈绍楷 李晴宇 +1 位作者 苗壮 许飞 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期500-504,共5页
论述了电子背散射衍射(EBSD)的形成原理、花样包含的物理意义,并给出了EBSD在测定晶体取向、织构、取向关系、物相鉴定、应变分布、晶格常数及晶界性质研究等方面的应用实例。
关键词 电子背散射衍射(ebsd) 晶体取向 织构
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电子背散射衍射(EBSD)技术在地壳构造变形研究中的应用 被引量:12
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作者 黄学猛 张进江 许志琴 《地质学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1130-1145,共16页
电子背散射衍射(EBSD)技术是岩组学研究的一项革命性新技术。该技术可以对传统的岩石薄片进行分析,实用性高,观测精度达到亚微米级别。配合扫描电子显微镜、阴极发光、波谱、能谱分析设备,EBSD技术可以对透明和非透明的任何对称性晶体... 电子背散射衍射(EBSD)技术是岩组学研究的一项革命性新技术。该技术可以对传统的岩石薄片进行分析,实用性高,观测精度达到亚微米级别。配合扫描电子显微镜、阴极发光、波谱、能谱分析设备,EBSD技术可以对透明和非透明的任何对称性晶体进行取向测量,快速获取晶体显微结构、微区成分与晶体学参数,可以对晶体开展形貌观察、晶体优选方向(CPO)、取向差分析、物相鉴定、应变测量、晶界分析、变形机制、位错滑移系、晶内变形、温压条件研究。结合聚焦离子束(FIB)技术,可以获取矿物的三维结构图像。对地壳的主要矿物进行组构分析,结合野外矿物变形特征与试验岩石学研究成果,可以开展地壳构造运动学、动力学的研究。本文介绍岩组学的研究历史,以及EBSD技术在地壳常见矿物石英、钾长石、斜长石、角闪石以及假熔岩构造变形研究中的最新进展与典型实例,并对EBSD研究结果中一些潜在的不确定性因素进行了讨论。 展开更多
关键词 电子背散射衍射(ebsd) 岩组学 构造运动学 动力学 变形机制
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Analysis of retained austenite in TRIP590 steel by electron backscattered diffraction method
7
作者 Yu-cheng Zhang Yang Meng +4 位作者 Gui-bin Cui Hui-ping Jia Xin-hua Ju Zhong-hang Jiang Ze-jun Ma 《Journal of Iron and Steel Research(International)》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期355-365,共11页
The retained austenite content in TRIP590 steel was first measured by X-ray diffraction(XRD)method.Then,the effect of different test parameters(indexing rate,step size,field number,etc.)on the measured results of reta... The retained austenite content in TRIP590 steel was first measured by X-ray diffraction(XRD)method.Then,the effect of different test parameters(indexing rate,step size,field number,etc.)on the measured results of retained austenite content in TRIP590 steel by electron backscattered diffraction(EBSD)method was studied.By comparing the measured results between XRD and EBSD method,the optimal test parameters for the analysis of retained austenite content using EBSD were determined.Finally,the total content of retained austenite and the retained austenite contents with different aspect ratios in TRIP590 steel were analyzed,respectively.The results showed that the test parameters have a great influence on the measured results of retained austenite content in TRIP590 steel.In order to improve the test accuracy,high indexing rates,small step sizes and more field number are necessary for the analysis of retained austenite content in TRIP590 steel by EBSD method. 展开更多
关键词 TRIP590 STEEL RETAINED AUSTENITE electron backscattered diffraction INDEXING rate Step size
原文传递
针状铁素体/马氏体高强度低屈强比双相钢的EBSD研究 被引量:17
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作者 张丕军 刘相华 王国栋 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期57-59,共3页
应用电子背散射衍射技术研究了具有针状铁素体/马氏体双相组织的高强度低合金钢的显微组织结构,且对其力学性能进行了检验.结果表明,这种钢种的平均晶粒尺寸达到了2μm级,属于细晶粒钢;双相组织中的马氏体相的体积分数为27.6%,铁素体相... 应用电子背散射衍射技术研究了具有针状铁素体/马氏体双相组织的高强度低合金钢的显微组织结构,且对其力学性能进行了检验.结果表明,这种钢种的平均晶粒尺寸达到了2μm级,属于细晶粒钢;双相组织中的马氏体相的体积分数为27.6%,铁素体相的体积分数为70.9%,且两相晶界取向差的半数为小角度晶界,有利于提高材料的塑性性能和形变能力,屈强比达到了0.674.讨论了晶粒尺寸、相体积分数和晶界取向差与材料力学性能的关系. 展开更多
关键词 双相组织 高强度 低屈强比 电子背散射衍射 晶粒尺寸 相体积分数
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岩石显微构造分析现代技术——EBSD技术及应用 被引量:39
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作者 曹淑云 刘俊来 《地球科学进展》 CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1091-1096,共6页
EBSD技术的发展,为岩石显微构造分析开辟了一个全新的领域。它与现代扫描电子显微镜和能谱分析等设备配合,可以同时对块状样品进行晶体结构与成分分析,从而使显微构造、微区成分与结晶学数据分析有机结合起来。EBSD技术可以精确、快速... EBSD技术的发展,为岩石显微构造分析开辟了一个全新的领域。它与现代扫描电子显微镜和能谱分析等设备配合,可以同时对块状样品进行晶体结构与成分分析,从而使显微构造、微区成分与结晶学数据分析有机结合起来。EBSD技术可以精确、快速定量标定包括各种晶系晶体颗粒的晶格方位和描述晶体颗粒的边界、形态等特征,对于具有低角度边界的晶体颗粒提供精确数据,为阐述岩石变形机制提供重要约束,并为高级晶族和不透明矿物结晶学组构与变形机制研究提供了有效的手段。EBSD尤其使获取微米级甚至纳米级尺度上颗粒(亚颗粒)或相之间的定向差别(达到20 nm的空间分辨率和0.3度角度分辨率)成为可能。EBSD技术在矿物相鉴定、亚微域内的应变分析、矿物出溶作用等方面的应用,进一步证明了这一新技术在显微构造分析及相关领域的应用前景。其广泛应用必将带来岩石显微构造研究的新突破,也将成为未来岩石变形机制与岩石圈流变学研究取得飞速发展不可或缺的技术手段。 展开更多
关键词 ebsd技术 岩石 显微构造
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基于EBSD技术构建弹性各向异性粗晶材料超声仿真模型的研究 被引量:6
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作者 陈尧 罗忠兵 +4 位作者 张东辉 周全 刘丽丽 杨会敏 林莉 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第18期24-30,共7页
针对弹性各向异性粗晶材料晶粒结构和取向定量描述困难,导致超声检测仿真结果与试验符合程度较差的问题,提出基于电子背散射衍射(Electron back-scatter diffraction,EBSD)技术确定晶粒形态及晶体取向的建模思路。利用EBSD技术实测得到... 针对弹性各向异性粗晶材料晶粒结构和取向定量描述困难,导致超声检测仿真结果与试验符合程度较差的问题,提出基于电子背散射衍射(Electron back-scatter diffraction,EBSD)技术确定晶粒形态及晶体取向的建模思路。利用EBSD技术实测得到了尺寸为96 mm×12 mm的离心铸造奥氏体不锈钢(Centrifugally cast austenitic stainless steel,CCASS)轴-径向截面的晶体取向图谱,选择15°取向相(差)角定义EBSD图谱的晶粒结构,并对晶体取向进行归一化处理。在此基础上借助Bond变换法赋以晶粒在对应晶体取向下的刚度矩阵,对模型中晶粒的弹性特征进行量化表征,建立CCASS超声检测模型。采用时域有限差分法进行数值计算,结果表明:利用该方法能够较好地重现CCASS超声检测特有的结构噪声和主频降低等现象,为揭示超声波在弹性各向异性粗晶结构中的散射机理提供了解决思路。 展开更多
关键词 电子背散射衍射 超声检测 仿真 弹性各向异性 粗晶
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铝合金微通道扁管EBSD晶粒度和织构分析 被引量:2
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作者 范晓慧 唐鼎 +2 位作者 方文利 李大永 彭颖红 《塑性工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期51-54,共4页
采用电子背散射衍射(EBSD)技术,研究经高温大挤压比成形的AA3003铝合金微通道扁管横纵截面的晶粒分布、晶粒度统计和择优取向。结果表明,铝合金扁管的横截面和纵截面晶粒均呈等轴状,椭圆的长短轴比均约1.7左右。横截面平均晶粒尺寸约34.... 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,研究经高温大挤压比成形的AA3003铝合金微通道扁管横纵截面的晶粒分布、晶粒度统计和择优取向。结果表明,铝合金扁管的横截面和纵截面晶粒均呈等轴状,椭圆的长短轴比均约1.7左右。横截面平均晶粒尺寸约34.4μm,纵截面的平均晶粒尺寸约41.2μm。扁管沿挤压方向未观察到挤压变形带和焊合线。此外,铝合金微通道扁管织构为弱立方织构(100)[001]混合沿着挤压方向强高斯织构(110)[001]。并且经过高温严重塑性变形铝合金的微通道扁管的组织为再结晶组织,晶粒呈椭球状,顺着挤压方向略有拉伸,并生成典型铝合金再结晶织构。 展开更多
关键词 铝合金挤压 微通道扁管 电子背散射衍射 晶粒尺寸 织构
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铝电解电容器用腐蚀箔的SEM与EBSD研究 被引量:5
12
作者 黄新民 吴玉程 +3 位作者 刘衍芳 刘兰花 王跃 翁德明 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第6期478-482,共5页
采用扫描电子显微镜(SEM)和背散射电子衍射(EBSD)技术分析国产铝光箔与进口铝光箔的表面质量、晶粒大小和织构度对阳极氧化腐蚀箔比容的影响。结果表明,由于光箔轧制与再结晶退火工艺的原因,国产铝光箔表面缺陷多,粗糙度大,晶粒小和织... 采用扫描电子显微镜(SEM)和背散射电子衍射(EBSD)技术分析国产铝光箔与进口铝光箔的表面质量、晶粒大小和织构度对阳极氧化腐蚀箔比容的影响。结果表明,由于光箔轧制与再结晶退火工艺的原因,国产铝光箔表面缺陷多,粗糙度大,晶粒小和织构度低,在相同腐蚀条件下,腐蚀箔的比容比进口铝光箔腐蚀后的比容低,且幅度超过5%。 展开更多
关键词 电解电容器 阳极氧化 腐蚀铝箔 背散射电子衍射
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Ti_3Al激光焊接接头组织与织构的EBSD分析 被引量:4
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作者 王国庆 宋志华 +1 位作者 吴爱萍 赵一夫 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期63-66,116,共4页
采用电子背散射衍射(EBSD)技术对Ti-23Al-17Nb合金CO2激光焊接接头的焊缝、热影响区和母材的组织组成、晶粒大小及形态、晶粒取向和取向差分布进行了研究.结果表明,焊接接头中焊缝和热影响区的组织是B2相,母材由B2相和少量的α2相组成.... 采用电子背散射衍射(EBSD)技术对Ti-23Al-17Nb合金CO2激光焊接接头的焊缝、热影响区和母材的组织组成、晶粒大小及形态、晶粒取向和取向差分布进行了研究.结果表明,焊接接头中焊缝和热影响区的组织是B2相,母材由B2相和少量的α2相组成.从母材、热影响区到焊缝,晶粒尺寸依次增大,母材为细小等轴晶,母材内B2相尺寸大于α2相.焊缝B2相的(001)[5-7 0]织构的强度最强,热影响区B2相和母材B2相的主要织构均为(001)[0-1 0],母材α2相的主要织构为(1 0-1 0)[-1 2-1 10].热影响区的小角度晶界居多,焊缝晶粒的取向与母材和热影响区晶粒的取向具有一定的关联性. 展开更多
关键词 Ti-23Al-17Nb 激光焊接 电子背散射衍射 微观组织 织构
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EBSD在马氏体变体间位向关系测定中的应用 被引量:4
14
作者 张美汉 许为宗 +2 位作者 郭正洪 王晓东 戎咏华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期63-68,共6页
利用EBSD研究了0.33wt.%C碳钢中原奥氏体同一晶粒内的板条马氏体的形态和晶体学特征。在无残留奥氏体的情况下,由于EBSD检测结果的分散性,用对称性高的低指数极图(如{001}bcc极图)并不能很好地区分K-S取向关系和N-W取向关系。本文采用... 利用EBSD研究了0.33wt.%C碳钢中原奥氏体同一晶粒内的板条马氏体的形态和晶体学特征。在无残留奥氏体的情况下,由于EBSD检测结果的分散性,用对称性高的低指数极图(如{001}bcc极图)并不能很好地区分K-S取向关系和N-W取向关系。本文采用非对称性的高指数{123}bcc极图,可以区分两种取向关系。结果表明,此材料的马氏体取向分布基本符合K-S关系。利用极图与矩阵运算的方法,标定原奥氏体同一晶粒内24个满足K-S关系的变体,揭示了24个马氏体变体间特定的结合规律。 展开更多
关键词 板条马氏体 位向关系 晶体学 ebsd 取向差
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EBSD技术分析大晶粒NiAl合金高温塑性变形组织演变与CSL特征晶界分布 被引量:7
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作者 胡静 林栋樑 王燕 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期652-656,共5页
采用EBSD分析了1075℃和初始应变速率为8.75×10^(-4)s^(-1)条件下大晶粒NiAl合金高温塑性变形过程中的组织演变与重位点阵(CSL)特征晶界分布。变形前大晶粒NiAl合金以大角度晶界为主,小角度晶界比例极低。在高温塑性变形过程中,取... 采用EBSD分析了1075℃和初始应变速率为8.75×10^(-4)s^(-1)条件下大晶粒NiAl合金高温塑性变形过程中的组织演变与重位点阵(CSL)特征晶界分布。变形前大晶粒NiAl合金以大角度晶界为主,小角度晶界比例极低。在高温塑性变形过程中,取向差5°以下的小角度晶界不断产生。随变形量的增大,新形成的小角度晶界取向差增加、转变为取向差较大的6°—15°小角度晶界,进而转变为15°以上的大角度晶界。小角度晶界的产生速率与转变为大角度晶界的速率趋向动态平衡。小角度晶界向较大角度晶界不断转变导致晶粒显著细化。CSL特征晶界分析表明,大晶粒NiAl合金高温塑性变形过程中,CSL晶界分布发生改变,将对合金室温力学性能产生影响。 展开更多
关键词 NiAl 金属间化合物 电子背散射衍射(ebsd) 组织演变 重位点阵(CSL)
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金属基复合材料EBSD样品制备方法研究 被引量:6
16
作者 郜鲜辉 林守钢 +2 位作者 赵建全 吴金金 李明辉 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期54-59,共6页
为讨论金属基复合材料电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法,本文选用ZrO_2/Ti-6Al-4V陶瓷增强金属基复合材料,比较了经过电解抛光、化学浸蚀、振动抛光后样品的显微形貌,并详细讨论了不同时长振动抛光后的显微形貌、衍射花样衬度、取向... 为讨论金属基复合材料电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法,本文选用ZrO_2/Ti-6Al-4V陶瓷增强金属基复合材料,比较了经过电解抛光、化学浸蚀、振动抛光后样品的显微形貌,并详细讨论了不同时长振动抛光后的显微形貌、衍射花样衬度、取向分布图和花样标定率等。结果表明:振动抛光方法比电解抛光、化学浸蚀更适合金属基复合材料EBSD样品的制备;随着振动时长的增加,花样质量逐渐提高,当振动时长为8h时,EBSD测试标定率可达到97.7%。 展开更多
关键词 金属基复合材料 电子背散射衍射(ebsd) 振动抛光 样品制备
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亚稳态β钛合金冷旋锻形变组织的EBSD和TEM研究 被引量:4
17
作者 郭文渊 邢辉 孙坚 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第6期469-472,共4页
本文利用电子背散射衍射(EBSD)和高分辨透射电子显微术(HRTEM)研究了冷旋锻亚稳态β钛合金Ti-23Nb-0.7Ta-2Zr-1.2O(摩尔分数,%)(TNTZO)的形变组织,结果表明冷旋锻TNTZO合金具有与冷旋锻态或拉拔态普通体心立方金属相似的螺旋状组织及相... 本文利用电子背散射衍射(EBSD)和高分辨透射电子显微术(HRTEM)研究了冷旋锻亚稳态β钛合金Ti-23Nb-0.7Ta-2Zr-1.2O(摩尔分数,%)(TNTZO)的形变组织,结果表明冷旋锻TNTZO合金具有与冷旋锻态或拉拔态普通体心立方金属相似的螺旋状组织及相同的织构组分——〈110〉丝织构;高分辨透射电镜观察表明冷旋锻TNTZO合金中存在1/2〈1 1 1〉位错。因此可认为TNTZO合金仍通过传统的位错滑移机制进行塑性变形,不存在所谓的无位错塑性变形机制。 展开更多
关键词 Β钛合金 电子背散射衍射 高分辨透射电镜 位错
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SPS制备亚微米多晶LaB_6块体的EBSD研究 被引量:2
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作者 周身林 刘丹敏 张久兴 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第6期483-486,共4页
用氢直流电弧法制备LaH2纳米粉末,再采用放电等离子烧结(SPS)技术,在压力50 MPa,烧结温度1 400℃~1 600℃条件下制备了LaB6亚微米多晶块体。采用EBSD技术,对LaB6样品表面的晶粒、晶界特征及晶粒取向等进行了测试分析。结果表明,SPS制备... 用氢直流电弧法制备LaH2纳米粉末,再采用放电等离子烧结(SPS)技术,在压力50 MPa,烧结温度1 400℃~1 600℃条件下制备了LaB6亚微米多晶块体。采用EBSD技术,对LaB6样品表面的晶粒、晶界特征及晶粒取向等进行了测试分析。结果表明,SPS制备的LaB6晶粒尺寸为0.14μm^1.10μm,晶粒大小随烧结温度升高而增大。随烧结温度的升高,小角度晶界(微取向差在10°以内)的含量逐渐增加。取向分析表明,SPS烧结LaB6多晶块体形成了几种择优取向。 展开更多
关键词 放电等离子烧结 多晶LaB6 亚微米 ebsd
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基于EBSD技术的单晶硅纳米切削研究 被引量:1
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作者 徐宗伟 赵兵 +2 位作者 刘红光 刘冰 国晨 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CSCD 北大核心 2017年第1期99-104,共6页
切削加工产生的表面和亚表面损伤会影响零件的物理力学性能和使用寿命.对目前存在的主要的表面/亚表面损伤检测技术进行了阐述,指出了目前检测方法的优缺点,提出了一种基于电子背散射衍射技术(EBSD)检测方法,作为现有检测技术的补充.基... 切削加工产生的表面和亚表面损伤会影响零件的物理力学性能和使用寿命.对目前存在的主要的表面/亚表面损伤检测技术进行了阐述,指出了目前检测方法的优缺点,提出了一种基于电子背散射衍射技术(EBSD)检测方法,作为现有检测技术的补充.基于课题组自行搭建的集成于扫描电子显微镜高真空条件下的纳米切削实验装置,用金刚石刀具在单晶硅(001)晶面上沿<110>晶向进行切削,然后利用EBSD进行表征.结果表明:利用EBSD检测技术可以对单晶硅不同切削厚度的应力应变进行分析,通过使用不同的电子束能量可以对距离表面不同深度的亚表面损伤进行研究.此外,利用其高分辨率,可以对硅片加工过程中出现的相变进行定点分析. 展开更多
关键词 电子背散射衍射 亚表面损伤 应力应变 相变
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亚共晶Al-Si合金初生相的EBSD表征 被引量:1
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作者 邓超 刘如学 +1 位作者 洪睿 郑江 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第1期14-17,共4页
利用电子背散射衍射(EBSD)技术对亚共晶Al-Si合金进行了表征。根据晶界成像图与花样质量成像图提取了初生α-Al相的取向数据,通过合理设置晶界临界值与带衬度值均可获得可靠的结构参数统计结果,提取出的初生α-Al相信息可以方便地分析... 利用电子背散射衍射(EBSD)技术对亚共晶Al-Si合金进行了表征。根据晶界成像图与花样质量成像图提取了初生α-Al相的取向数据,通过合理设置晶界临界值与带衬度值均可获得可靠的结构参数统计结果,提取出的初生α-Al相信息可以方便地分析其含量、形态、尺寸、分布以及取向等信息。 展开更多
关键词 AL-SI合金 电子背散射衍射技术(ebsd) 初生相
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