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Femtosecond laser-induced microstructure in Foturan glass
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作者 孙海轶 骆芳芳 +2 位作者 何飞 廖洋 徐剑 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第5期332-336,共5页
We report on the microstructure formation in Foturan glass, induced by 1 kHz, 120 femtosecond laser irradiation. It is found that the line-shaped filamentation, not void array tends to be formed in this glass. This is... We report on the microstructure formation in Foturan glass, induced by 1 kHz, 120 femtosecond laser irradiation. It is found that the line-shaped filamentation, not void array tends to be formed in this glass. This is different from our previous experimental results in fused silica and BK7 glasses. A possible mechanism Ag+ captures the free electrons generated by laser, is proposed to explain the observed phenomena. 展开更多
关键词 femtosecond laser line-shaped filamentation foturan glass mechanism
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飞秒激光在光敏玻璃内制作微孔 被引量:3
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作者 巫殷忠 王清月 +2 位作者 贾威 胡明列 柴路 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1293-1296,共4页
用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃(FOTURAN)内部,通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面,并结合热处理和在浓度8%的氢氟酸超声溶液中腐蚀50min,在FOTURAN内部制作了直径为几十μm的微孔.利用光学和扫描电子... 用20倍显微物镜将波长为775nm的飞秒激光聚焦在光敏玻璃(FOTURAN)内部,通过纵向写制模式由表面以下500μm曝光至表面,并结合热处理和在浓度8%的氢氟酸超声溶液中腐蚀50min,在FOTURAN内部制作了直径为几十μm的微孔.利用光学和扫描电子显微镜分析发现微孔具有圆形横截面和清晰边缘,目前得到的深宽比大约为7.通过在宽范围内改变入射激光能流(2.3~36.2J/cm2)和写制速度(100~1000μm/s),研究了这两项飞秒激光入射参量对制作微孔的影响.发现写制速度对制作微孔直径影响较小,而利用相对低的入射激光能流曝光可得到较大深宽比的微孔,并且在此情形下制作微孔的横截面更圆,璧面光滑度更高,并分析了原因. 展开更多
关键词 飞秒激光 微制作 微孔 foturan玻璃 光敏玻璃
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飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面
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作者 巫殷忠 王清月 +2 位作者 贾威 胡明列 柴路 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1597-1601,共5页
利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边... 利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边缘,直径约为几十微米.通过分别改变入射激光的单脉冲能量(970~3250nJ)和脉冲数目(10~3000个),研究了它们对微凹面制作结果的影响,发现了微凹面的直径随激光入射参量的饱和效应,并解释了其原因;指出了飞秒激光在FOTURAN上制作微结构的应用. 展开更多
关键词 飞秒激光 微凹面 微细加工 foturan玻璃 光敏玻璃
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