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Ge/SiO_2和Ge/ZnO/SiO_2薄膜的磁控溅射制备及电学性能 被引量:1
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作者 余乐 刘劲松 +7 位作者 李子全 陈建康 何明霞 彭洁 曹安 刘建宁 蒋维娜 万龙 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期103-105,共3页
采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团... 采用射频磁控溅射方法以石英玻璃为衬底分别沉积制备出了Ge/SiO2和Ge/ZnO/SiO2薄膜。X射线衍射表明薄膜展示了明显的ZnO衍射峰和较弱的Ge衍射峰;傅里叶变换红外光谱曲线证明薄膜均具有各自的特征吸收峰;扫描电镜结果显示薄膜为颗粒状团簇结构,并且加入ZnO中间层可以有效的改善Ge层的质量。同时,对所得薄膜材料的电流-电压性能进行了研究,结果发现,Ge/SiO2薄膜的I-V曲线拟合后为斜线,相当于电阻;ZnO/SiO2薄膜为直线,可以认为是绝缘体;Ge/ZnO/SiO2薄膜在-10~10V之间电流电压呈线性关系,其电阻比Ge/SiO2薄膜小,当电压值超过15V之后,电流急剧增加而迅速使薄膜击穿,薄膜导通。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 ge/sio2薄膜 ge/zno/sio2薄膜 电流-电压性能
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新的溶胶-凝胶法制备Ge/SiO_2量子点玻璃 被引量:3
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作者 杨合情 刘守信 +3 位作者 张邦劳 王喧 张良莹 姚熹 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第10期1707-1710,共4页
以 3-三氯锗丙酸和正硅酸乙酯为原料 ,通过水解、缩聚凝胶热处理及氢气反应 ,在 Si O2 凝胶玻璃中析出立方相 Ge纳米晶 ,当 x=30时 ,凝胶玻璃中除了析出立方相 Ge纳米晶外 ,还析出六方相 Ge O2 .利用XRD测试了 Ge纳米晶的大小 ,发现随... 以 3-三氯锗丙酸和正硅酸乙酯为原料 ,通过水解、缩聚凝胶热处理及氢气反应 ,在 Si O2 凝胶玻璃中析出立方相 Ge纳米晶 ,当 x=30时 ,凝胶玻璃中除了析出立方相 Ge纳米晶外 ,还析出六方相 Ge O2 .利用XRD测试了 Ge纳米晶的大小 ,发现随着掺杂量的增加 ,纳米颗粒粒径从 1 nm增大到 1 0 nm.电子衍射表明镶嵌在 Si O2 凝胶玻璃中的 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 ge纳米晶 sio2玻璃 铈/二氧化硅纳米复合材料 量子点玻璃
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SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源 被引量:3
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作者 沈今楷 吴兴龙 +3 位作者 袁仁宽 谭超 邓树胜 鲍希茂 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期339-342,共4页
我们借助傅立叶变换红外光谱(FT-IR)以及光致激发谱(PLE),研究了 SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源。谱分析表明,该红外光发射并非起源于纳米锗、硅的量子限制效应以及锗、硅的中性氧空位... 我们借助傅立叶变换红外光谱(FT-IR)以及光致激发谱(PLE),研究了 SiO_2/Ge:SiO_2/SiO_2夹层结构红外光发射的起源。谱分析表明,该红外光发射并非起源于纳米锗、硅的量子限制效应以及锗、硅的中性氧空位,而与锗的氧化物紧密相关。PLE的结果证实它们来源于GeO色心TⅡ’→S0的光学跃迁,给出的GeO电子态模型描述了载流子激发和复合的过程。 展开更多
关键词 光荧光 磁控溅射 红外光发射 geO色心 sio2/ge:sio2/sio2夹层结构 二氧化硅 混合物薄膜 氧化锗
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SiO_2/Si(111)表面Ge量子点的生长研究 被引量:3
4
作者 王科范 盛斌 +3 位作者 刘金锋 徐彭寿 潘海滨 韦世强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期358-361,366,共5页
Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化... Si衬底用化学方法清洗后,表面大约残余1.0 nm厚SiO2薄膜。利用原子力显微镜(AFM)和反射高能电子衍射(RHEED)来研究温度和Ge蒸发厚度对在SiO2薄膜表面生长的Ge量子点的影响。实验结果表明,当衬底温度超过500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成与Si(111)表面直接外延的Ge量子点。在650℃时,只有Ge的厚度达到0.5nm时,Ge量子点才开始形成。 展开更多
关键词 ge量子点 sio2薄膜 SI(111) 原子力显微镜(AFM) 反射高能电子衍射(RHEED)
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溶胶-凝胶法制备Ge/SiO_2微晶复合薄膜 被引量:3
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作者 翟继卫 杨合情 +1 位作者 张良莹 姚熹 《材料科学与工程》 CAS CSCD 1999年第4期14-16,共3页
采用Sol-gel方法制备了GeO2-SiO2复合薄膜,并用H2/N2还原使得GeO2转变成Ge微晶而镶嵌在SiO2的玻璃网格中,其平均晶粒尺寸小于4nm 。随着热处理时间的增加,240nm 处吸收峰的强度随之增大,并... 采用Sol-gel方法制备了GeO2-SiO2复合薄膜,并用H2/N2还原使得GeO2转变成Ge微晶而镶嵌在SiO2的玻璃网格中,其平均晶粒尺寸小于4nm 。随着热处理时间的增加,240nm 处吸收峰的强度随之增大,并且其吸收边产生红移,说明Ge 展开更多
关键词 ge微晶 sio2玻璃 微晶复合薄膜 溶胶-凝胶法
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Ge(SiO_2)_n团簇结构和电子性质的密度泛函理论研究 被引量:2
6
作者 葛桂贤 井群 +3 位作者 闫红霞 杨增强 曹海宾 张建军 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期667-675,共9页
采用密度泛函理论中的广义梯度近似(GGA)对Ge(SiO_2)_n(n=1~7)团簇的几何构型进行优化,并对能量、频率和电子性质进行了计算.结果表明,Ge(SiO_2)_n的最低能量结构是在(SiO_2)_n端位O原子以及近邻端住O原子的Si原子上吸附一个Ge原子优... 采用密度泛函理论中的广义梯度近似(GGA)对Ge(SiO_2)_n(n=1~7)团簇的几何构型进行优化,并对能量、频率和电子性质进行了计算.结果表明,Ge(SiO_2)_n的最低能量结构是在(SiO_2)_n端位O原子以及近邻端住O原子的Si原子上吸附一个Ge原子优化得到;随着锗原子数的增加,增加的锗原子易与原来的锗原子形成锗团簇.掺杂锗原子后团簇的能隙比(SiO_2)_n团簇的能隙小,当多个Ge原子掺杂到(SiO_2)_3团簇时,其能隙随着Ge原子个数的增加出现了振荡,Ge_m(SiO_2)_3的能隙从可见光区到近红外光区变化.二阶能量差分、分裂能表明Ge(SiO_2)_2和Ge(SiO_2)_5团簇是稳定的. 展开更多
关键词 (sio2)n和ge(sio2)n团簇 几何结构 电子性质
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退火温度对镶嵌于SiO_2膜中的Ge纳米晶结构的影响 被引量:1
7
作者 张佳雯 高斐 +4 位作者 晏春愉 孙杰 权乃承 刘伟 方晓玲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期143-147,共5页
采用磁控溅射及退火的方法制备了含Ge纳米晶的SiO2复合膜,应用拉曼散射和X射线衍射技术研究不同退火温度下的Ge纳米晶结构。结果表明:Ge纳米晶的结晶温度约为750℃。运用声子限域模型(RWL model)对样品的拉曼散射光谱进行拟合,确定出样... 采用磁控溅射及退火的方法制备了含Ge纳米晶的SiO2复合膜,应用拉曼散射和X射线衍射技术研究不同退火温度下的Ge纳米晶结构。结果表明:Ge纳米晶的结晶温度约为750℃。运用声子限域模型(RWL model)对样品的拉曼散射光谱进行拟合,确定出样品中Ge纳米晶的尺寸。通过XRD谱计算复合膜的内部压应力,得出由其引起的拉曼峰位的蓝移量,得出结论:压应力是造成拉曼模拟曲线与实验曲线峰位偏离的主要原因。 展开更多
关键词 ge纳米晶 磁控溅射 退火 sio2 声子限域模型
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Ge,Al共掺SiO_2薄膜的发光性能研究 被引量:1
8
作者 陈虎 王加贤 张培 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期212-215,234,共5页
用射频磁控溅射法制备Ge,Al共掺SiO2复合薄膜并以不同温度进行退火,得到具有特定光致发光性质的复合材料。经600℃退火的薄膜样品在260 nm谱线激发下,主要有398和494 nm发光峰。通过对样品的X射线衍射谱和X射线光电子能谱的测试,确定了... 用射频磁控溅射法制备Ge,Al共掺SiO2复合薄膜并以不同温度进行退火,得到具有特定光致发光性质的复合材料。经600℃退火的薄膜样品在260 nm谱线激发下,主要有398和494 nm发光峰。通过对样品的X射线衍射谱和X射线光电子能谱的测试,确定了薄膜的结构特征,同时对观察到的光致发光从理论上做了重点分析,认为双重配位的Si孤对中心和GeO色心中的三重激发态到基态(T1→S0)之间的辐射跃迁分别是产生414和398 nm发光峰的主要原因。实验结果表明,Al的掺入可能在GeO2晶粒中引入了新缺陷能级,从而产生494 nm这一特殊的发光带,同时Al的掺入也提高了398 nm发光峰的发光效率。 展开更多
关键词 光致发光 ge Al共掺sio2复合薄膜 PL谱 缺陷中心 磁控溅射
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射频磁控溅射技术制备Ge-SiO_2薄膜的结构和光学特性研究 被引量:2
9
作者 栾彩霞 柴跃生 +2 位作者 孙钢 马志华 张敏刚 《太原科技大学学报》 2005年第2期136-139,共4页
用射频共溅射技术和后退火的方法,制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(ncGe/SiO2)。用XRD对薄膜的晶体结构进行了测试,未经退火的样品呈现非晶状态,600℃退火后的薄膜中开始有Ge纳米晶粒出现。研究了薄膜的Raman散射光谱,发现了其红... 用射频共溅射技术和后退火的方法,制备出埋入SiO2基质中的Ge纳米晶复合膜(ncGe/SiO2)。用XRD对薄膜的晶体结构进行了测试,未经退火的样品呈现非晶状态,600℃退火后的薄膜中开始有Ge纳米晶粒出现。研究了薄膜的Raman散射光谱,发现了其红移和宽化现象。测量了薄膜的光致发光谱,所有样品都在394nm处发出很强的光,随着Ge纳米晶粒的出现,样品有310nm和625nm处的光发出,其强度随晶粒平均尺寸的增大而增强。 展开更多
关键词 射频磁控溅射技术 sio2薄膜 特性研究 制备 Raman散射光谱 光学 纳米晶粒 ge纳米晶 光致发光谱 晶体结构 平均尺寸 退火 复合膜 XRD 样品 600
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Ge-SiO_2薄膜的XPS研究 被引量:1
10
作者 叶春暖 汤乃云 +3 位作者 吴雪梅 诸葛兰剑 余跃辉 姚伟国 《微细加工技术》 2002年第1期36-39,共4页
采用射频磁控溅射技术制备了Ge SiO2 薄膜 ,在N2 气氛下进行 30 0℃到 1 0 0 0℃的退火处理 30分钟 ,对样品进行XPS分析 ,研究了在不同退火温度下薄膜样品的成分与化学状态 ,为进一步探讨薄膜的光致发光机理提供了依据。结合XRD谱图分... 采用射频磁控溅射技术制备了Ge SiO2 薄膜 ,在N2 气氛下进行 30 0℃到 1 0 0 0℃的退火处理 30分钟 ,对样品进行XPS分析 ,研究了在不同退火温度下薄膜样品的成分与化学状态 ,为进一步探讨薄膜的光致发光机理提供了依据。结合XRD谱图分析结果可发现 ,退火处理对纳米晶粒的形成与长大起着关键作用。随着退火温度的升高 ,样品中的Si向高价态转化 ,Ge则向低价态转化 ;GeO含量在 80 0℃退火样品中为最大 ,高于 80 展开更多
关键词 ge-sio2薄膜 溅射 XPS谱 退火
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Ge-SiO_2与Si-SiO_2薄膜中颗粒形成的对比研究
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作者 成珏飞 吴雪梅 诸葛兰剑 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期245-248,共4页
以Ge SiO2 和Si SiO2 复合靶作为溅射靶 ,分别采用射频磁控溅射技术和双离子束溅射技术制得了Ge SiO2 和Si SiO2 薄膜。然后分别在N2 气氛中经过 6 0 0℃— 10 0 0℃的不同温度的退火。通过X射线衍射 (XRD) ,透射电子显微镜 (TEM) ,光... 以Ge SiO2 和Si SiO2 复合靶作为溅射靶 ,分别采用射频磁控溅射技术和双离子束溅射技术制得了Ge SiO2 和Si SiO2 薄膜。然后分别在N2 气氛中经过 6 0 0℃— 10 0 0℃的不同温度的退火。通过X射线衍射 (XRD) ,透射电子显微镜 (TEM) ,光电子能谱 (XPS)分析等测试手段 ,将两种薄膜进行了比较。在Ge SiO2 样品中 ,随退火温度的升高 ,会发生GeOx 的热分解或者与Si发生化学反应 ,引起部分氧原子逸出和Ge原子的扩散和聚集 ,从而形成纳米Ge的晶粒。在Si SiO2 薄膜样品中 ,由于Si的成核长大速率较低 ,因而颗粒长大的速率较慢 ,薄膜内不易形成Si颗粒。只有经 10 0 0℃高温退火后样品中才有少量单质Si颗粒形成。 展开更多
关键词 sio2薄膜 射频磁控溅射技术 光电子能谱 氧原子 双离子束溅射 颗粒 溅射靶 速率 高温退火 退火温度
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Au/Ge/SiO_2/p-Si结构中的电流输运特性
12
作者 陈彦 马书懿 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2006年第6期44-47,共4页
用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而... 用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而在较高的正向偏压下,Frenkel-Poole发射和空间电荷限制电流两种机制共同作用. 展开更多
关键词 ge/sio2薄膜 射频磁控溅射 电流输运
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温度对SiO_2表面上磁控溅射制备Ge纳米点的生长模式和尺寸的影响 被引量:2
13
作者 夏中高 王茺 +2 位作者 鲁植全 李亮 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期961-965,共5页
采用磁控溅射技术在SiO2/Si(100)表面上制备了一系列不同生长温度的Ge纳米点样品。原子力显微镜(AFM)的实验结果表明:不同衬底温度下Ge纳米点在SiO2薄膜上的生长模式和尺寸分布有所不同。当衬底生长温度达到500℃时,SiO2开始与Ge原子发... 采用磁控溅射技术在SiO2/Si(100)表面上制备了一系列不同生长温度的Ge纳米点样品。原子力显微镜(AFM)的实验结果表明:不同衬底温度下Ge纳米点在SiO2薄膜上的生长模式和尺寸分布有所不同。当衬底生长温度达到500℃时,SiO2开始与Ge原子发生化学反应,并形成"Ge纳米点的Si窗口"。在此温度条件下,外延生长实验可获得尺寸均匀且密度高达3.2×1010cm-2的Ge纳米点。 展开更多
关键词 磁控溅射 ge纳米点 sio2薄膜
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Density Functional Theory Study on the Structural and Electronic Properties of Ge(SiO_2)_n Clusters
14
作者 葛桂贤 闫红霞 +3 位作者 井群 周龙 曹海宾 张建军 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2011年第6期913-919,共7页
The geometry,stability,binding energy and electronic properties of(SiO2)n and Ge(SiO2)n clusters(n = 7) have been investigated by Density functional theory(DFT).The results show that the lowest energy structur... The geometry,stability,binding energy and electronic properties of(SiO2)n and Ge(SiO2)n clusters(n = 7) have been investigated by Density functional theory(DFT).The results show that the lowest energy structures of Ge(SiO2)n are obtained by adding one Ge on the end site of the O atom or the Si near end site of the O atom in(SiO2)n.The chemical activation of Ge-(SiO2)n is improved compared with(SiO2)n.The calculated second-order difference of energies and fragmentation energies show that the Ge(SiO2)n clusters with n = 2 or 5 are stable. 展开更多
关键词 sio2)n and gesio2)n clusters geOMETRIES electronic properties PACC:3640 3640B
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利用高压拉曼散射研究Ge/SiO_2/Si纳米系统的压力/张力(英文)
15
作者 L. Liu K.L. Teo Z. X. Shen 《光散射学报》 2005年第3期202-204,共3页
We report the pressure dependence of Ge nanocrystals embedded in SiO2 film matrix on Si substrate using Raman scattering and finite element analysis. Delamination of SiO2 film from the Si substrate occurs at ~23 kbar... We report the pressure dependence of Ge nanocrystals embedded in SiO2 film matrix on Si substrate using Raman scattering and finite element analysis. Delamination of SiO2 film from the Si substrate occurs at ~23 kbar due to the large difference between the compressibility of the SiO2 matrix and Si substrate. The observed effect can be understood by the nonhomogeneous distribution of the elastic field in the Ge/SiO2/Si nanosystem. Previous high pressure PL results on the Si/SiO2/Si nanosystem can also be explained by the nonuniform distribution of the elastic field. Although our investigation focuses on the Ge/SiO2/Si nanosystem, our results could provide generally understanding on the elastic properties of different multi-component nanosystems. 展开更多
关键词 高压拉曼散射 ge/sio2/Si 纳米系统 纳米晶体 二氧化硅薄膜 有限元分析
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花蕾状ZnO层/SiO_2多孔网络复合薄膜的制备及其发光特性
16
作者 石礼伟 李玉国 +3 位作者 薛成山 庄惠照 王书运 王瑞华 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第2期89-92,共4页
采用Zn/SiO2 复合靶 ,用射频磁控共溅射技术在Si( 111)衬底上沉积金属锌 (Zn) /二氧化硅 (SiO2 )基质复合薄膜 ,在空气气氛中 70 0℃条件下进行退火热处理 1h ,Zn从SiO2 基质中析出并在薄膜表面被空气中的O2 氧化 ,合成了花蕾状ZnO层 /S... 采用Zn/SiO2 复合靶 ,用射频磁控共溅射技术在Si( 111)衬底上沉积金属锌 (Zn) /二氧化硅 (SiO2 )基质复合薄膜 ,在空气气氛中 70 0℃条件下进行退火热处理 1h ,Zn从SiO2 基质中析出并在薄膜表面被空气中的O2 氧化 ,合成了花蕾状ZnO层 /SiO2 多孔网络复合薄膜材料 .用X射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM )、透射电镜 (TEM )和光致发光谱 (PL)分析了复合薄膜的微结构、组成。 展开更多
关键词 花蕾状氧化锌层 二氧化硅多孔网络 复合薄膜 射频磁控共溅射技术 热氧化 X射线衍射分析
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掺锗SiO_2玻璃的发光现象 被引量:2
17
作者 冯玉英 顾晓天 +3 位作者 周家宏 姚杰 莫祥银 包建春 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期926-928,共3页
SiO2 glassy materials with Ge crystals embedded were formed by heating GeO2/SiO2 glass at 700 in the presence of hydrogen. GeO2/SiO2 glass was prepared with the sol-gel technique. The Ge/SiO2 samples show a special ph... SiO2 glassy materials with Ge crystals embedded were formed by heating GeO2/SiO2 glass at 700 in the presence of hydrogen. GeO2/SiO2 glass was prepared with the sol-gel technique. The Ge/SiO2 samples show a special photoluminescence property and exhibit strong luminescence at 392 nm(3.12 eV), secondary strong luminescence at 600 nm(2.05 eV) and weak luminescence at 770 nm(1.60 eV) when excited under 246 nm(5.01 eV) ultra-violet light at room temperature. The structure of this new luminescence material was studied with XRD, XPS, and TEM. The results show that the presence of nanometer sized(around 10 nm) Ge and GeO crystals in the SiO2 may cause the three-band photoluminescence. The GeO2/SiO2 glass without going through the reducing process only has GeO2 in the SiO2 glass, and does not show the photo-(luminescence). 展开更多
关键词 ge/sio2玻璃 ge纳米晶粒 溶胶-凝胶 光致发光
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Ge-SiO_2薄膜的结构及其发光特性的研究 被引量:1
18
作者 叶春暖 汤乃云 +3 位作者 吴雪梅 诸葛兰剑 俞跃辉 姚伟国 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2002年第2期103-107,共5页
采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行了不同温度的退火处理,分析了样品在室温下的光致发光(PL)特性。为探讨其发光机制,对薄膜的结构进行了表征。XRD、XPS、FTIR谱分析说明样品的发光特性与其结构相对应,394nmPL由Ge... 采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO2薄膜,在N2气氛下进行了不同温度的退火处理,分析了样品在室温下的光致发光(PL)特性。为探讨其发光机制,对薄膜的结构进行了表征。XRD、XPS、FTIR谱分析说明样品的发光特性与其结构相对应,394nmPL由GeO缺陷引起,580nmPL与Ge纳米晶粒和基质SiO2界面处的发光中心相联系。 展开更多
关键词 ge-sio2薄膜 磁控溅射 光致发光 结构
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Ge/Si量子点生长的研究进展 被引量:1
19
作者 鲁植全 王茺 杨宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第19期117-122,共6页
回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以... 回顾了近年来在Ge/Si量子点生长方面的研究进展。主要讨论了为了提高量子点空间分布有序性、增大量子点的密度、减小量子点的尺寸及改善其分布均匀性而采取的各种方法,如图形衬底辅助生长、表面原子掺杂及利用超薄SiO2层辅助生长等,以及Ge量子点的演变及组分变化。 展开更多
关键词 ge/Si量子点生长 图形衬底 表面原子掺杂 超薄sio2 ge组分
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Mo对A_2B_7型La-Mg-Ni贮氢电极合金相结构及电化学性能的影响 被引量:4
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作者 蒋明 李子全 +2 位作者 刘劲松 彭洁 谢理明 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期32-38,共7页
采用磁控溅射技术在石英衬底上制备出(Ge/SiO2)15多层膜,并在不同温度下对其进行退火处理。XRD和Raman结果表明:溅射态的薄膜为非晶态,当退火温度为500℃时开始出现明显的结晶衍射峰,随后晶化率明显增大,当600℃后,薄膜的晶化率几乎不变... 采用磁控溅射技术在石英衬底上制备出(Ge/SiO2)15多层膜,并在不同温度下对其进行退火处理。XRD和Raman结果表明:溅射态的薄膜为非晶态,当退火温度为500℃时开始出现明显的结晶衍射峰,随后晶化率明显增大,当600℃后,薄膜的晶化率几乎不变。FESEM和小角度X射线衍射结果表明:溅射态薄膜的层与层之间存在明显的界面,具有良好的周期性,升高退火温度,晶粒尺寸增大,但仍保持周期性结构。薄膜的紫外-可见光吸收光谱表明:随着退火温度的升高,吸收边发生红移,光学带隙从溅射态的1.86eV减小到600℃时的1.59eV。 展开更多
关键词 ge/sio2多层薄膜 射频磁控溅射 退火温度 UV-VIS光谱 小角度X射线衍射
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