期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
硼掺杂对钛基金刚石薄膜附着力的影响
被引量：
3
1
作者
魏俊俊
贺琦
+1 位作者
高旭辉
吕反修
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期140-143,共4页
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在钛基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,并对掺杂前后的薄膜形貌及结构进行了检测。结果表明掺杂元素对形貌和结构有很大的影响,同时掺杂后薄膜与基底附着力有所下降。掠角衍射(GIXD)检测表明,中间层...
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在钛基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,并对掺杂前后的薄膜形貌及结构进行了检测。结果表明掺杂元素对形貌和结构有很大的影响,同时掺杂后薄膜与基底附着力有所下降。掠角衍射(GIXD)检测表明,中间层的主要成分是TiC和TiH2。随着硼的加入,两者的含量增加。薄膜与基底的附着力下降的原因主要是受中间过渡层成分和残余应力增加的共同影响。
展开更多
关键词
金刚石薄膜
掠角衍射(
gixd
)
掺硼
附着力
CVD
下载PDF
职称材料
梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究
被引量：
3
2
作者
漆璿
王张敏
+2 位作者
李戈扬
李鹏兴
吴人洁
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第5期193-197,共5页
用平行光束掠射法（ＧＩＸＤ）测定了磁控溅射ＴｉＣ（Ａｌ基体）膜中的残余应力，比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响．
关键词
残余应力
薄膜
掠射法
碳化钛
梯度过渡层
gixd
下载PDF
职称材料
题名
硼掺杂对钛基金刚石薄膜附着力的影响
被引量：
3
1
作者
魏俊俊
贺琦
高旭辉
吕反修
机构
北京科技大学材料科学与工程学院
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期140-143,共4页
文摘
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在钛基片上沉积了掺硼金刚石薄膜,并对掺杂前后的薄膜形貌及结构进行了检测。结果表明掺杂元素对形貌和结构有很大的影响,同时掺杂后薄膜与基底附着力有所下降。掠角衍射(GIXD)检测表明,中间层的主要成分是TiC和TiH2。随着硼的加入,两者的含量增加。薄膜与基底的附着力下降的原因主要是受中间过渡层成分和残余应力增加的共同影响。
关键词
金刚石薄膜
掠角衍射(
gixd
)
掺硼
附着力
CVD
Keywords
diamond films
gixd
boron doped
adhesion
CVD
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究
被引量：
3
2
作者
漆璿
王张敏
李戈扬
李鹏兴
吴人洁
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第5期193-197,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
用平行光束掠射法（ＧＩＸＤ）测定了磁控溅射ＴｉＣ（Ａｌ基体）膜中的残余应力，比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响．
关键词
残余应力
薄膜
掠射法
碳化钛
梯度过渡层
gixd
Keywords
residual stress, thin film, grazing X-ray diffraction(GXRD)
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硼掺杂对钛基金刚石薄膜附着力的影响
魏俊俊
贺琦
高旭辉
吕反修
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
下载PDF
职称材料
2
梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究
漆璿
王张敏
李戈扬
李鹏兴
吴人洁
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
