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氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究
被引量:
5
1
作者
张大伟
吕玮阁
+1 位作者
邵建达
范正修
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期31-32,共2页
电子枪蒸发制备了氧化铪薄膜,对氧离子束辅助和未辅助两种情况下的样品进行了折射率、吸收、激光损伤阈值等属性的测试,结果表明,氧离子束辅助沉积的样品与未辅助沉积的样品相比具有高的折射率和高的吸收,以及稍低的激光损伤阈值。经过...
电子枪蒸发制备了氧化铪薄膜,对氧离子束辅助和未辅助两种情况下的样品进行了折射率、吸收、激光损伤阈值等属性的测试,结果表明,氧离子束辅助沉积的样品与未辅助沉积的样品相比具有高的折射率和高的吸收,以及稍低的激光损伤阈值。经过分析发现,薄膜的激光损伤阈值是影响薄膜抗激光特性的不利因素和有利因素竞争的结果,离子束辅助沉积技术在引入结构致密等有利因素的同时,也引入了吸收增加等不利因素。
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关键词
离子束辅助沉积
氧化铪
激光损伤阈值
微弱吸收
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职称材料
题名
氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究
被引量:
5
1
作者
张大伟
吕玮阁
邵建达
范正修
机构
上海理工大学光学与电子工程学院
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期31-32,共2页
基金
上海市重点学科建设项目资助
项目编号:T0501
文摘
电子枪蒸发制备了氧化铪薄膜,对氧离子束辅助和未辅助两种情况下的样品进行了折射率、吸收、激光损伤阈值等属性的测试,结果表明,氧离子束辅助沉积的样品与未辅助沉积的样品相比具有高的折射率和高的吸收,以及稍低的激光损伤阈值。经过分析发现,薄膜的激光损伤阈值是影响薄膜抗激光特性的不利因素和有利因素竞争的结果,离子束辅助沉积技术在引入结构致密等有利因素的同时,也引入了吸收增加等不利因素。
关键词
离子束辅助沉积
氧化铪
激光损伤阈值
微弱吸收
Keywords
ion beam assisted
h fo2
laser- induce damage t
h
res
h
old
weak absorption
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究
张大伟
吕玮阁
邵建达
范正修
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
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