湿法刻蚀FI CD均一性的影响因素及提高刻蚀均一性的研究

随着高分辨率产品导入,TFT-LCD阵列段各项参数范围越来越小,工艺要求更为严格,为了更好地管控湿法刻蚀各项参数,本文以湿法刻蚀FI CD(Final Inspection Critical Dimension)均一性的影响因素及如何提高FI CD均一性为目的进行研究。首先,通过对湿法刻蚀设备参数(主要包括刻蚀液温度、流量、压力、浓度、Nozzle Sliding、Oscillation Speed、刻蚀时间等)进行试验,验证各项参数对FI CD均一性的影响。其次,对沉积工序、曝光工序以及产品设计等进行试验,获悉影响因素并进行改善。通过对湿法刻蚀设备自身参数的调整,如减少设备温度、流量、压力波动,使参数保持相对稳定状态,可有效改善湿法刻蚀FI CD均一性,FI CD的均一性可从1.0降低至0.5。通过对湿法刻蚀设备参数进行试验并做相应调整,湿法刻蚀FI CD均一性改善效果显著。

基于β-CD@AuNPs结合乳酸的汗潜指印可视化研究

目的采用简单、便捷的方法制备β-CD@AuNPs并将其应用于汗潜指印中乳酸的检验。方法以HS-β-环糊精(HS-β-CD)为还原剂,通过微波加热方式制备β-CD@AuNPs。基于β-CD@AuNPs对汗潜指印中乳酸的主客体识别产生溶液颜色变化的原理,并使用数据处理软件对溶液颜色进行HSV数据化处理,从而实现汗潜指印中乳酸的可视化检测。结果β-CD@AuNPs对乳酸产生的颜色变化与乳酸的量存在数量关系,对新鲜和陈旧汗潜指印具有分辨能力。结论本文所建立的方法实现了对汗潜指印二维形态以及成分信息的同步可视化诊断。

β-环糊精键合固定相分离纯化银杏叶提取物和银杏黄酮

目的 考察以β-环糊精(β-CD)为键合固定相的色谱柱分离纯化银杏叶提取物和银杏黄酮的影响因素。方法 以色谱图中色谱峰的个数和目标物为离度为指标,采用低压液相色谱技术对银杏叶提取物和银杏黄酮进行分离纯化。同时比较固定相、流动相、缓冲液、pH值、洗脱速度和上样体积对分离结果的影响。结果 氯代环氧丙烷偶联β-CD-Superose 12 pg键合相能够较好地分离银杏叶提取物和银杏黄酮,优于葡聚糖凝胶Sephardex LH-20。结论 β-环糊精键合固定相适用于银杏叶提取物和银杏黄酮的分离与纯化。