针对膜片式水听器灵敏度和抗净水压能力无法兼得的问题,提出了一种基于银膜片的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)光纤法布里-珀罗(F-P)水听器,并对其进行了制作和测试。使用基于牺牲层的膜片工艺制作银膜片作为声压敏...针对膜片式水听器灵敏度和抗净水压能力无法兼得的问题,提出了一种基于银膜片的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)光纤法布里-珀罗(F-P)水听器,并对其进行了制作和测试。使用基于牺牲层的膜片工艺制作银膜片作为声压敏感单元,利用空气作为F-P腔内的材料,提升了MEMS光纤F-P水听器的声压灵敏度。对所制备的MEMS光纤F-P水听器的性能进行了测试和分析。结果表明,该光纤F-P水听器在80~800 Hz范围内相位灵敏度在-157±3 dB re 1rad/μPa范围内,400 Hz处的动态范围为56.21 dB。该水听器具有结构简单、灵敏度高等优势。展开更多
文摘针对膜片式水听器灵敏度和抗净水压能力无法兼得的问题,提出了一种基于银膜片的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)光纤法布里-珀罗(F-P)水听器,并对其进行了制作和测试。使用基于牺牲层的膜片工艺制作银膜片作为声压敏感单元,利用空气作为F-P腔内的材料,提升了MEMS光纤F-P水听器的声压灵敏度。对所制备的MEMS光纤F-P水听器的性能进行了测试和分析。结果表明,该光纤F-P水听器在80~800 Hz范围内相位灵敏度在-157±3 dB re 1rad/μPa范围内,400 Hz处的动态范围为56.21 dB。该水听器具有结构简单、灵敏度高等优势。