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Upconversion properties of Y_2O_3:Er films prepared by sol-gel method 被引量:8
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作者 乔艳敏 郭海 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第3期407-411,共5页
Y2O3:Er^3+ films were prepared by a simple sol-gel process. The structural properties of Y2O3:Er^3+ films were characterized with X-ray diffraction, Fourier transform infrared spectroscopy and field emission scann... Y2O3:Er^3+ films were prepared by a simple sol-gel process. The structural properties of Y2O3:Er^3+ films were characterized with X-ray diffraction, Fourier transform infrared spectroscopy and field emission scanning electron microscopy. The results indicated that the Y2O3:Er^3+ films might have high upconversion efficiency because of their low vibrational energy. Under 785 and 980 nm laser excitation, the samples showed green (^2H11/2→^4I15/2, ^4S3/2→^4I15/2) and red (^4F9/2→^4I15/2) upconversion emissions. The upconversion mechanisms were studied in detail through laser power dependence. Excited state absorption and energy transfer process were discussed as possible upconversion mechanisms. The cross relaxation process in Er^3+ was also investigated. 展开更多
关键词 Y2O3:er^3+ film SOL-GEL UPCONVerSION rare earths
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基于NaGdF4∶Er^(3+)/Yb^(3+)/Al^(3+)的复合薄膜上转换发光与光热性能
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作者 邵泽杰 周海芳 +1 位作者 郑瑞锦 程树英 《发光学报》 北大核心 2025年第1期89-97,共9页
稀土掺杂的上转换纳米材料在光热传感、生物医学等领域有着广泛的应用前景,但其存在导热性差、测温灵敏度与上转换发光(UCL)强度低的问题,而添加单壁碳纳米管(SWCNT)、贵金属与光子晶体(PCs)是提高其UCL强度与光热性能的有效手段。本文... 稀土掺杂的上转换纳米材料在光热传感、生物医学等领域有着广泛的应用前景,但其存在导热性差、测温灵敏度与上转换发光(UCL)强度低的问题,而添加单壁碳纳米管(SWCNT)、贵金属与光子晶体(PCs)是提高其UCL强度与光热性能的有效手段。本文使用溶剂热法合成了NaGdF_(4)∶Er^(3+)/Yb^(3+)/Al^(3+)纳米晶体(UCNPs),通过对比上转换层(UC)、SWCNT/UC、Ag/SWCNT/UC与PCs/Ag/SWCNT/UC的光热性能,研究不同膜层对UCNPs的光热性能影响。结果表明,PCs/Ag/SWCNT/UC具有优异的性能,其红绿光强度分别为UC的3.48倍与4.24倍,其光热转换效率达到33.79%,是UC的1.49倍;并且光学测温绝对灵敏度SA在353 K时达到3.14×10^(-3) K^(-1),相对灵敏度SR在273 K时达到1.87×10^(-2) K^(-1)。本研究为提高光热传感器性能提供了一种有效的策略。 展开更多
关键词 复合薄膜 NaGdF4∶er^(3+)/Yb^(3+)/Al^(3+)纳米晶 光热性能 测温灵敏度
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Electrodeposition of Er-Ni Alloy Film in Dimethylsulfoxide 被引量:2
3
作者 李高仁 童叶翔 刘冠昆 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第5期497-501,共5页
The cyclic voltammetry and chronoamperometry were used to investigate the electrochemical behaviors of Er(Ⅲ) and Ni(Ⅱ) in LiClO 4 DMSO(dimethylsufoxide) system on Pt and Cu electrodes. Experimental results indica... The cyclic voltammetry and chronoamperometry were used to investigate the electrochemical behaviors of Er(Ⅲ) and Ni(Ⅱ) in LiClO 4 DMSO(dimethylsufoxide) system on Pt and Cu electrodes. Experimental results indicated that the reduction of Er(Ⅲ) to Er and Ni(Ⅱ) to Ni were irreversible in one step on Pt and Cu electrodes. The diffusion coefficient and electron transfer coefficient of Er(Ⅲ) in 0.01 mol·L -1 ErCl 3 -0.1 mol·L -1 LiClO 4 DMSO system at 303K were 1.47×10 -10 m 2·s -1 and 0.108 respectively, and the diffusion coefficient and electron transfer coefficient of Ni(Ⅱ) in 0.01 mol·L -1 NiCl 2-0.1 mol·L -1 LiClO 4 DMSO system at 303K were 3.38×10 -10 m 2·s -1 and 0.160 respectively. The homogeneous, strong adhesive Er Ni alloy films with metallic lu- stre was prepared by potentiostatic electrolysis on Cu electrode in ErCl 3 NiCl 2 LiClO 4 DMSO system at -1.90~ -2.55 V (vs SCE). 展开更多
关键词 rare earths ELECTRODEPOSITION dimethylsulfoxide(DMSO) er Ni alloy film diffusion coefficient electrontransfer coefficient
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Amorphous Er_2O_3 films for antireflection coatings 被引量:1
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作者 朱燕艳 方泽波 刘永生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第9期622-626,共5页
This paper reports that stoichiometric, amorphous, and uniform Er2O3 films are deposited on Si(001) substrates by a radio frequency magnetron sputtering technique. Ellipsometry measurements show that the refractive ... This paper reports that stoichiometric, amorphous, and uniform Er2O3 films are deposited on Si(001) substrates by a radio frequency magnetron sputtering technique. Ellipsometry measurements show that the refractive index of the Er2O3 films is very close to that of a single layer antireflection coating for a solar cell with an air surrounding medium during its working wavelength. For the 90-nm-thick film, the reflectance has a minimum lower than 3% at the wavelength of 600 nm and the weighted average refiectances (400-1000 nm) is 11.6%. The obtained characteristics indicate that Er2O3 films could be a promising candidate for antireflection coatings in solar cells. 展开更多
关键词 er2O3 film optical constants insulators solar power
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Preparation of Er-Fe Alloy Films in Dimethylsulfoxide by Electrodeposition Method
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作者 LI Gao ren TONG Ye xiang LIU Guan kun 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 2003年第2期190-195,共6页
Cyclic voltammetry and chronoamperometry were used to investigate the electrochemical behavior of Fe(Ⅱ) and Er(Ⅲ) in a LiClO 4 DMSO(dimethylsufoxide) system at Pt and Cu electrodes. Experimental results indicate t... Cyclic voltammetry and chronoamperometry were used to investigate the electrochemical behavior of Fe(Ⅱ) and Er(Ⅲ) in a LiClO 4 DMSO(dimethylsufoxide) system at Pt and Cu electrodes. Experimental results indicate that the reductions of Fe(Ⅱ) to Fe(0) and Er(Ⅲ) to Er(0) were irreversible at Pt and Cu electrodes. The diffusion coefficient and the electron transfer coefficient of Fe(Ⅱ) in a 0 01 mol/L FeCl 2 0 1 mol/L LiClO 4 DMSO system at 303 K were 1 70×10 -10 m 2/s and 0 08 respectively, the diffusion coefficient and the electron transfer coefficient of Er(Ⅲ) in a 0 01 mol/L ErCl 3 0 1mol/L LiClO 4 DMSO system at 303 K were 1 47×10 -10 m 2/s and 0 108 respectively. The homogeneous, strong adhesive Er Fe alloy films containing Er of 31 39%-42 12% in mass fraction with metallic lustre were prepared by potentiostatic electrolysis on a Cu electrode in a ErCl 3 FeCl 2 LiClO 4 DMSO system at -1 75--2 50 V( vs . SCE). 展开更多
关键词 ELECTRODEPOSITION Dimethylsulfoxide(DMSO) er-Fe alloy films Diffusion coefficient Electron transfer coefficient
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Annealing Effect on the Structural, Electrical and Optical Properties of Er, Li-Codoped ZnO Films
6
作者 Natella Aghamalyan Ruben Hovsepyan +5 位作者 Yevgenia Kafadaryan Radik Kostanyan Sil'va Petrosyan AtomEganyan Margarita Mezdrogina Roman Kuz' min 《材料科学与工程(中英文B版)》 2013年第2期117-121,共5页
关键词 薄膜结构 ZNO薄膜 光学性质 电学性能 锂掺杂 退火 X-射线衍射 光致发光
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Electrochemical preparation of Er-Co-Bi thin film in organic bath by cyclic electrodeposition method
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作者 李高仁 童叶翔 刘冠昆 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2004年第2期388-391,共4页
Cyclic electrodeposition was used to investigate the preparation of Er-Co-Bi alloy thin film in DMSO system. Experimental results indicate that Er-Co-Bi alloy thin film containing 14.83 %32.65 % Er is prepared from 0.... Cyclic electrodeposition was used to investigate the preparation of Er-Co-Bi alloy thin film in DMSO system. Experimental results indicate that Er-Co-Bi alloy thin film containing 14.83 %32.65 % Er is prepared from 0.1 mol/L ErCl3+0.1 mol/L CoCl2+0.1 mol/L Bi(NO3)3+0.1 mol/L LiCl +DMSO system by cyclic electrodeposition on Cu substrate. The optimum cyclic potential of electrodeposition is that upper potential is within a potential range from -0.50 V to -1.00 V and lower potential is within a potential range from -2.00 V to )-2.60 V.) The surface of alloy thin film observed by scanning electron microscope is black, adhesive and has metallic luster. The film is amorphous proved by the X-ray diffractometry. 展开更多
关键词 er-Co-Bi薄膜 稀土 循环电积 电化学性能 DMSO
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Fabrication and photoluminescence characteristics of nonuniform Yb-Er codoped films
8
作者 李成仁 雷明凯 +2 位作者 李淑凤 刘玉凤 宋昌烈 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第1期31-34,共4页
The nonuniform Yb-Er Codoped Al2O3 films were prepared on SiO2/Si substrates using a medium frequency magnetron sputtering system. Two asymmetry targets in the system were introduced to realize the nonuniform dopant. ... The nonuniform Yb-Er Codoped Al2O3 films were prepared on SiO2/Si substrates using a medium frequency magnetron sputtering system. Two asymmetry targets in the system were introduced to realize the nonuniform dopant. Some curves of Photoluminescence (PL) peak intensity were obtained by adjusting the deposition parameters, such as, the pillar number of erbium and ytterbium in the mixed target and the distance between a sample table and targets. Typically, the curve of PL peak intensity against the offset distance was approximately linear. The ratio of the PL intensity at the two ends of the same sample was 12.6 and the slope was 71.83/mm when the pillar numbers of the erbium and ytterbium in the mixed target are 5 and 60, respectively, and the distance between targets and the sample table is 2.9 cm. 展开更多
关键词 Yb-er codoped nonuniform films the medium frequency magnetron sputtering system asymmetry targets photoluminescence spectra rare earths
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掺Er Al_2O_3光波导薄膜材料的制备及光学特性 被引量:6
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作者 李淑凤 宋昌烈 +2 位作者 李成仁 饶文雄 雷明凯 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期344-349,共6页
 介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响。退火对...  介绍了掺ErAl2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果。比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素。不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响。退火对发光特性及材料具有改善作用。 展开更多
关键词 光波导 er∶Al2O3薄膜 PL特性
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Er-Bi合金膜在有机溶剂中的电沉积研究 被引量:5
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作者 李高仁 童叶翔 刘冠昆 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第7期630-634,共5页
利用循环伏安法和恒电位电解法探讨了室温条件下在二甲基亚砜(DMSO)中Er-Bi合金膜的电化学制备.研究了沉积电位、电流密度以及主盐浓度比对沉积膜质量的影响.实验结果表明,在ErCl3-Bi(NO3)3-LiCl-DMSO体系中,当控制恰当的体系组成和沉... 利用循环伏安法和恒电位电解法探讨了室温条件下在二甲基亚砜(DMSO)中Er-Bi合金膜的电化学制备.研究了沉积电位、电流密度以及主盐浓度比对沉积膜质量的影响.实验结果表明,在ErCl3-Bi(NO3)3-LiCl-DMSO体系中,当控制恰当的体系组成和沉积条件,均可得到表面均匀、附着力强、有金属光泽的灰黑色非晶态Er-Bi合金膜,其中稀土Er的质量分数可达24.09%~46.56%.通过SEM、EDS分析得到沉积膜表面形貌和组成,通过XRD和DSC确定了合金膜的物相组成.结果表明,当所制备的合金膜在723K进行热处理1h后,可形成稳定的Er-Bi合金相. 展开更多
关键词 er-Bi合金膜 有机溶剂 电沉积 二甲基亚砜 电化学 制备
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二甲基亚砜中Er-Ni-Co合金膜的电化学制备 被引量:7
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作者 李高仁 童叶翔 +1 位作者 刘冠昆 徐常威 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第8期764-768,共5页
利用循环伏安法和恒电位电解法研究了室温条件下在LiClO4-二甲基亚砜(DMSO)体系中Er-Ni-Co功能合金膜的电化学制备.实验结果表明,在0.1mol·L-1ErCl3-0.1mol·L-1NiCl2-0.1mol·L-1CoCl2-0.1mol·L-1LiClO4-DMSO体系中... 利用循环伏安法和恒电位电解法研究了室温条件下在LiClO4-二甲基亚砜(DMSO)体系中Er-Ni-Co功能合金膜的电化学制备.实验结果表明,在0.1mol·L-1ErCl3-0.1mol·L-1NiCl2-0.1mol·L-1CoCl2-0.1mol·L-1LiClO4-DMSO体系中,控制电位在-2.20~-2.50V范围内进行恒电位电解,得到表面均匀、附着力强、有金属光泽的黑色非晶态Er-Ni-Co合金膜,其中Er的质量分数可达9.21%~18.90%. 展开更多
关键词 电化学制备 er-Ni-Co合金膜 稀土 电沉积 二甲基亚砜 铒镍钴合金膜
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在有机溶剂中电沉积Er-Co-Fe合金膜 被引量:4
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作者 李高仁 童叶翔 刘冠昆 《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期20-24,共5页
利用循环伏安法和恒电位电解法研究了室温条件下在有机溶剂DMSO(二甲基亚砜)中Er-Co-Fe合金膜的电化学制备。实验结果表明:在0.1mol·L-1ErCl3-0.1mol·L-1FeCl2-0.1mol·L-1CoCl2-0.1mol·L-1LiClO4-DMSO体系中,当控... 利用循环伏安法和恒电位电解法研究了室温条件下在有机溶剂DMSO(二甲基亚砜)中Er-Co-Fe合金膜的电化学制备。实验结果表明:在0.1mol·L-1ErCl3-0.1mol·L-1FeCl2-0.1mol·L-1CoCl2-0.1mol·L-1LiClO4-DMSO体系中,当控制电位在-2.00V~-2.60V(vsSCE)范围内进行恒电位电解,可得到表面均匀、附着力强、有金属光泽的黑色非晶态Er-Co-Fe合金膜,其中铒的质量分数可达31.63%~43.15%。 展开更多
关键词 er-Co-Fe合金膜 稀土 电沉积 DMSO(二甲基亚砜)
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β-NaYF_4:Yb,Er复合丝素荧光薄膜的制备与表征 被引量:2
13
作者 祁宁 赵兵 《印染助剂》 CAS 北大核心 2017年第8期15-19,共5页
采用高温热分解法合成β-NaYF_4:Yb,Er纳米晶体,然后将丝素薄膜作为柔性基底材料与β-NaYF_4:Yb,Er复合制备了一种丝素基荧光薄膜。使用透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、X-射线衍射仪(XRD)、傅立叶红外光谱仪(FT-IR)、紫外可见... 采用高温热分解法合成β-NaYF_4:Yb,Er纳米晶体,然后将丝素薄膜作为柔性基底材料与β-NaYF_4:Yb,Er复合制备了一种丝素基荧光薄膜。使用透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)、X-射线衍射仪(XRD)、傅立叶红外光谱仪(FT-IR)、紫外可见分光光度计、荧光光谱仪对β-NaYF_4:Yb,Er和丝素基荧光薄膜进行表征。结果表明:β-NaYF_4:Yb,Er纳米晶体平均粒径35 nm,分散性良好,六方相,表面包覆油酸。β-NaYF_4:Yb,Er纳米晶体质量浓度对丝素基荧光薄膜的透光率有重要影响,随β-NaYF_4:Yb,Er质量浓度的提高,丝素基荧光薄膜的透光率不断减小。丝素基荧光薄膜在980 nm激光器激发下荧光光谱图中有3个发射峰,分别对应于Er3+离子~2H_(11/2)→~4I_(15/2)(520 nm)、~4S_(3/2)→~4I_(15/2)(540 nm)、~4F_(9/2)→~4I_(15/2)(660 nm)能级跃迁,其主要的发光机制是能量传递上转换。 展开更多
关键词 丝素 β-NaYF4:Yb er 纳米晶体 荧光 薄膜
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Er-Fe-Ni合金膜在二甲基亚砜中电化学制备的研究 被引量:1
14
作者 李高仁 童叶翔 刘冠昆 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期438-442,共5页
利用循环伏安法和恒电位电解法研究了室温条件下在LiClO4 DMSO (二甲基亚砜 )体系中Er Fe Ni合金膜的电化学制备 ,实验结果表明 :在 0 .1mol·L- 1 ErCl3 0 .1mol·L- 1 FeCl2 0 .1mol·L- 1 NiCl2 0 .1mol·L- 1 Li... 利用循环伏安法和恒电位电解法研究了室温条件下在LiClO4 DMSO (二甲基亚砜 )体系中Er Fe Ni合金膜的电化学制备 ,实验结果表明 :在 0 .1mol·L- 1 ErCl3 0 .1mol·L- 1 FeCl2 0 .1mol·L- 1 NiCl2 0 .1mol·L- 1 LiClO4 DMSO体系中 ,控制电位在 -2 .0 0V~ -2 .60V范围内进行恒电位电解 ,可得到表面均匀、附着力强、有金属光泽的黑色非晶态Er Fe Ni合金膜 ,其中稀土Er的质量百分含量可达 3 1.3 9%~ 41 63 %。 展开更多
关键词 er-Fe-Ni合金膜 稀土 电沉积 DMSO 二甲基亚砜
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Er掺杂ZnO薄膜光学特性的研究 被引量:1
15
作者 徐井华 崔舒 刘成有 《通化师范学院学报》 2011年第6期32-33,共2页
采用溶胶凝胶工艺,分别在普通载玻片和Si片上生长了不同浓度的Er掺杂ZnO薄膜,稀土Er3+与Zn2+的摩尔比分别为1%、2%、3%,所得薄膜采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计(UVS)、光致荧光光谱(PL)对样品的结构、形... 采用溶胶凝胶工艺,分别在普通载玻片和Si片上生长了不同浓度的Er掺杂ZnO薄膜,稀土Er3+与Zn2+的摩尔比分别为1%、2%、3%,所得薄膜采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计(UVS)、光致荧光光谱(PL)对样品的结构、形貌和发光进行表征.结果表明掺杂后的样品仍为六角纤锌矿结构,随着掺杂浓度提高,掺杂样品的XRD衍射峰向大角方向微移,透射边向短波方向微移,紫外发光峰的强度逐渐增强,表面均呈颗粒状且尺寸逐渐减小. 展开更多
关键词 er掺杂 ZNO薄膜 发光特性 表面形貌
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晶体结构对Er/Yb共掺TiO_2薄膜荧光光谱的影响 被引量:1
16
作者 谭娜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期249-252,共4页
通过对不同退火温度下Er/Yb共掺TiO2薄膜的结构和光致荧光光谱(PL)的分析,研究了退火处理所导致的晶体结构变化对薄膜荧光光谱的影响,探讨了薄膜的结晶状态在Er3+激活、荧光光谱形状等方面的作用及可能的物理机制。研究结果表明:退火处... 通过对不同退火温度下Er/Yb共掺TiO2薄膜的结构和光致荧光光谱(PL)的分析,研究了退火处理所导致的晶体结构变化对薄膜荧光光谱的影响,探讨了薄膜的结晶状态在Er3+激活、荧光光谱形状等方面的作用及可能的物理机制。研究结果表明:退火处理所导致的Er3+的PL的变化与薄膜的相结构之间有着密切的联系。退火温度低于700℃时的宽化谱和Er/Yb共掺TiO2薄膜的非晶结构有关,多峰结构的PL是Er3+在烧绿石相ErxYb2-xTi2O7中的典型特征。 展开更多
关键词 晶体结构 er Yb共掺 TIO2薄膜 荧光光谱
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Er:YbF_3转光薄膜的制备及衬底温度对其光学性能的影响 被引量:1
17
作者 张影 王如志 +4 位作者 王祥夫 曲铭浩 李开宇 颜晓红 严辉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期979-984,共6页
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上成功制备了具有上下转换的Er∶YbF3转光薄膜。研究发现,所制备的Er∶YbF3转光薄膜实现了上下转换两种机制的结合,能有效地把紫外光和红外光转换到非晶硅太阳能电池最佳响应范围内的656 nm处。... 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上成功制备了具有上下转换的Er∶YbF3转光薄膜。研究发现,所制备的Er∶YbF3转光薄膜实现了上下转换两种机制的结合,能有效地把紫外光和红外光转换到非晶硅太阳能电池最佳响应范围内的656 nm处。进一步分析了衬底温度对薄膜相结构及光学性能影响的物理机制。当衬底温度高于500℃时,薄膜会随着温度的升高而结晶性变强,但有杂相生成。研究结果表明,Er∶YbF3转光薄膜的光学性能在衬底温度为500℃时最佳,有望应用到非晶硅太阳能电池上使其光电效率提高。 展开更多
关键词 太阳能电池 上转换 下转换 er∶YbF3薄膜 衬底温度
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氩等离子体处理增强TiO_2∶Er/p^+-Si异质结器件的电致发光
18
作者 高志飞 朱辰 +1 位作者 马向阳 杨德仁 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期524-527,533,共5页
在我们以前的工作[1]中,报道了基于重掺硼硅片(p^+-Si)上掺Er的TiO_2(TiO_2∶Er)薄膜的TiO_2∶Er/p^+-Si异质结器件的电致发光。本文研究了TiO_2∶Er薄膜的氩(Ar)等离子体处理对TiO_2∶Er/p^+-Si异质结器件电致发光的影响。研究发现:Ar... 在我们以前的工作[1]中,报道了基于重掺硼硅片(p^+-Si)上掺Er的TiO_2(TiO_2∶Er)薄膜的TiO_2∶Er/p^+-Si异质结器件的电致发光。本文研究了TiO_2∶Er薄膜的氩(Ar)等离子体处理对TiO_2∶Er/p^+-Si异质结器件电致发光的影响。研究发现:Ar等离子体处理使TiO_2∶Er/p^+-Si异质结器件与Er3+离子相关的可见和近红外电致发光都得到了显著的增强,同时也增强了与TiO_2基体中氧空位相关的电致发光。这是由于Ar等离子体处理显著提高了TiO_2∶Er薄膜中的氧空位浓度,不但增强了与氧空位相关的电致发光,而且增强了以氧空位为敏化中心的从TiO_2基体向Er3+离子的能量传递,从而增强了Er3+离子的发光。 展开更多
关键词 电致发光 硅基器件 TiO.:er薄膜 Ar等离子体处理
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SiO_x∶Er薄膜材料光致发光特性的研究
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作者 沈海波 郭亨群 +2 位作者 徐骏 陈坤基 王启明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期877-880,938,共5页
采用射频磁控反应溅射技术,以Er2O3和Si为靶材,制备了SiOx∶Er薄膜材料,在不同温度和不同时间下进行退火处理,室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,观察到Er3+在1 530,1 542和1 555 nm处波长的发光,发现退火能明显增强Er3+的发光。研究了... 采用射频磁控反应溅射技术,以Er2O3和Si为靶材,制备了SiOx∶Er薄膜材料,在不同温度和不同时间下进行退火处理,室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,观察到Er3+在1 530,1 542和1 555 nm处波长的发光,发现退火能明显增强Er3+的发光。研究了退火温度和时间对SiOx∶Er薄膜光致发光的影响,发现Er2O3与Si面积比为1∶1时,1 100℃下20 min退火为样品的最佳退火条件。采用XRD和材料光吸收测试对样品结构和光学性质进行了研究,得到样品中Si晶粒大小为1.6 nm,样品的光学带隙为1.56 eV。对3种不同Er2O3与Si面积比的SiOx∶Er薄膜材料进行研究,得到Er2O3与Si面积比为1∶3为样品的最佳配比,对薄膜材料发光现象进行了探讨。 展开更多
关键词 射频磁控反应溅射 SiOx∶er薄膜 光致发光
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纳米Ag薄膜增强Er^(3+)/Yb^(3+)共掺Al_2O_3薄膜上转换发光特性研究
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作者 任锦华 郑明扬 沈杰 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期616-622,共7页
采用射频磁控溅射在石英基底上制备Al_2O_3:Er^(3+)/Yb^(3+)薄膜,在其表面采用直流磁控溅射沉积纳米Ag薄膜。上转换发光测试表明在491和678 nm的发射峰出现了5.8倍和5.2倍的增强。X射线衍射、原子力显微镜以及透射﹑吸收和散射光谱表明:... 采用射频磁控溅射在石英基底上制备Al_2O_3:Er^(3+)/Yb^(3+)薄膜,在其表面采用直流磁控溅射沉积纳米Ag薄膜。上转换发光测试表明在491和678 nm的发射峰出现了5.8倍和5.2倍的增强。X射线衍射、原子力显微镜以及透射﹑吸收和散射光谱表明:491 nm发射增强主要源于局域表面等离子或表面等离子与发射带的共振耦合辐射机制,而678 nm发射增强主要源于纳米Ag膜对荧光的LSP散射机制。 展开更多
关键词 Ag薄膜 er^3+/Yb^3+共掺Al2O3薄膜 磁控溅射 上转换发光
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