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A Fast Tool Servo System for Fabrication of Micro-structured Surfaces on A Diamond Turning Machine
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作者 王晓慧 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2009年第S1期111-114,共4页
A fast tool servo (FTS) system is developed for the fabrication of non-rotationally symmetric micro-structured surfaces using single-point diamond turning machines.The constructed FTS employs a piezoelectric tube actu... A fast tool servo (FTS) system is developed for the fabrication of non-rotationally symmetric micro-structured surfaces using single-point diamond turning machines.The constructed FTS employs a piezoelectric tube actuator (PZT) to actuate the diamond tool and a capacitive probe as the feedback sensor.To compensate the inherent nonlinear hysteresis behavior of the piezoelectric actuator,Proportional Integral (PI) feedback control is implemented.Besides,a feed-forward control based on a simple feed-forward predictor has been added to achieve better tracking performance.Experimental results indicate that error motions in the performance of the system caused by hysteresis can be reduced greatly and the micro-structured surface is successfully fabricated by implementing the FTS. 展开更多
关键词 single-point diamond turning fast tool servo piezoelectric actuator feed-forward control
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一种注入增强型快速SOI-LIGBT新结构研究
2
作者 黄磊 李健根 +2 位作者 陆泽灼 俞齐声 陈文锁 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第2期277-281,共5页
薄顶层硅SOI(Silicon on Insulator)横向绝缘栅双极型晶体管(Lateral Insulated-Gate Bipolar Transistor, LIGBT)的正向饱和电压较高,引入旨在减小关断态拖尾电流的集电极短路结构后,正向饱和电压进一步增大。提出了一种注入增强型(Inj... 薄顶层硅SOI(Silicon on Insulator)横向绝缘栅双极型晶体管(Lateral Insulated-Gate Bipolar Transistor, LIGBT)的正向饱和电压较高,引入旨在减小关断态拖尾电流的集电极短路结构后,正向饱和电压进一步增大。提出了一种注入增强型(Injection Enhancement, IE)快速LIGBT新结构器件(F-IE-LIGBT),并对其工作机理进行了理论分析和模拟仿真验证。该新结构F-IE-LIGBT器件整体构建在薄顶层硅SOI衬底材料上,其集电极采用注入增强结构和电势控制结构设计。器件及电路联合模拟仿真说明:新结构F-IE-LIGBT器件在获得较小正向饱和电压的同时,减小了关断拖尾电流,实现了快速关断特性。新结构F-IE-LIGBT器件非常适用于SOI基高压功率集成电路。 展开更多
关键词 SOI 横向绝缘栅双极型晶体管 快速关断 拖尾电流 正向饱和电压
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具有负压关断的MOSFET栅极快速驱动电路设计
3
作者 殷亚昆 段章超 +2 位作者 王永刚 姜松 李孜 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期124-130,共7页
设计了一款用于全固态Marx发生器的半导体开关驱动电路。该驱动电路输出侧采用储能电容与P-N双MOSFET管结构,可完成对固态Marx脉冲发生器功率回路开关管快速同步的导通关断控制,并具有死区时间调节与负压关断功能。此外,该驱动电路配合... 设计了一款用于全固态Marx发生器的半导体开关驱动电路。该驱动电路输出侧采用储能电容与P-N双MOSFET管结构,可完成对固态Marx脉冲发生器功率回路开关管快速同步的导通关断控制,并具有死区时间调节与负压关断功能。此外,该驱动电路配合串芯磁环二次侧反向接线方案,可实现用同一信号对功率回路充、放电两路开关管的控制。实验证明,采用该款驱动电路的半桥型全固态Marx脉冲发生器可稳定输出幅值24 kV的脉冲方波,输出脉宽可在300 ns~10μs之间自由调节,上升沿和下降沿均在40 ns以内。 展开更多
关键词 固态Marx驱动电路 负压偏置 快速导通 纳秒脉冲
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矿用孔中瞬变电磁仪的研制
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作者 向潇桐 李宏杰 +1 位作者 叶锦娇 邱浩 《煤矿安全》 CAS 北大核心 2024年第5期235-242,共8页
针对传统矿井瞬变电磁仪易受井下人文干扰因素的影响,设计了一种矿用孔中瞬变电磁仪;仪器的发射部分主要由电桥电路、消隐电路组成;为缩短关断时间,源栅之间的稳压二极管和发射线圈两侧吸收消隐电路构成快速关断电路系统,快速释放射线... 针对传统矿井瞬变电磁仪易受井下人文干扰因素的影响,设计了一种矿用孔中瞬变电磁仪;仪器的发射部分主要由电桥电路、消隐电路组成;为缩短关断时间,源栅之间的稳压二极管和发射线圈两侧吸收消隐电路构成快速关断电路系统,快速释放射线圈中的能量,削弱电感效应;接收部分具备全空间信号采集能力,通过自调节二次场信号的增益倍数,使设备动态范围满足需求。试验表明:该仪器具备探查钻孔径向含水异常体的能力,由于装置位于孔中,距探测目标体近,易获得信噪比高的二次场信号,并避免了巷道人文干扰因素的影响,提高了探测精度。 展开更多
关键词 矿井水害 孔中瞬变电磁仪 快速关断 多通道采集 吸收消隐电路 FPGA
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导弹大离轴角发射导引律优化设计
5
作者 李瑞康 陈淼 钟永建 《航天控制》 CSCD 2024年第1期58-64,共7页
对中远距空空导弹大离轴角发射导引规律进行了研究。导弹在转弯阶段采用BTT控制模式,分析了实现快速转弯的机理及要求,研究了实现快速转弯的最佳升力面,确定了导弹滚转控制指令,建立了导弹转弯动力学模型,利用剩余转弯角度关系,设计攻... 对中远距空空导弹大离轴角发射导引规律进行了研究。导弹在转弯阶段采用BTT控制模式,分析了实现快速转弯的机理及要求,研究了实现快速转弯的最佳升力面,确定了导弹滚转控制指令,建立了导弹转弯动力学模型,利用剩余转弯角度关系,设计攻角控制指令;提出旋转坐标系方法对滚转控制指令进行了优化,解决了指令跳变问题,实现了转弯过程最小滚转偏差控制,利用最佳升力面法向矢量投影关系,进一步判定攻角指令控制逻辑,实现与最小滚转偏差控制指令的匹配。最后通过数字仿真验证了设计方法的正确性和有效性。 展开更多
关键词 中远距空空导弹 大离轴角发射 导引律设计 快速转弯
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影响快速晶闸管关断时间的因素分析
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作者 茹梦歌 彭振东 +1 位作者 杨晨光 沙新乐 《船电技术》 2024年第5期57-61,共5页
为得到脉冲大电流工况下不同影响因素对晶闸管关断时间的影响程度,从而优化混合式断路器强迫换流参数的设计,本文基于应用于混合式断路器中的快速晶闸管,搭建试验回路,建立脉冲大电流试验环境,探究晶闸管关断电流峰值、关断电流变化率... 为得到脉冲大电流工况下不同影响因素对晶闸管关断时间的影响程度,从而优化混合式断路器强迫换流参数的设计,本文基于应用于混合式断路器中的快速晶闸管,搭建试验回路,建立脉冲大电流试验环境,探究晶闸管关断电流峰值、关断电流变化率以及反向电压对快速晶闸管关断时间的影响。 展开更多
关键词 快速晶闸管 关断时间 PN结-载流子
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Diamond machining of sinusoidal grid surface using fast tool servo system for fabrication of hydrophobic surface
7
作者 Hong LU Deug-Woo LEE +1 位作者 Sang-Min LEE Jeong-Woo PARK 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2012年第S3期787-792,共6页
Ultra-precision diamond machining with piezoelectric-assisted fast tool servo (FTS) was used to produce various free-form surfaces.A low cost,rapid and large area fabrication of uniform hydrophobic surface at room tem... Ultra-precision diamond machining with piezoelectric-assisted fast tool servo (FTS) was used to produce various free-form surfaces.A low cost,rapid and large area fabrication of uniform hydrophobic surface at room temperature which transfers the FTS fabricated sinusoidal grid surface to the flat film with UV-moulding process was described.A piezoelectric-assisted FTS with high band width of 2 kHz,travel range up to 16 μm and the compact mechanism structure was designed for the sinusoidal grid surface machining and the dynamic performance testing of FTS was described in detail.Machining results indicate that the dimensions of sinusoidal grid change with the variation of the FTS machining condition.Wetting properties of UV-moulded surface were evaluated,the best contact angle was measured to be 120.5° on the sinusoidal grid surface with profile wavelength of 350 μm and peak-to-valley amplitude of about 16 μm. 展开更多
关键词 fast tool SERVO SYSTEM DIAMOND turning sinusoidal GRID SURFACE UV-moulding contact angle
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大佛寺煤矿快掘设备拐弯掘进切眼的设备配套及施工技术应用研究 被引量:1
8
作者 王李平 吴旋 《中国高新科技》 2023年第14期133-135,共3页
随着我国工业的快速发展,对于机械采煤技术的要求也越来越高,煤炭开采技术需要不断创新。对巷道掘进来说,快速掘进技术及设备的应用对煤矿的经济效益具有直接影响,快速掘进技术替代综合机械化掘进是大势所趋。文章以大佛寺矿为例,对快... 随着我国工业的快速发展,对于机械采煤技术的要求也越来越高,煤炭开采技术需要不断创新。对巷道掘进来说,快速掘进技术及设备的应用对煤矿的经济效益具有直接影响,快速掘进技术替代综合机械化掘进是大势所趋。文章以大佛寺矿为例,对快掘设备在拐切眼施工过程中的应用进行研究。 展开更多
关键词 快速掘进 拐切眼 机电设备配套 运输系统
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恒压钳位高速关断瞬变电磁发射系统 被引量:19
9
作者 赵海涛 刘丽华 +2 位作者 吴凯 张建国 方广有 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期803-808,共6页
瞬变电磁发射机是瞬变电磁探测设备中的重要组成部分,在大功率电流陡脉冲发射、高精度同步控制、下降沿线性度、短关断时间和关断时间测量等方面,有许多亟待解决的问题。提出了一种瞬变电磁发射系统,DSP和FPGA协同工作为系统提供可靠的... 瞬变电磁发射机是瞬变电磁探测设备中的重要组成部分,在大功率电流陡脉冲发射、高精度同步控制、下降沿线性度、短关断时间和关断时间测量等方面,有许多亟待解决的问题。提出了一种瞬变电磁发射系统,DSP和FPGA协同工作为系统提供可靠的驱动信号和保护措施;提出了恒压钳位电路,配合合适的阻尼吸收电路,具有关断时间短、电流下降沿线性度高和发射电流大的特点,并可提升脉冲电流前沿上升速度;提出了新颖的关断时间测量电路,测量准确简单;设计了GPS同步控制器,采用GPS与温补晶振协同工作的方式,解决了GPS短时失效的问题,提高了系统的可靠性。对发射系统做了野外实验,测试表明,系统发射电流大、电流下降沿线性度高、关断时间测量准确、同步方式精确可靠。 展开更多
关键词 瞬变电磁 恒压钳位 高速关断 线性度 GPS
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WTEM高速关断瞬变电磁探测系统 被引量:20
10
作者 付志红 赵俊丽 +2 位作者 周雒维 罗强 苏向丰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期933-936,共4页
瞬变电磁测量系统是一种用于地质结构探测的地球物理探测设备,在大功率电流陡脉冲发射、高精度同步控制、大动态范围信号采集等方面,尚有许多亟待解决的问题。本文提出了一种瞬变电磁测量系统,提出了恒压钳位高速关断电路,具有关断延时... 瞬变电磁测量系统是一种用于地质结构探测的地球物理探测设备,在大功率电流陡脉冲发射、高精度同步控制、大动态范围信号采集等方面,尚有许多亟待解决的问题。本文提出了一种瞬变电磁测量系统,提出了恒压钳位高速关断电路,具有关断延时短、电流下降沿线性度高和发射电流大的特点,并加速了电流的上升,改善了一次场质量;采用蓝牙技术,实现了对接收机的无线操控,改善了系统操控性能;设计了GPS同步控制器,采用温补晶振与GPS协同工作的方式,解决了GPS短时间失效的问题。在山东输油管道腐蚀探测工程中,WTEM系统做了野外和室内实验,测试表明,WTEM系统轻便、操作容易,退饱和的速度也较快,反映浅层地质信息的能力强。 展开更多
关键词 瞬变电磁法 同步控制 GPS 蓝牙 接收机 高速关断
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垂直发射快速转弯气动力/推力矢量控制研究 被引量:12
11
作者 闫循良 陈士橹 +1 位作者 王志刚 徐敏 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期57-60,共4页
研究战术导弹垂直发射快速转弯复合控制技术。针对气动力/推力矢量复合控制技术,提出了战术导弹垂直发射程序转弯方案;建立了导弹的气动力/推力矢量复合控制数学模型;通过设计线性组合的舵复合策略,将系统由多输入-单输出,转变为单入-... 研究战术导弹垂直发射快速转弯复合控制技术。针对气动力/推力矢量复合控制技术,提出了战术导弹垂直发射程序转弯方案;建立了导弹的气动力/推力矢量复合控制数学模型;通过设计线性组合的舵复合策略,将系统由多输入-单输出,转变为单入-单出系统;设计了复合控制回路并进行了回路分析,纵向回路频域特性分析表明,系统具有良好的鲁棒性和动态特性;最后通过弹道的六自由度仿真,验证了所设计的复合控制策略的可行性。 展开更多
关键词 战术导弹 垂直发射 快速转弯 气动力/推力矢量控制
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垂直发射转弯复合控制分配策略研究 被引量:7
12
作者 闫循良 徐敏 +1 位作者 陈士橹 安效民 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第24期7878-7882,共5页
研究战术导弹垂直发射快速转弯复合控制分配策略。针对气动力与推力矢量复合控制技术,提出了战术导弹垂直发射程序转弯方案;建立了导弹复合控制数学模型,设计了复合控制回路;提出了三种复合控制分配策略:常比例系数线性分配策略、角误... 研究战术导弹垂直发射快速转弯复合控制分配策略。针对气动力与推力矢量复合控制技术,提出了战术导弹垂直发射程序转弯方案;建立了导弹复合控制数学模型,设计了复合控制回路;提出了三种复合控制分配策略:常比例系数线性分配策略、角误差的非线性函数分配策略和最小控制能量分配策略。纵向回路频域特性分析表明,系统具有良好的鲁棒性;通过弹道的六自由度仿真,验证了复合控制策略的可行性,给出了三种复合控制分配策略的特性比较分析结果。 展开更多
关键词 战术导弹 垂直发射 快速转弯 复合控制 分配策略
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鱼形机器人快速转向的运动特性研究 被引量:4
13
作者 陈宏 竺长安 +1 位作者 尹协振 邢晓正 《应用力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期229-234,共6页
基于C形转向的仿生学研究和简化物理模型,建立了鱼形机器人快速转向的运动学方程,分析体干中线运动步态和鱼体质心的运动规律。计算了转动惯量、驱动力矩和阻力矩,建立C形转向的动力学模型。通过前摆转向的多步态仿真游动实验,解析鱼体... 基于C形转向的仿生学研究和简化物理模型,建立了鱼形机器人快速转向的运动学方程,分析体干中线运动步态和鱼体质心的运动规律。计算了转动惯量、驱动力矩和阻力矩,建立C形转向的动力学模型。通过前摆转向的多步态仿真游动实验,解析鱼体柔性段弧长和相对弯曲度对质心轨迹、转动惯量、力矩、转动角位移和最大转动角速度的影响,提出了有效提高鱼形机器人快速转向性能的方法。 展开更多
关键词 C形转向 鱼形机器人 运动学方程 动力学模型 快速转向性能
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一种新型瞬变电磁仪发射电路设计 被引量:3
14
作者 徐亚昆 李国才 +1 位作者 赵振廷 连崑 《工矿自动化》 北大核心 2014年第7期28-31,共4页
为提高瞬变电磁仪测量的准确度,设计了基于FPGA的瞬变电磁仪发射电路。该电路采用EXB841模块设计驱动电路,实现对H桥路上下臂MOSFET的有效驱动;利用改进的H桥路设计及改变传统桥路的控制策略,实现对MOSFET的超短时间关断;采用RCD吸收保... 为提高瞬变电磁仪测量的准确度,设计了基于FPGA的瞬变电磁仪发射电路。该电路采用EXB841模块设计驱动电路,实现对H桥路上下臂MOSFET的有效驱动;利用改进的H桥路设计及改变传统桥路的控制策略,实现对MOSFET的超短时间关断;采用RCD吸收保护电路降低尖峰电压干扰,改善发射电路输出波形。试验结果表明,该发射电路的发射信号过压仅为正常信号的1.33倍,振荡时间为500ns,下降沿时间为700ns,实现了发射电流的快速关断,且稳定性好。 展开更多
关键词 瞬变电磁发射机 发射电路 FPGA 快速关断
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鱼形机器人C形转向的运动特性研究 被引量:2
15
作者 陈宏 竺长安 +1 位作者 尹协振 邢晓正 《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期375-381,共7页
基于C形转向的仿生学研究和简化物理模型,建立了鱼形机器人快速转向的运动学方程,分析了体干中线运动步态和鱼体质心的运动规律。计算了鱼形机器人的转动惯量、驱动力矩和阻力矩,建立了C形转向的动力学模型。通过前摆转向的多步态仿真... 基于C形转向的仿生学研究和简化物理模型,建立了鱼形机器人快速转向的运动学方程,分析了体干中线运动步态和鱼体质心的运动规律。计算了鱼形机器人的转动惯量、驱动力矩和阻力矩,建立了C形转向的动力学模型。通过前摆转向的多步态仿真游动实验,解析了鱼体柔性段弧长和相对弯曲度对质心轨迹、转动惯量、力矩、转动角位移及最大转动角速度的影响,提出了有效提高鱼形机器人快速转向性能的方法。 展开更多
关键词 C形转向 鱼形机器人 运动学方程 动力学模型 快速转向性能
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仿生机器鱼S形起动的控制与实现 被引量:16
16
作者 吴正兴 喻俊志 +1 位作者 苏宗帅 谭民 《自动化学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第11期1914-1922,共9页
给出一种仿生机器鱼S形起动的控制方法.结合北美狗鱼S形起动的形态特征及水动力学知识,建立了多关节链式结构仿生机器鱼的S形起动模型.整个过程设计为两个阶段:1)弯曲阶段:以转向速度最大化为目标.在鱼体S形变保证重心稳定平移的前提下... 给出一种仿生机器鱼S形起动的控制方法.结合北美狗鱼S形起动的形态特征及水动力学知识,建立了多关节链式结构仿生机器鱼的S形起动模型.整个过程设计为两个阶段:1)弯曲阶段:以转向速度最大化为目标.在鱼体S形变保证重心稳定平移的前提下,增大较长转向力臂处的转向力矩,提高转向速度,使鱼体迅速转向目标方向.2)伸展阶段:以增大前推力为目标.始终保持部分将要伸展的鱼体垂直前进方向,以L形滑动方式打开鱼体.同时,为保证转向精度,采用模糊控制调节已展开鱼体关节的小角度转动,实时纠正鱼体展开所引起的游动方向偏离.在S形起动末期,采用变幅值–频率的中枢模式发生器(Central pattern generator,CPG)实现向稳态游动方式的过渡:前期为保证游动方向及获取较大推进力,采用小幅值–高频率的CPG信号,后期则进入大幅值–低频率的稳态游动.最终,采用四关节仿生机器鱼验证了该方法的有效性,实现了峰值转速为318.08±9.20/s、转向误差为1.03±0.48的较好结果,对提升水下游动机器人的机动性能具有指导意义. 展开更多
关键词 仿生机器鱼 快速起动 S形起动 转向运动
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垂直发射导弹Terminal滑模姿态控制系统设计 被引量:2
17
作者 李大鹏 胡云安 何金新 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2009年第6期9-11,16,共4页
为了降低垂直发射导弹转弯段姿态方程的复杂程度,运用精确反馈线性化方法,将姿态通道线性化解耦成三个单输入单输出系统。而且垂直发射导弹的转弯需要快速完成,因而对每个通道分别设计全局快速Terminal变结构控制器,该控制器能够保证系... 为了降低垂直发射导弹转弯段姿态方程的复杂程度,运用精确反馈线性化方法,将姿态通道线性化解耦成三个单输入单输出系统。而且垂直发射导弹的转弯需要快速完成,因而对每个通道分别设计全局快速Terminal变结构控制器,该控制器能够保证系统在要求的时间内收敛至平衡点,即能够实现快速转弯。通过数字仿真验证了方法的有效性。 展开更多
关键词 垂直发射导弹 快速转弯姿态控制 反馈线性化 滑模变结构控制
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数字束流位置信号处理算法优化 被引量:10
18
作者 赖龙伟 冷用斌 +2 位作者 易星 阎映炳 陈之初 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期109-113,共5页
在已有束流位置信号下变频算法的设计与实现的基础上,优化了算法时序,设计实现了数字自动增益控制、慢应用信号处理等模块功能,能获得逐圈、快应用及闭轨数据。上海光源储存环上的束流测试结果显示,处理器可正确获取包含束流真实运动的... 在已有束流位置信号下变频算法的设计与实现的基础上,优化了算法时序,设计实现了数字自动增益控制、慢应用信号处理等模块功能,能获得逐圈、快应用及闭轨数据。上海光源储存环上的束流测试结果显示,处理器可正确获取包含束流真实运动的多速率位置数据。在174mA储存环流强、500个束团的填充模式时,逐圈位置数据分辨力达到0.84μm,快应用位置数据分辨力达到0.44μm,闭轨位置数据分辨力达到0.23μm,性能满足设计要求。 展开更多
关键词 数字束流位置测量 束流位置信号处理 逐圈 快应用 闭轨
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战术导弹垂直发射快速转弯复合控制研究 被引量:3
19
作者 刘满国 张科 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2013年第8期32-35,82,共5页
战术导弹垂直发射的关键技术之一是实现快速转弯,研究了垂直发射快速转弯复合控制技术。针对空气舵/扰流片推力矢量复合控制技术,提出了战术导弹垂直发射初段程序转弯方案;建立了导弹的空气舵/扰流片推力矢量复合控制数学模型;通过设计... 战术导弹垂直发射的关键技术之一是实现快速转弯,研究了垂直发射快速转弯复合控制技术。针对空气舵/扰流片推力矢量复合控制技术,提出了战术导弹垂直发射初段程序转弯方案;建立了导弹的空气舵/扰流片推力矢量复合控制数学模型;通过设计线性组合的舵复合控制策略,将系统由多输入-单输出,转变为单入-单出系统,推导了复合控制弹体的传递函数,设计了复合控制回路,并利用频域分析方法进行了回路分析,纵向通道频域特性分析表明,系统具有良好的鲁棒性和动态品质;最后通过弹道的六自由度仿真,结果验证了所设计的复合控制策略的可行性。 展开更多
关键词 战术导弹 垂直发射 快速转弯 空气舵 扰流片推力矢量 复合控制合策略
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双柔性支撑板快速伺服刀架优化设计及测试 被引量:6
20
作者 周京博 孙涛 侯国安 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期349-355,共7页
设计了一种基于双柔性支承板的快速伺服刀架用于金刚石车削加工非回转对称微结构表面,并对其性能进行了测试。根据约束条件推导了刀架柔性支承板的刚度解析表达式,同时给出了柔性板上最大Von Mises应力的计算公式。根据快速伺服刀架设... 设计了一种基于双柔性支承板的快速伺服刀架用于金刚石车削加工非回转对称微结构表面,并对其性能进行了测试。根据约束条件推导了刀架柔性支承板的刚度解析表达式,同时给出了柔性板上最大Von Mises应力的计算公式。根据快速伺服刀架设计指标,优化了柔性支承板的结构参数,并根据上述结构参数,加工得到了快速伺服刀架。最后,搭建了快速伺服刀架控制系统,测试了它的静态及动态特性。测试结果表明,设计的快速伺服刀架的刚度为53N/μm,最小运动分辨率为3nm,工作行程可达20μm。另外,它的稳态跟踪误差小于4nm,开环带宽为2kHz,一阶固有频率可达3kHz。测试结果不仅验证了所述设计方法的正确性,也表明采用双柔性支承板结构是设计高刚度、高精度微位移机构的一种有效方法。 展开更多
关键词 金刚石车削 快速伺服刀架 柔性支撑板 刚度 Von Mises应力 静态性能 动态性能
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