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增粘剂HMDS在IGBT芯片光刻工艺中的优化
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作者 宁田丽 谭灿健 +1 位作者 王志轮 程银华 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2023年第6期181-184,共4页
芯片图形缺失导致IGBT(绝缘栅双极晶体管)器件失效的概率是100%,而增粘工艺是预防芯片图形缺失的必备工艺。芯片制程中,光刻工艺的衬底不尽相同,其衬底的增粘效果也存在差异。通过增粘工艺,原本完全亲水的硅片表现出一定的接触角,通过... 芯片图形缺失导致IGBT(绝缘栅双极晶体管)器件失效的概率是100%,而增粘工艺是预防芯片图形缺失的必备工艺。芯片制程中,光刻工艺的衬底不尽相同,其衬底的增粘效果也存在差异。通过增粘工艺,原本完全亲水的硅片表现出一定的接触角,通过测量接触角的大小可以表征衬底的增粘效果。衬底的增粘效果与增粘工艺的时间、温度以及衬底种类相关。根据不同衬底的特性,选择合适稳定的工艺条件,是保证芯片图形完整的关键,在优化工艺的同时达到降本增效的目的。 展开更多
关键词 增粘剂 hmds 光刻 接触角
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HMDS改性后的纳米氧化锌的湿度响应特性研究 被引量:3
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作者 吕家云 张健 +1 位作者 周晓峰 刘伟景 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第2期170-172,共3页
以石英晶体微天平传感器为平台,研究六甲基二硅胺烷(HMDS)处理前后的纳米ZnO作为敏感膜湿度敏感特性。用HMDS处理后的纳米ZnO膜表面呈厌水性,同未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比,对湿度的响应敏感度明显降低。进一步的研究发现,用HMDS处理... 以石英晶体微天平传感器为平台,研究六甲基二硅胺烷(HMDS)处理前后的纳米ZnO作为敏感膜湿度敏感特性。用HMDS处理后的纳米ZnO膜表面呈厌水性,同未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比,对湿度的响应敏感度明显降低。进一步的研究发现,用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体,如乙醇等,仍有很好的响应。该特性可被用来开发具有对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。 展开更多
关键词 石英晶体微天平 相对湿度 纳米ZNO 乙醇 六甲基二硅胺烷(hmds)
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六甲基二硅胺烷(HMDS)结合真空干燥法在神经组织扫描电镜标本制样中的应用 被引量:3
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作者 张辉 孙异临 曲宝清 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期659-659,共1页
关键词 六甲基二硅胺烷 hmds 真空干燥法 神经组织 扫描电镜标本制样 器官组织 神经细胞
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HMDS高效煤用重介磁选机的应用 被引量:6
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作者 杨军伟 李桂华 王占山 《洁净煤技术》 CAS 2011年第3期9-11,共3页
重点介绍了HMDS磁选机的磁系组成,采用钕铁硼与锶铁氧体2种物质作为磁系不仅提高了磁选机扫选区的磁场,而且解决了磁选机卸矿难的问题。论述了HMDS高效煤用重介磁选机在重介选煤系统中的应用实践与洗选效果。实践证明HMDS高效煤用重介... 重点介绍了HMDS磁选机的磁系组成,采用钕铁硼与锶铁氧体2种物质作为磁系不仅提高了磁选机扫选区的磁场,而且解决了磁选机卸矿难的问题。论述了HMDS高效煤用重介磁选机在重介选煤系统中的应用实践与洗选效果。实践证明HMDS高效煤用重介磁选机是目前国内回收重介质最高效的磁选设备,具有回收率高,使用寿命长,适应性强,安装调试方便等优点。 展开更多
关键词 hmds 重介磁选机 磁系 磁场强度
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以HMDS为前驱体沉积SiC涂层的研究
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作者 朱云洲 黄政仁 +2 位作者 董绍明 袁明 江东亮 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第A01期797-799,共3页
以六甲基二硅胺烷(HMDS)作为硅源和碳源,H_2为载气,Ar为稀释气体,前驱体由载气通过鼓泡法带入反应室,通过等温化学气相渗透法(Isothermal Chemical Vapor Infiltration,ICVI)在SiC纤维表面沉积SiC涂层。通过控制沉积温度来控制涂层的表... 以六甲基二硅胺烷(HMDS)作为硅源和碳源,H_2为载气,Ar为稀释气体,前驱体由载气通过鼓泡法带入反应室,通过等温化学气相渗透法(Isothermal Chemical Vapor Infiltration,ICVI)在SiC纤维表面沉积SiC涂层。通过控制沉积温度来控制涂层的表面形貌、厚度。研究表明,在1100℃沉积的涂层中开始有β-SiC晶相析出,适当降低沉积温度至950℃可以防止残余碳在反应室的富集,在950℃时SiC的沉积厚度与沉积时间呈近线性关系。 展开更多
关键词 化学气相沉积 SIC涂层 hmds
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增黏剂(HMDS)在锑化铟光刻工艺中的应用
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作者 郭喜 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期789-791,共3页
介绍了增黏剂(HMDS)的物化性质及其在光刻工艺中的作用,并且通过实验研究将增黏剂应用于锑化铟材料的光刻工艺,改善了锑化铟的表面状态,增强了锑化铟衬底与光刻胶的黏附性,进而在湿法腐蚀等后续工艺中提高了光刻胶的抗腐蚀性。
关键词 增黏剂(hmds) 锑化铟 光刻工艺 光刻胶 黏附性 抗腐蚀性
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新型HMDS磁选机在重介选煤厂的应用 被引量:1
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作者 何佳伟 《煤炭加工与综合利用》 CAS 2017年第11期55-56,共2页
介绍了重介质选煤厂跑介的主要原因以及选煤厂对煤用磁选机的使用要求,实例分析了新型HMDS磁选机在重介选煤厂的应用效果,对加快推进重介选煤厂磁选设备国产化起到了良好的促进作用。
关键词 选煤 重介分选 hmds磁选机 经济效益
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烘箱HMDS预处理程序优化 被引量:1
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作者 张明明 廖聪湘 《电子与封装》 2009年第4期37-39,共3页
烘箱HMDS预处理系统在提高光刻胶与硅片的黏附性方面具有很多优越性。文章通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、PRIME时间、PRIME后保持时间等参数的优化实验,得到了最佳的烘箱HMDS预处理程序。通过提高烘箱工作温度(150℃)、减少PRIM... 烘箱HMDS预处理系统在提高光刻胶与硅片的黏附性方面具有很多优越性。文章通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、PRIME时间、PRIME后保持时间等参数的优化实验,得到了最佳的烘箱HMDS预处理程序。通过提高烘箱工作温度(150℃)、减少PRIME时间(0.5min)和增加PRIME后保持时间(5min),最终降低了HMDS处理后的硅片接触角,进而降低了光刻胶28%的用量。本方法已经验证在本次开发中,其工艺稳定,完全适用于生产线量产。 展开更多
关键词 hmds 接触角 胶量
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在HMDS做母源的Si(111)上外延生长3C—SiC
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作者 晓晔 《电子材料快报》 1996年第10期4-5,共2页
关键词 外延生长 hmds 3C-SIC 半导体材料
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新型HMDS磁选机在重介选煤厂的运用分析
10
作者 党伟男 《山东煤炭科技》 2018年第5期143-144,147,共3页
本文主要围绕选煤厂对煤用磁选机的使用要求、HMDS磁选机的工作原理、HMDS磁选机的结构特点、新型HMDS磁选机在重介选煤厂的运用实例四个方面展开讨论,详细分析了新型HMDS磁选机在选煤厂中的应用优势,将其应用在煤矿生产中,可实现较好... 本文主要围绕选煤厂对煤用磁选机的使用要求、HMDS磁选机的工作原理、HMDS磁选机的结构特点、新型HMDS磁选机在重介选煤厂的运用实例四个方面展开讨论,详细分析了新型HMDS磁选机在选煤厂中的应用优势,将其应用在煤矿生产中,可实现较好的经济效益。 展开更多
关键词 hmds磁选机 重介选煤 运用分析
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六甲基二硅氮烷镁催化丙交酯的开环聚合反应
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作者 周先悦 孙洪广 《合成材料老化与应用》 2023年第1期32-34,54,共4页
聚丙交酯(PLA)作为一种可降解材料,其应用广泛。目前主要方法是通过丙交酯开环聚合来合成PLA。如何高效合成PLA的关键在于设计出一种高效的催化体系。该文设计出一种结构简单的六甲基二硅氮烷镁(Mg(HMDS)2)催化剂,可用于丙交酯的开环聚... 聚丙交酯(PLA)作为一种可降解材料,其应用广泛。目前主要方法是通过丙交酯开环聚合来合成PLA。如何高效合成PLA的关键在于设计出一种高效的催化体系。该文设计出一种结构简单的六甲基二硅氮烷镁(Mg(HMDS)2)催化剂,可用于丙交酯的开环聚合,由Mg(HMDS)2与BnOH组成的催化体系不仅能使聚合反应转化率提高,而且聚合反应变得更加可控,单体聚合转化率均在90%以上。随着BnOH的量逐渐增加,显示出一种无终止聚合特征,并且反应可控性逐渐优化,所得聚合物分子量分布逐渐降低。随着反应聚合度的增加,分子量分布同样保持较低值,最小可达1.09。 展开更多
关键词 聚丙交酯 Mg(hmds)2 开环聚合
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耐摩擦和高透过SiO2/TiO2/SiO2-TiO2增透膜的设计和制备 被引量:9
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作者 叶龙强 张清华 +2 位作者 张雨露 张欣向 江波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期871-875,共5页
通过膜层设计理论设计出以K9玻璃为基底的兼具高透过率和高耐摩擦性的三层宽带增透膜,并通过溶胶凝胶技术成功制备了所设计的增透膜.以正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯(TTIP)为前驱体、以盐酸为催化剂制得SiO2和TiO2溶胶.将两种溶胶按一定... 通过膜层设计理论设计出以K9玻璃为基底的兼具高透过率和高耐摩擦性的三层宽带增透膜,并通过溶胶凝胶技术成功制备了所设计的增透膜.以正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯(TTIP)为前驱体、以盐酸为催化剂制得SiO2和TiO2溶胶.将两种溶胶按一定比例混合得到SiO2-TiO2复合溶胶.实验结果表明:三层增透膜在可见光区的平均透过率达到98.7%,与未镀膜的K9玻璃基片相比提高了7.1%.增透膜经较强机械摩擦后透过率基本保持不变,表明该增透膜具有优良的耐摩擦性.采用六甲基二硅氮烷(HMDS)对增透膜表面进行进一步的修饰,修饰后增透膜与水的接触角提高至94.3°,增透膜的疏水性及环境稳定性得到较大的提高. 展开更多
关键词 膜层设计 高透过率 高耐摩擦性 hmds 耐环境性
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美国Invista关闭Orange尼龙原料工厂
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作者 王德诚 《合成纤维工业》 CAS 2023年第6期67-67,共1页
2023年10月4日,美国Invista宣布关闭在美国Texas州的Orange工厂。该工厂生产尼龙原料己二腈(ADN)及己二胺(HMD),AND马上停止生产,HMD预定在2024年中期停止生产。在其他地区的尼龙原料工厂将继续生产ADN和HMD。
关键词 己二胺 己二腈 尼龙原料 HMD ADN
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六甲基二硅胺烷作为锂离子电池电解液稳定剂的研究 被引量:1
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作者 胡立新 王超 +1 位作者 陈晓琴 程乾 《化学与生物工程》 CAS 2011年第2期24-26,39,共4页
研究了六甲基二硅胺烷(HMDS)作为锂离子电池电解液的稳定剂对电解液稳定性和电化学性能的影响。将两种不同的电解液经过60℃/24 h高温储存,取样分析检测电解液的H2O和HF的含量变化,并用两种不同的电解液制作电池进行85℃/4 h高温储存和... 研究了六甲基二硅胺烷(HMDS)作为锂离子电池电解液的稳定剂对电解液稳定性和电化学性能的影响。将两种不同的电解液经过60℃/24 h高温储存,取样分析检测电解液的H2O和HF的含量变化,并用两种不同的电解液制作电池进行85℃/4 h高温储存和电化学性能测试。结果表明,HMDS的加入明显提高了锂离子电池电解液的储存稳定性及热稳定性,同时可以改善锂离子电池的电化学性能和循环性能。 展开更多
关键词 锂离子电池 电解液 六甲基二硅胺烷(hmds) 稳定剂
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六甲基二硅氮烷对硅溶胶接枝改性的研究 被引量:8
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作者 于杰 刘杨 +3 位作者 何敏 鲁圣军 胡智 罗筑 《胶体与聚合物》 2009年第1期13-16,共4页
采用六甲基二硅氮烷(HMDS)在酸性条件下对硅溶胶(SiSols)进行接枝改性。对接枝产物进行了分离提纯并研究了HMDS/SiSol(s摩尔比)、反应温度和反应时间对接枝率的影响。结果表明:在酸催化条件下HMDS可以对SiSols实现表面接枝改性;当控制H... 采用六甲基二硅氮烷(HMDS)在酸性条件下对硅溶胶(SiSols)进行接枝改性。对接枝产物进行了分离提纯并研究了HMDS/SiSol(s摩尔比)、反应温度和反应时间对接枝率的影响。结果表明:在酸催化条件下HMDS可以对SiSols实现表面接枝改性;当控制HMDS与SiSols摩尔比为5颐10、反应温度为35℃、反应时间为2h时,接枝率达到最大值。 展开更多
关键词 硅溶胶(Si Sols) 六甲基二硅氮烷(hmds) 接枝改性 分离提纯 接枝率
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头盔显示器及其关键技术 被引量:3
16
作者 曲东才 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2002年第z1期1-3,6,共4页
简要概述了头盔显示器的基本概念、主要任务、工作过程以及研制现状和典型产品 ,根据现代空战的特点分析了头盔显示器在现代空战中的主要作用 。
关键词 航空火控系统 平视显示器(HUD) 头盔显示器(hmds) 关键技术
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六甲基二硅胺烷改善二次纤维造纸性能 被引量:4
17
作者 杭志喜 《安徽工程科技学院学报(自然科学版)》 2004年第1期16-19,共4页
以烘干漂白麦草浆为原料,用六甲基二硅胺烷(HMDS)进行处理,观察处理前后二次纤维的角质化程度和强度性能,扫描电镜(SEM)观察纤维表面形态,并抄纸比较纸页性能变化.发现经HMDS处理能降低二次纤维的角质化程度,增强纤维的结合力和强度,大... 以烘干漂白麦草浆为原料,用六甲基二硅胺烷(HMDS)进行处理,观察处理前后二次纤维的角质化程度和强度性能,扫描电镜(SEM)观察纤维表面形态,并抄纸比较纸页性能变化.发现经HMDS处理能降低二次纤维的角质化程度,增强纤维的结合力和强度,大大提高纸页的强度性能.本法所用药品容易回收,且可循环使用,成本低而无污染.为二次纤维的推广使用提供了行之有效的解决办法,可缓解我国目前造纸原料短缺的矛盾,因此有一定的经济效益和社会效益. 展开更多
关键词 hmds处理 二次纤维 角质化 造纸性能 六甲基二硅胺烷
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湿度对微型加速度计粘连失效的影响 被引量:5
18
作者 宋运康 赵坤帅 +1 位作者 闫鑫 李川 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期316-319,共4页
粘连是微/纳器件的一种典型失效模式,由于湿度引起的粘连失效占很大比例。以MEMS摆式加速度计为模型,分析了湿度引起粘连失效的机理,主要是毛细黏性力的影响。为了研究材料性质和粗糙度对粘连的影响,对比钨(W)、铝铜(AlCu)和铝(Al)3种... 粘连是微/纳器件的一种典型失效模式,由于湿度引起的粘连失效占很大比例。以MEMS摆式加速度计为模型,分析了湿度引起粘连失效的机理,主要是毛细黏性力的影响。为了研究材料性质和粗糙度对粘连的影响,对比钨(W)、铝铜(AlCu)和铝(Al)3种不同电极材料,发现Al电极材料表面接触角和表面粗糙度都很大,对应芯片的粘连比例较少。利用HMDS对粘连芯片内表面进行疏水处理,有效减少了粘连比例。研究表明选用接触角大的电极材料、增加电极表面粗糙度和表面疏水处理均能有效减少毛细黏性力为主导的粘连。 展开更多
关键词 粘连 毛细黏性力 粗糙度 hmds(六甲基二硅胺烷)
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低增生性骨髓增生异常综合征、慢性再生障碍性贫血及阵发性睡眠性血红蛋白尿的临床特点比较分析 被引量:1
19
作者 王瑜琛 陈颖洁 +1 位作者 赵昌盛 张建平 《吉林医学》 CAS 2010年第12期1594-1595,共2页
目的:按照WHO新分型标准对低增生性骨髓增生异常综合征(HMDS)患者与慢性再生障碍性贫血(CAA)患者、阵发性睡眠性血红蛋白尿(PNH)患者的临床特点进行比较与分析,探讨三种疾病之间的差异。方法:对11例已确诊的低增生性骨髓增生异常综合征(... 目的:按照WHO新分型标准对低增生性骨髓增生异常综合征(HMDS)患者与慢性再生障碍性贫血(CAA)患者、阵发性睡眠性血红蛋白尿(PNH)患者的临床特点进行比较与分析,探讨三种疾病之间的差异。方法:对11例已确诊的低增生性骨髓增生异常综合征(HMDS)、55例慢性再生障碍性贫血(CAA)患者及10例阵发性睡眠性血红蛋白尿(PNH)患者进行回顾性分析。结果:HMDS组与PNH组外周血计数(WBC计数、RBC计数、HB测定、PLT计数)高于CAA组;PNH组网织红细胞计数高于PMDS组及CAA组;HMDS组发病年龄大于PNH组与CAA组;HMDS组外周血及骨髓涂片镜检血细胞形态异常明显高于CAA组与PNH组;骨髓原始细胞计数及三系血细胞的病态造血现象对于HMDS、CAA及PNH的鉴别诊断意义重大;HMDS常有幼稚造血前体细胞异位现象(ALIP),微巨核异常,而CAA及PNH患者一般无此现象;HMDS患者与CAA患者CD34+细胞检测结果差异有统计学意义。结论:HMDS、CAA及PNH三种疾病同属于造血干细胞疾病,均表现为骨髓衰竭综合征,可相互转化,临床上对它们的正确诊断与鉴别意义重大。 展开更多
关键词 低增生性骨髓增生异常综合征(hmds) 慢性再生障碍性贫血(CAA) 阵发性睡眠性血红蛋白尿(PNH)
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沐舒坦预防早产儿肺透明膜病 被引量:38
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作者 章蕾 朱钟治 +1 位作者 唐海婷 侍庆 《上海医科大学学报》 CSCD 2000年第6期509-510,513,共3页
目的 探讨在应用肾上腺皮质激素的基础上加用沐舒坦预防早产儿肺透明膜病 (HMD)的效果。方法 设激素 +沐舒坦组 (n =2 8)为观察组 ,单用激素为对照组 (n =35 ) ,观察两组早产儿HMD的发生率 ;观察两组窒息儿中HMD的发生情况及不同胎龄... 目的 探讨在应用肾上腺皮质激素的基础上加用沐舒坦预防早产儿肺透明膜病 (HMD)的效果。方法 设激素 +沐舒坦组 (n =2 8)为观察组 ,单用激素为对照组 (n =35 ) ,观察两组早产儿HMD的发生率 ;观察两组窒息儿中HMD的发生情况及不同胎龄时HMD的发生率。结果  (1)对照组HMD的发生率为 11.4% ,观察组为 0 % ,两组有显著性差异 (P <0 .0 5 ) ;(2 )对照组中孕周 <32周、33~ 34周及 35~ 36周的早产儿HMD的发生率分别是 2 8.7%、15 .38%和 0 % ,而在观察组中均未发生 ;(3)对照激素组 12例窒息儿中有 3人发生HMD ,观察组 6例窒息儿中无一人发生HMD。结论 在产前应用激素的基础上 。 展开更多
关键词 肺透明膜病 沐舒坦 早产儿 药物预防 HMD
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