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基于AlAsSb/InAsSb超晶格势垒的InAs/InAsSbⅡ类超晶格nBn中波红外探测器
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作者 单一凡 吴东海 +8 位作者 谢若愚 周文广 常发冉 李农 王国伟 蒋洞微 郝宏玥 徐应强 牛智川 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期450-456,共7页
InAs/InAsSbⅡ类超晶格避免了InAs/GaSbⅡ类超晶格中与Ga原子相关的缺陷复合中心,具有更高的少数载流子寿命,在高工作温度中波红外探测器制备方面有着良好的应用前景。少数载流子单极势垒结构通常被用来抑制探测器暗电流,如nBn结构探测... InAs/InAsSbⅡ类超晶格避免了InAs/GaSbⅡ类超晶格中与Ga原子相关的缺陷复合中心,具有更高的少数载流子寿命,在高工作温度中波红外探测器制备方面有着良好的应用前景。少数载流子单极势垒结构通常被用来抑制探测器暗电流,如nBn结构探测器。在InAs/InAsSbⅡ类超晶格nBn中波红外光电探测器中,势垒层常采用AlAsSb等多元合金材料,阻挡多数载流子的输运。然而,势垒层与吸收层存在的价带偏移(VBO)使得光电流往往需要在大偏压下饱和,从而增大了探测器暗电流。本文设计了一种AlAsSb/InAsSb超晶格势垒,旨在消除VBO并降低量子效率对偏压的依赖性。研究结果显示,150 K下,设计制备的nBn光电探测器的50%截止波长为4.5μm,探测器光响应在-50 mV的小反向偏压下达到了饱和,3.82μm处的峰值响应度为1.82 A/W,对应量子效率为58.8%。在150 K和-50 mV偏压下,探测器的暗电流密度为2.01×10^(-5)A/cm^(2),计算得到在3.82μm的峰值探测率为6.47×10^(11)cm·Hz^(1/2)/W。 展开更多
关键词 InAs/inassb Ⅱ类超晶格 AlAsSb/inassb势垒 中波红外 势垒探测器
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非制冷势垒型InAsSb基高速中波红外探测器
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作者 贾春阳 邓功荣 +3 位作者 赵鹏 朱之贞 赵俊 张逸韵 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期166-173,共8页
高速响应的中波红外探测器在自由空间光通信和频率梳光谱学等新兴领域的需求逐渐增加。中长波XBnn势垒型红外光探测器对暗电流等散粒噪声具有显著抑制作用。本文在GaSb衬底上采用分子束外延技术生长了nBn和pBn两种结构的InAsSb/AlAsSb/A... 高速响应的中波红外探测器在自由空间光通信和频率梳光谱学等新兴领域的需求逐渐增加。中长波XBnn势垒型红外光探测器对暗电流等散粒噪声具有显著抑制作用。本文在GaSb衬底上采用分子束外延技术生长了nBn和pBn两种结构的InAsSb/AlAsSb/AlSb中波红外光探测器材料,并通过微纳加工工艺制备了可用于射频响应特性测试的GSG结构探测器。XRD和AFM的测试结果表明,两种结构的外延片都具有较好的晶体质量。器件暗电流测试结果表明,相较于nBn器件,在室温和反向偏压400 mV的工作条件下,直径90μm的pBn器件表现出更低的暗电流密度0.145 A/cm^(2),说明该器件在室温非制冷环境下表现出较低的噪声水平。不同台面直径的探测器的暗电流测试表明,pBn器件的表面电阻率低于对照的nBn器件的表面电阻率。另外,根据探测器的电容测试结果,可零偏压工作的pBn探测器具有完全耗尽的势垒层和部分耗尽的吸收区,nBn的吸收区也存在部分耗尽。探测器的射频响应特性表明,直径90μm的pBn器件的响应速度在室温和3 V反向偏压下可达2.62 GHz,对照的nBn器件的响应速度仅为2.02 GHz,响应速度提升了29.7%,初步实现了在中红外波段下可快速探测的室温非制冷势垒型光电探测器。 展开更多
关键词 inassb 非制冷 高速 中波红外 势垒型探测器
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Investigation on p-type doping of PBn unipolar barrier InAsSb photodetectors
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作者 ZHANG Jian CHANG Chao +11 位作者 LI Hong-Fu SHI Yu-Na YIN Han-Xiang LI Yan-Hui YUE Biao WANG Hai-Peng YAN Chang-Shan DAI Xin-Ran DENG Gong-Rong KONG Jin-Cheng ZHAO Peng ZHAO Jun 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期472-478,共7页
The lattice-matched XBn structures of InAsSb,grown on GaSb substrates,exhibit high crystal quali⁃ty,and can achieve extremely low dark currents at high operating temperatures(HOT).Its superior performance is attribute... The lattice-matched XBn structures of InAsSb,grown on GaSb substrates,exhibit high crystal quali⁃ty,and can achieve extremely low dark currents at high operating temperatures(HOT).Its superior performance is attributed to the unipolar barrier,which blocks the majority carriers while allowing unhindered hole transport.To further explore the energy band and carrier transport mechanisms of the XBn unipolar barrier structure,this pa⁃per systematically investigates the influence of doping on the dark current,photocurrent,and tunneling character⁃istics of InAsSb photodetectors in the PBn structure.Three high-quality InAsSb samples with unintentionally doped absorption layers(AL)were prepared,with varying p-type doping concentrations in the GaSb contact layer(CL)and the AlAsSb barrier layer(BL).As the p-type doping concentration in the CL increased,the device’s turn-on bias voltage also increased,and p-type doping in the BL led to tunneling occurring at lower bias voltages.For the sample with UID BL,which exhibited an extremely low dark current of 5×10^(-6) A/cm^(2).The photocurrent characteristics were well-fitted using the back-to-back diode model,revealing the presence of two opposing space charge regions on either side of the BL. 展开更多
关键词 inassb PBN p-type doping dark current
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InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制 被引量:1
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作者 何英杰 彭震宇 +8 位作者 曹先存 朱旭波 李墨 陶飞 丁嘉欣 姚官生 张利学 王雯 吕衍秋 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第3期545-550,共6页
超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料。双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异,对复杂的背景进行抑制,提高探测效果,在需求中尤为重要。本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制... 超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料。双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异,对复杂的背景进行抑制,提高探测效果,在需求中尤为重要。本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制备技术研究,从器件设计、材料外延、芯片加工等方面展开研究,制备了中心距30μm的320×256 InAs/InAsSb二类超晶格中/中波双色焦平面探测器。器件短中波峰值探测率达到7.2×10^(11)cm·Hz^(1/2)W^(-1),中波峰值探测率为6.7×10^(11)cm·Hz^(1/2)W^(-1),短中波有效像元率为99.51%,中波为99.13%,获得了高质量的成像效果,实现中中双色探测。 展开更多
关键词 InAs/inassb 双色中/中波 焦平面 红外探测器
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非致冷InAsSb中长波红外探测器研究评述 被引量:1
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作者 孙常鸿 胡淑红 +3 位作者 王奇伟 吴杰 何家玉 戴宁 《中国电子科学研究院学报》 2010年第1期11-18,共8页
作为一种新兴的红外光电材料,InAsSb由于其禁带宽度窄、电子迁移率极高等优良特性受到了世界各国的广泛关注。InAsSb探测器的优势在于:对中长波红外波段的探测而言,其在室温下也具有很高的探测率,同时InAsSb探测器具有比HgCdTe探测器更... 作为一种新兴的红外光电材料,InAsSb由于其禁带宽度窄、电子迁移率极高等优良特性受到了世界各国的广泛关注。InAsSb探测器的优势在于:对中长波红外波段的探测而言,其在室温下也具有很高的探测率,同时InAsSb探测器具有比HgCdTe探测器更高的响应速度。这些优势使得InAsSb探测器可制成非致冷型红外探测器,容易实现仪器的小型化,大大降低成本,在某些场合成为能够取代HgCdTe的理想材料。文章分别对InAsSb探测器国内和国外的研究近况作一简要评述,从而显示出在中长波红外波段InAsSb材料广阔的应用前景。 展开更多
关键词 inassb 探测器 非致冷
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nBn型InAsSb探测器的材料及器件研究 被引量:2
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作者 周朋 温涛 +1 位作者 邢伟荣 刘铭 《红外》 CAS 2019年第11期7-12,共6页
nBn型红外探测器可有效抑制产生-复合电流,进而提高探测器的工作温度。由于制备工艺可移植于Ⅲ/Ⅴ族成熟工艺以及存在晶格完全匹配的衬底等优势,InAsSb/AlAsSb材料是nBn型红外探测器的首选。简单介绍了InAsSb/AlAsSb nBn型红外探测器的... nBn型红外探测器可有效抑制产生-复合电流,进而提高探测器的工作温度。由于制备工艺可移植于Ⅲ/Ⅴ族成熟工艺以及存在晶格完全匹配的衬底等优势,InAsSb/AlAsSb材料是nBn型红外探测器的首选。简单介绍了InAsSb/AlAsSb nBn型红外探测器的研究现状、工作原理以及近期的研究成果。通过生长试验实现了良好的材料表面质量、晶体质量和光学性能。相关结果表明,在制备器件时,nBn结构中势垒层的掺杂浓度不应低于8×10^16 cm^-3,否则就不利于减小nBn型器件的暗电流。 展开更多
关键词 nBn结构 inassb 高工作温度 暗电流
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High Lattice Match Growth of InAsSb Based Materials by Molecular Beam Epitaxy 被引量:2
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作者 任洋 郝瑞亭 +4 位作者 刘思佳 郭杰 王国伟 徐应强 牛智川 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2016年第12期133-137,共5页
High lattice match growth of InAsSb based materials on GaSb substrates is demonstrated. The present results indicate that a stable substrate temperature and the optimal flux ratios are of critical importance in achiev... High lattice match growth of InAsSb based materials on GaSb substrates is demonstrated. The present results indicate that a stable substrate temperature and the optimal flux ratios are of critical importance in achieving a homogeneous InAsSb based material composition throughout the growth period. The quality of these epilayers is assessed using a high-resolution x-ray diffraction and atomic force microscope. The mismatch between the GaSb substrate and InAsSb alloy achieves almost zero, and the rms surface roughness of InAsSb alloy achieves around 1.7A over an area of 28μm × 28μm. At the same time, the mismatches between GaSb and InAs/InAs0.73Sb0.27 superlattices (SLs) achieve approximately 100 arcsec (75 periods) and zero (300 periods), with the surface rms roughnesses of InAs/InAs0.73Sb0.27 SLs around 1.8 A (75 periods) and 2.1A (300 periods) over an area of 20 μm×20 μm, respectively. After fabrication and characterization of the devices, the dynamic resistance of the n-barrier-n InAsSb photodetector near zero bias is of the order of 10^6Ω·cm^2. At 77K, the positive-intrinsic-negative photodetectors are demonstrated in InAsSb and InAs/InAsSb SL (75 periods) materials, exhibiting fifty-percent cutoff wavelengths of 3.8μm and 5.1μm, respectively. 展开更多
关键词 inassb as is GaSb on in High Lattice Match Growth of inassb Based Materials by Molecular Beam Epitaxy of by
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退火处理对长波长InAsSb材料电学性能的影响
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作者 高玉竹 周冉 +1 位作者 龚秀英 杜传兴 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期11-14,共4页
研究长波长InAsSb半导体材料在退火处理前、后,傅里叶变换红外(FTIR)透射光谱、组份元素In、Sb和As在外延层中的分布以及电学性质的变化。用熔体外延(ME)技术,在InAs衬底上生长InAs0.05Sb0.95外延层,外延层的厚度达到100μm。在350℃下... 研究长波长InAsSb半导体材料在退火处理前、后,傅里叶变换红外(FTIR)透射光谱、组份元素In、Sb和As在外延层中的分布以及电学性质的变化。用熔体外延(ME)技术,在InAs衬底上生长InAs0.05Sb0.95外延层,外延层的厚度达到100μm。在350℃下,在氢气氛中对样品进行了11h的退火。测量结果表明,退火处理使InAsSb样品的电子迁移率从300K下的43600cm2/(V·s)提高到77K下的48300cm2/(V·s),材料的电学性能及元素分布均匀性得到了明显改善。 展开更多
关键词 inassb 退火处理 元素分布 电学性质
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分子束外延InAsSb材料中As组分的研究
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作者 周朋 徐碧婷 +2 位作者 刘铭 申晨 邢伟荣 《红外》 CAS 2020年第10期15-19,共5页
基于nBn结构的InAsSb器件具有扩散电流极限低、造价低廉、容易实现大面阵以及可兼容现有III--V族二极管电路等诸多优点,是小型化、低功耗、低成本、高分辨率中长波探测器的首选之一。在InAsSb材料的外延生长过程中,As的组分很难精确控... 基于nBn结构的InAsSb器件具有扩散电流极限低、造价低廉、容易实现大面阵以及可兼容现有III--V族二极管电路等诸多优点,是小型化、低功耗、低成本、高分辨率中长波探测器的首选之一。在InAsSb材料的外延生长过程中,As的组分很难精确控制。为了找到允许的误差范围,研究了用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy,MBE)工艺生长InAsSb材料过程中As组分对材料表面形貌、晶格质量以及器件截止波长等方面的影响。试验结果表明,在保证材料外延厚度小于临界厚度的前提下,材料对压应力的容忍程度比拉应力高。将As组分控制在略小于91%的范围内,不但可以保证材料的质量,而且还能略微增大器件的响应波长。 展开更多
关键词 分子束外延 inassb As组分 截止波长
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Sb浸润界面对InAs/InAsSb超晶格晶体结构和探测器性能的影响 被引量:1
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作者 齐通通 郭杰 +3 位作者 王国伟 郝瑞亭 徐应强 常发然 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第S01期86-89,共4页
采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长了PIN型长波红外28 ML InAs/7 ML InAs0.48Sb0.52超晶格探测器材料,研究了Sb浸润界面对其表面形貌、晶体结构和光电性能的影响。结果发现:相对于无界面控制的超晶格,采用Sb浸润界面的超晶格表面更平... 采用分子束外延技术在GaSb衬底上生长了PIN型长波红外28 ML InAs/7 ML InAs0.48Sb0.52超晶格探测器材料,研究了Sb浸润界面对其表面形貌、晶体结构和光电性能的影响。结果发现:相对于无界面控制的超晶格,采用Sb浸润界面的超晶格表面更平整,表面粗糙度仅为1.28;超晶格晶体结构更完整,界面起伏明显减小,与衬底的晶格失配度由3.26%减小到2.97%。InAs/InAsSb超晶格探测器的50%截止波长为10μm,量子效率为3.1%;Sb浸润界面的超晶格具有更低的暗电流和更高的微分阻抗,-50 mV偏压下暗电流密度为0.12 A/cm^ 2,零偏阻抗面积乘积(R 0A)为0.44Ω·cm^2,计算得到探测率为5.06×10^7 cm·Hz 1/2/W。Sb浸润界面有效抑制了Sb的扩散,提高了超晶格的晶体质量和探测性能,但失配应力依然很大。这些结果为高质量长波红外InAs/InAsSb超晶格的界面生长提供了依据。 展开更多
关键词 长波红外探测器 InAs/inassb超晶格 分子束外延 界面生长
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PIN、NBP及NBN型InAsSb中波红外探测器光电性能研究 被引量:1
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作者 任洋 郝瑞亭 +3 位作者 刘思佳 王国伟 徐应强 牛智川 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2016年第5期44-49,共6页
系统探索了GaSb(001)衬底上InAsSb体材料的分子束外延生长和PIN型、NBP型及NBN型InAsSb单元单色红外探测器的制备工艺,并对其光学、电学等相关物理特性进行了研究对比.PIN型InAsSb单元探测器的R0A为224Ω·cm2(100K),77K下峰值探测... 系统探索了GaSb(001)衬底上InAsSb体材料的分子束外延生长和PIN型、NBP型及NBN型InAsSb单元单色红外探测器的制备工艺,并对其光学、电学等相关物理特性进行了研究对比.PIN型InAsSb单元探测器的R0A为224Ω·cm2(100K),77K下峰值探测率为3.6×1010cmHz1/2/W.NBN型和NBP型InAsSb单元探测器的R0A都达到了105Ω·cm2(100K)的量级,但NBN型比NBP型的R0A值更大,暗电流密度更低,77K下峰值探测率分别为8.5×101 2cmHz1/2/W和2.4×108cmHz1/2/W.最后制备完成了50%截止波长为3.8μm(PIN型)、3.4μm(NBP型)、2.6μm(NBN型)的InAsSb单元探测器. 展开更多
关键词 分子束外延 inassb 中波 红外探测器
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低温退火对InAsSb材料结构特性的影响
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作者 刘晓明 李洪涛 +1 位作者 李美成 赵连城 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A02期606-608,共3页
用分子束外延(MBE)方法生长了InAsSb/InSb多量子阱结构,并对其进行250℃、8h的退火。采用X射线光电子能谱(XPS),通过Ar离子刻蚀对样品退火前后进行了深度分析,研究退火对In、As、Sb3种元素价态和纵向元素浓度分布的影响。结果表明,长时... 用分子束外延(MBE)方法生长了InAsSb/InSb多量子阱结构,并对其进行250℃、8h的退火。采用X射线光电子能谱(XPS),通过Ar离子刻蚀对样品退火前后进行了深度分析,研究退火对In、As、Sb3种元素价态和纵向元素浓度分布的影响。结果表明,长时间低温退火增强了表面氧化,促使As和Sb元素发生次层原子向表层的扩散和样品内部该两种元素的扩散。 展开更多
关键词 XPS inassb 扩散
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InAsSb材料的LP-MOCVD生长
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作者 徐庆安 邵逸恺 +4 位作者 汪韬 尹飞 闫欣 辛丽伟 王警卫 《半导体光电》 CAS 北大核心 2015年第5期733-735,740,共4页
采用低压金属有机物化学气相沉积(LP-MOCVD)设备,在(100)面GaSb单晶衬底上生长了高质量的InAsSb材料。分析了InAs/GaSb超晶格红外材料在不同生长条件下的生长质量,对器件材料结构进行了表征,并进行了理论分析和优化生长。采用X射线双晶... 采用低压金属有机物化学气相沉积(LP-MOCVD)设备,在(100)面GaSb单晶衬底上生长了高质量的InAsSb材料。分析了InAs/GaSb超晶格红外材料在不同生长条件下的生长质量,对器件材料结构进行了表征,并进行了理论分析和优化生长。采用X射线双晶衍射原子力显微镜对其外延薄膜的单晶质量进行分析,得到外延层与衬底材料的晶格失配仅为-0.43%。通过调节过渡层材料来减小界面处的应变,提高材料的生长质量,利用光致发光谱对材料做了检测分析。给出了InAsSb材料的LP-MOCVD生长的参数分析和测量分析,为以后生长和分析InAsSb材料提供了很好的基础。 展开更多
关键词 inassb LP-MOCVD 超晶格 GaSb衬底 红外探测器
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用于中波红外探测的InAsP/InAsSb超晶格的MOCVD生长和表征
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作者 怀运龙 朱虹 +4 位作者 朱赫 刘家丰 李萌 刘振 黄勇 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期995-1001,共7页
提出了采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长无Ga且应力平衡的InAsP/InAsSb超晶格,并探索了其作为红外吸收材料的可行性。首先采用k·p理论计算了InAsP/InAsSb超晶格的带隙,发现其波长调节范围可以从中波红外到长波红外。然后通过MO... 提出了采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)生长无Ga且应力平衡的InAsP/InAsSb超晶格,并探索了其作为红外吸收材料的可行性。首先采用k·p理论计算了InAsP/InAsSb超晶格的带隙,发现其波长调节范围可以从中波红外到长波红外。然后通过MOCVD技术在InAs衬底上生长了InAs_(0.8)P_(0.2)/InAs_(0.7)Sb_(0.3)超晶格。XRD测试结果表明,InAs衬底峰与超晶格零级卫星峰的失配仅61",即基本实现应力平衡;AFM测试材料表面形貌显示5μm×5μm范围内均方根粗糙度为0.4 nm;低温PL光谱显示较强的发光,峰位于3.3μm的中波红外波段,接近设计值。这些结果表明采用MOCVD生长应力平衡的InAsP/InAsSb超晶格作为红外探测材料具有较好的可行性和实用性。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 InAsP/inassb超晶格 中波红外
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利用分子束外延生长高质量应变平衡 InAs/InAsSb Ⅱ类超晶格
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作者 魏国帅 郝瑞亭 +9 位作者 郭杰 马晓乐 李晓明 李勇 常发冉 庄玉 王国伟 徐应强 牛智川 王耀 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期595-604,共10页
利用分子束外延技术在GaSb衬底上生长了高质量的InAs/InAsSb(无Ga)Ⅱ类超晶格。超晶格的结构由100个周期组成,每个周期分别是3.8 nm厚的InAs层和1.4 nm厚的InAs_(0.66)Sb_(0.34)层。在实验过程中出现了一种特殊的尖峰状缺陷。利用高分辨... 利用分子束外延技术在GaSb衬底上生长了高质量的InAs/InAsSb(无Ga)Ⅱ类超晶格。超晶格的结构由100个周期组成,每个周期分别是3.8 nm厚的InAs层和1.4 nm厚的InAs_(0.66)Sb_(0.34)层。在实验过程中出现了一种特殊的尖峰状缺陷。利用高分辨率x射线衍射(HRXRD)、原子力显微镜(AFM)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)对外延的超晶格进行了表征和分析。结果表明,优化后的样品几乎为零晶格失配,超晶格0级峰半峰宽为39.3 arcsec,表面均方根粗糙度在10μm×10μm范围内达到1.72Å。红外吸收光谱显示50%的截止波长为4.28μm,PL谱显示InAs/InAs_(0.66)Sb_(0.34)超晶格4.58μm处有清晰锐利的发光峰。这些结果表明,外延生长的InAs/InAsSb超晶格稳定性和重复性良好,值得进一步的研究。 展开更多
关键词 InAs/inassb 超晶格 分子束外延 Ⅲ-Ⅴ族半导体材料
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势垒型InAs/InAsSbⅡ类超晶格红外探测器研究进展(特邀)
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作者 张春芳 柳渊 +9 位作者 巩明亮 刘炳锋 龚蕊芯 刘家伯 安和平 张东亮 郑显通 鹿利单 冯玉林 祝连庆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第12期31-46,共16页
红外探测技术在卫星侦察、军事制导、天文观测、医疗检测、现代通信等重要领域发挥着关键作用。Ⅱ类超晶格(T2SLs)红外探测器作为继碲镉汞探测器之后的新一代红外探测材料,在稳定性、可制造性和成本等方面具有独特优势。势垒型InAs/InAs... 红外探测技术在卫星侦察、军事制导、天文观测、医疗检测、现代通信等重要领域发挥着关键作用。Ⅱ类超晶格(T2SLs)红外探测器作为继碲镉汞探测器之后的新一代红外探测材料,在稳定性、可制造性和成本等方面具有独特优势。势垒型InAs/InAsSb T2SLs红外探测器是最具潜力的T2SLs红外探测器之一,近年来其关键性能得到了稳步提高,但仍受吸收系数低、异质外延生长困难和暗电流大等因素的制约。文中综述了Ⅲ-Ⅴ族T2SLs的发展历程,分析了势垒型InAs/InAsSb T2SLs红外探测器的不同势垒结构、关键性能和发展趋势,指出了势垒型InAs/InAsSb T2SLs红外探测器需要解决的关键问题和未来发展方向。 展开更多
关键词 红外探测器 T2SLs InAs/inassb 势垒结构
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GaSb衬底上InAsSb材料的电学性能研究
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作者 孙庆灵 姚官生 +6 位作者 曹先存 王禄 王文奇 孙令 王文新 贾海强 陈弘 《航空兵器》 2016年第3期59-61,共3页
采用分子束外延(MBE)法在GaSb衬底上生长了不同组分的InAsSb外延膜。通过引入Al GaSb插层,实现对导电GaSb衬底上InAsSb材料电学性质的定性表征,并研究了生长温度和晶格失配对InAsSb外延层电学性能的影响。测试结果表明,在较低生长温度... 采用分子束外延(MBE)法在GaSb衬底上生长了不同组分的InAsSb外延膜。通过引入Al GaSb插层,实现对导电GaSb衬底上InAsSb材料电学性质的定性表征,并研究了生长温度和晶格失配对InAsSb外延层电学性能的影响。测试结果表明,在较低生长温度下获得的样品表面会形成缺陷,且其电学性能较差。对于一定晶格失配的样品,提高生长温度能获得较好的电学性能。 展开更多
关键词 inassb 电学性能 分子束外延
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Growth and characteristics of InAsSb epilayers with a cutoff wavelength of 4.8 μm prepared by one-step liquid phase epitaxy 被引量:3
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作者 GAO Yuzhu GONG Xiuying +1 位作者 FANG Weizheng Akihiro Ishida 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第4期313-316,共4页
InAsSb epilayers with a cutoff wavelength of 4.8 μm have been successfully grown on InAs substrates by one-step liquid phase epitaxy (LPE) technology. The epilayers were characterized by X-ray diffraction (XRD), ... InAsSb epilayers with a cutoff wavelength of 4.8 μm have been successfully grown on InAs substrates by one-step liquid phase epitaxy (LPE) technology. The epilayers were characterized by X-ray diffraction (XRD), Fourier transform infrared (PTIR) transmittance measurements and scanning electron microscopy (SEM). The influence of different growth conditions on the optical and structural properties of the materials was studied. The results revealed that the good crystalline quality, mirror smooth surface and flat interface of InAsSb epilayers were achieved. They benefited from optimized growth conditions, i.e., sufficient homogeneity of the growth melt and a very slow cooling rate. 展开更多
关键词 inassb liquid phase epitaxy crystalline quality cutoff wavelength scanning electron microscopy
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Room-temperature operating extended short wavelength infrared photodetector based on interband transition of InAsSb/GaSb quantum well 被引量:1
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作者 Ling Sun Lu Wang +7 位作者 Jin-Lei Lu Jie Liu Jun Fang Li-Li Xie Zhi-Biao Hao Hai-Qiang Jia Wen-Xin Wang Hong Chen 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期396-400,共5页
Here in this paper,we report a room-temperature operating infrared photodetector based on the interband transition of an In As Sb/Ga Sb quantum well.The interband transition energy of 5-nm thick In As(0.91)Sb(0.09... Here in this paper,we report a room-temperature operating infrared photodetector based on the interband transition of an In As Sb/Ga Sb quantum well.The interband transition energy of 5-nm thick In As(0.91)Sb(0.09) embedded in the Ga Sb barrier is calculated to be 0.53 e V(2.35μm),which makes the absorption range of In As Sb cover an entire range from short-wavelength infrared to long-wavelength infrared spectrum.The fabricated photodetector exhibits a narrow response range from 2.0μm to 2.3μm with a peak around 2.1μm at 300 K.The peak responsivity is 0.4 A/W under-500-m Vapplied bias voltage,corresponding to a peak quantum efficiency of 23.8%in the case without any anti-reflection coating.At 300 K,the photodetector exhibits a dark current density of 6.05×10^-3A/cm^2 under-400-m V applied bias voltage and 3.25×10^-5A/cm^2 under zero,separately.The peak detectivity is 6.91×10^10cm·Hz^1/2/W under zero bias voltage at 300 K. 展开更多
关键词 inassb/GaSb quantum well interband transition PHOTODETECTOR room temperature operating
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光导型InAsSb红外探测器的研制 被引量:2
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作者 郭轶 吴广会 冯彦斌 《电子设计工程》 2012年第18期93-95,共3页
针对室温(293 K)条件下使用要求,采用InAsSb单晶材料加浸没透镜制作成2~9μm波段高灵敏度光导型InAsSb红外探测器。实测光谱响应值出现在1.656 5~8.989μm。在光谱响应波段范围内,最大响应度值为对比组C2、C3组。初步实现了室温(293 K... 针对室温(293 K)条件下使用要求,采用InAsSb单晶材料加浸没透镜制作成2~9μm波段高灵敏度光导型InAsSb红外探测器。实测光谱响应值出现在1.656 5~8.989μm。在光谱响应波段范围内,最大响应度值为对比组C2、C3组。初步实现了室温(293 K)使用要求,响应光谱2~9μm波段光导型InAsSb红外探测器设计目的。 展开更多
关键词 光导型红外探测器 inassb 长波红外材料 熔体外延
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