强制脉冲CVI沉积C纤维表面涂层的工艺研究

以MTS/H_2为前驱物,采用强制脉冲CVI(FP-CVI)方法,进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究,并探讨了其工艺过程．结果表明,在1000～1100℃和(5～25)kPa,沉积得到的β-SiC具有明显的(111)面取向,涂层均匀一致,厚度可控．在实验过程中,随着单次驻留时间和脉冲次数的增加,涂层厚度也随之增加,涂层厚度与脉冲次数成非线性关系．当脉冲次数为300时,C纤维表面沉积SiC层后其质量增加达到36．18％．