期刊文献+
共找到37篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
脉冲对InGaZnO薄膜晶体管性能的影响
1
作者 丘鹤元 谢鑫 +7 位作者 李宗祥 陈周煜 王宝强 王文超 刘正 刘耀 刘娜妮 王洋 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期466-471,共6页
超大尺寸IGZO(InGaZnO)产品在高温高湿(50℃/80%)信赖性评价中易发生异常显示不良(Abnormal Display,AD)。其不良原因主要是集成栅极驱动电路(Gate Driver On Array,GOA)的关键器件M2转移特性曲线(IDS-VGS)在评价中发生了严重正移。本... 超大尺寸IGZO(InGaZnO)产品在高温高湿(50℃/80%)信赖性评价中易发生异常显示不良(Abnormal Display,AD)。其不良原因主要是集成栅极驱动电路(Gate Driver On Array,GOA)的关键器件M2转移特性曲线(IDS-VGS)在评价中发生了严重正移。本文通过脉冲实验,模拟GOA关键器件M2的实际工作环境,重现了转移特性曲线严重正移的不良现象。通过设置不同的脉冲实验,揭示了造成不良的主要影响因素:M2器件关闭时,漏极与源极之间的压差VDS过大,使IGZO膜层内的氧空位V+O在电场作用下同时向IGZO与GI(Gate Insulator)的边界及源极端迁移,由于氧空位V+O对电子的捕获作用,最终导致转移特性曲线发生正移,并发现迁移的氧空位V+O经过加热后可以复原。此外,在不改变IGZO成膜条件下,通过减小M2器件关闭时的VDS压差,导入超大尺寸IGZO产品,高温高湿信赖性评价2000 h未发生AD不良。 展开更多
关键词 ingazno薄膜晶体管 集成栅极驱动电路 异常显示 阈值电压漂移
下载PDF
InGaZnO-based photoelectric synaptic devices for neuromorphic computing
2
作者 Jieru Song Jialin Meng +5 位作者 Tianyu Wang Changjin Wan Hao Zhu Qingqing Sun David Wei Zhang Lin Chen 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2024年第9期42-47,共6页
Photoelectric synaptic devices could emulate synaptic behaviors utilizing photoelectric effects and offer promising prospects with their high-speed operation and low crosstalk. In this study, we introduced a novel InG... Photoelectric synaptic devices could emulate synaptic behaviors utilizing photoelectric effects and offer promising prospects with their high-speed operation and low crosstalk. In this study, we introduced a novel InGaZnO-based photoelectric memristor. Under both electrical and optical stimulation, the device successfully emulated synaptic characteristics including excitatory postsynaptic current (EPSC), paired-pulse facilitation (PPF), long-term potentiation (LTP), and long-term depression (LTD). Furthermore, we demonstrated the practical application of our synaptic devices through the recognition of handwritten digits. The devices have successfully shown their ability to modulate synaptic weights effectively through light pulse stimulation, resulting in a recognition accuracy of up to 93.4%. The results illustrated the potential of IGZO-based memristors in neuromorphic computing, particularly their ability to simulate synaptic functionalities and contribute to image recognition tasks. 展开更多
关键词 ingazno artificial synapse neuromorphic computing photoelectric memristor
下载PDF
未退火InGaZnO作为缓冲层的InGaZnO薄膜晶体管性能研究 被引量:5
3
作者 苟昌华 武明珠 +4 位作者 郭永林 杨永强 关晓亮 段羽 王红波 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期602-607,共6页
铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)因具有场效应迁移率高,大面积均匀性好,无定型态等特点,被认为是显示器朝着大尺寸、柔性化方向发展的新型背板技术。源漏电极与有源层之间的接触氧化会增大器件的接触电阻,从而导致器件的性能降低。利... 铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO TFT)因具有场效应迁移率高,大面积均匀性好,无定型态等特点,被认为是显示器朝着大尺寸、柔性化方向发展的新型背板技术。源漏电极与有源层之间的接触氧化会增大器件的接触电阻,从而导致器件的性能降低。利用未退火IGZO具有氧含量低、氧空位多、电导率高的特点,提出采用未退火IGZO作为源漏电极缓冲层,以减少源漏电极与有源层之间的接触氧化。研究发现插入4nm未退火IGZO缓冲层时,相对于未采用缓冲层的器件,其饱和区场效应迁移率提高了11.6%,阈值电压降低了3.8V,器件性能有所提高。此外,该方法还可以在原位退火之后继续使用与有源层相同的材料溅射生长缓冲层,能够使得在采用矩形靶溅射方式的工业生产中,制备缓冲层工艺更加简单。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 ingazno 接触电阻 缓冲层
下载PDF
InGaZnO薄膜晶体管泄漏电流模型 被引量:3
4
作者 邓小庆 邓联文 +3 位作者 何伊妮 廖聪维 黄生祥 罗衡 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期219-225,共7页
研究了非晶氧化锌镓铟薄膜晶体管(amorphous InGaZnO thin-film transistor,InGaZnO TFT)的泄漏电流模型.基于Poole-Frenkel热发射效应和热离子场致发射效应的泄漏电流产生机制,分别得到了高电场和低电场条件下的载流子产生-复合率.在... 研究了非晶氧化锌镓铟薄膜晶体管(amorphous InGaZnO thin-film transistor,InGaZnO TFT)的泄漏电流模型.基于Poole-Frenkel热发射效应和热离子场致发射效应的泄漏电流产生机制,分别得到了高电场和低电场条件下的载流子产生-复合率.在此基础上推导得到了InGaZnO TFT的分段式泄漏电流-电压数学模型,并利用平滑函数得到了关断区和亚阈区连续统一的泄漏电流模型.所提出的泄漏电流模型的计算值和TCAD模拟值与实验结果较为吻合.利用所提出的InGaZnO TFT泄漏电流模型和TCAD模拟,讨论了InGaZnO TFT不同的沟道宽度、沟道长度和栅介质层厚度对泄漏电流值的影响.研究结果对InGaZnO TFT集成传感电路的设计具有一定参考价值. 展开更多
关键词 ingazno 泄漏电流 thin-film TRANSISTOR 器件模型
下载PDF
退火温度和Ga含量对溶液法制备InGaZnO薄膜晶体管性能的影响 被引量:1
5
作者 张世玉 喻志农 +3 位作者 程锦 吴德龙 栗旭阳 薛唯 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期317-323,共7页
采用溶液法在玻璃衬底上制备InGaZnO薄膜,并以InGaZnO为沟道层制备底栅顶接触型薄膜晶体管,研究了退火温度和Ga含量对InGaZnO薄膜和晶体管电学性能的影响.研究表明,退火可以明显改善溶液法制备InGaZnO薄膜晶体管的电学性能.退火温度的... 采用溶液法在玻璃衬底上制备InGaZnO薄膜,并以InGaZnO为沟道层制备底栅顶接触型薄膜晶体管,研究了退火温度和Ga含量对InGaZnO薄膜和晶体管电学性能的影响.研究表明,退火可以明显改善溶液法制备InGaZnO薄膜晶体管的电学性能.退火温度的升高会导致薄膜晶体管阈值电压的负向漂移,并且饱和迁移率和电流开关比增大.X射线光电子能谱测量表明,随退火温度的增加,InGaZnO薄膜表面吸附氧减少,沟道层中氧空位增多导致电子浓度增大.退火温度为380?C时,晶体管获得最佳性能.饱和迁移率随Ga含量的增加而减小.In:Ga:Zn摩尔比为5:1.3:2时,晶体管达到最佳性能:饱和迁移率为0.43 cm^2/(V·s),阈值电压为1.22 V,开关电流比为4.7×10~4,亚阈值摆幅为0.78 V/decade. 展开更多
关键词 ingazno 薄膜晶体管 溶液法 热退火
下载PDF
磁控溅射氧气流量对非晶InGaZnO薄膜特性的影响研究 被引量:2
6
作者 江凯 李远洁 毛玉政 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1180-1184,共5页
采用射频磁控溅射法在不同氧气流量条件下制备了非晶In Ga Zn O(a-IGZO)薄膜。利用霍尔效应,X射线光电子能谱(XPS)和光透过率谱研究了氧气流量对a-IGZO薄膜性能影响的规律。研究表明a-IGZO薄膜呈现n型半导体特性。当氧气流量为0.5 m L/... 采用射频磁控溅射法在不同氧气流量条件下制备了非晶In Ga Zn O(a-IGZO)薄膜。利用霍尔效应,X射线光电子能谱(XPS)和光透过率谱研究了氧气流量对a-IGZO薄膜性能影响的规律。研究表明a-IGZO薄膜呈现n型半导体特性。当氧气流量为0.5 m L/min时薄膜电子迁移率达到最大12 cm2/Vs。当氧气流量大于1 m L/min时,薄膜呈现出半绝缘电导特性。XPS揭示了a-IGZO薄膜中In,Ga,Zn元素均以In3+,Ga3+及Zn2+价态存在,氧气流量分别为0和4 m L/min的a-IGZO薄膜的O 1s高分辨率XPS图谱表明低氧气流量a-IGZO薄膜中存在与氧空位相关的氧晶格元素O 1s峰而高氧气流量样品中没有显示此峰,表明生长过程中增加氧气流量降低了a-IGZO中氧空位缺陷浓度。此外,a-IGZO薄膜在可见光范围内的光透过率随氧气流量的增加而提高,当氧气流量为1 m L/min时a-IGZO薄膜平均透过率达到80%,光学禁带宽度为3.37 e V,为实现高性能透明a-IGZO-TFT器件奠定基础。 展开更多
关键词 非晶ingazno薄膜 射频磁控溅射 X射线光电子谱 光吸收特性
下载PDF
InGaZnO薄膜晶体管背板的栅极驱动电路静电释放失效研究 被引量:5
7
作者 马群刚 周刘飞 +2 位作者 喻玥 马国永 张盛东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期290-296,共7页
本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array, GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor, IGZO TFT)器件发现:栅极Cu金属扩散进入了SiN_x/SiO_2栅极绝缘层;源... 本文通过解析阵列基板栅极驱动(gate driver on array, GOA)电路中发生静电释放(electro-static discharge,ESD)的InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin-film transistor, IGZO TFT)器件发现:栅极Cu金属扩散进入了SiN_x/SiO_2栅极绝缘层;源漏极金属层成膜前就发生了ESD破坏;距离ESD破坏区域越近的IGZO TFT,电流开关比越小,直到源漏极与栅极完全短路.本文综合IGZO TFT器件工艺、GOA区与显示区金属密度比、栅极金属层与绝缘层厚度非均匀性分布等因素,采用ESD器件级分析与系统级分析相结合的方法,提出栅极Cu:SiN_x/SiO_2界面缺陷以及这三层薄膜的厚度非均匀分布是导致GOA电路中沟道宽长比大的IGZO TFT发生ESD失效的关键因素,并针对性地提出了改善方案. 展开更多
关键词 CU互连 ingazno薄膜晶体管 阵列基板栅极驱动 静电释放
下载PDF
射频磁控溅射法沉积非晶InGaZnO薄膜及真空退火对其性能的影响 被引量:1
8
作者 江凯 李远洁 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期464-467,473,共5页
采用RF磁控溅射法在石英玻璃上制备了InGaZnO薄膜,并对薄膜进行了真空退火实验,探讨了沉积过程中氧气流量及真空退火温度对薄膜的光学性质和电学性质的影响及其机理。测试结果表明薄膜的光透过率随氧气流的增加而增大,且当氧气流大于1cm... 采用RF磁控溅射法在石英玻璃上制备了InGaZnO薄膜,并对薄膜进行了真空退火实验,探讨了沉积过程中氧气流量及真空退火温度对薄膜的光学性质和电学性质的影响及其机理。测试结果表明薄膜的光透过率随氧气流的增加而增大,且当氧气流大于1cm3/min时,薄膜呈现出不导电性,在通入的氧气流为0.5cm3/min时迁移率达11.9cm2/(V·s)。经过真空退火后,氧气流小于1.5cm3/min时薄膜载流子浓度随退火温度的变化而变化;氧气流大于1.5cm3/min时样品由半绝缘性转变为半导电性。生长样品和退火样品均为n型半导体。 展开更多
关键词 RF磁控溅射 ingazno薄膜 光学性质 电学性质 退火 氧空位
下载PDF
双栅非晶InGaZnO薄膜晶体管有源层厚度对电学性能的影响 被引量:3
9
作者 蔡旻熹 姚若河 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期61-66,72,共7页
双栅非晶InGaZnO薄膜晶体管(DG a-IGZO TFTs)具有比单栅a-IGZO TFTs更优良的电学性能.文中基于a-IGZO/SiO_2界面缺陷态呈指数型分布的模型,讨论了在界面缺陷态影响下双栅驱动的DG a-IGZO TFTs有源层厚度对电学性能的影响.研究结果表明:... 双栅非晶InGaZnO薄膜晶体管(DG a-IGZO TFTs)具有比单栅a-IGZO TFTs更优良的电学性能.文中基于a-IGZO/SiO_2界面缺陷态呈指数型分布的模型,讨论了在界面缺陷态影响下双栅驱动的DG a-IGZO TFTs有源层厚度对电学性能的影响.研究结果表明:随着有源层厚度的减小,双栅驱动模式下DG a-IGZO TFTs两栅极的耦合作用增强,有源层上、下表面的导电沟道向体内延伸,使器件的场效应迁移率显著增加;界面缺陷态对DG a-IGZO TFTs场效应迁移率的影响随着有源层厚度的减小而降低,对亚阈值摆幅的影响随着有源层厚度的减小而增大. 展开更多
关键词 双栅非晶ingazno薄膜晶体管 界面缺陷态 场效应迁移率 亚阈值摆幅
下载PDF
InGaZnO薄膜晶体管背板的层间Cu互连静电保护研究 被引量:2
10
作者 马群刚 王海宏 +2 位作者 张盛东 陈旭 王婷婷 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第15期331-339,共9页
InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistor,IGZO TFT)与Cu互连组合的驱动背板,在生产线机台上的抗静电放电(electrostatic discharge,ESD)耐压能力比传统a-Si TFT背板低将近一个数量级电压,数据线和扫描线层间Mo/Cu互连抗击穿电... InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistor,IGZO TFT)与Cu互连组合的驱动背板,在生产线机台上的抗静电放电(electrostatic discharge,ESD)耐压能力比传统a-Si TFT背板低将近一个数量级电压,数据线和扫描线层间Mo/Cu互连抗击穿电压只有传统a-Si TFT背板层间Mo/Al/Mo互连的60%左右.层间Cu互连的ESD破坏成为影响IGZO TFT超高清面板正常显示的一个重要因素.本文建立了扫描线层Cu金属扩散进入SiNx/SiO2绝缘层和数据线层Cu金属在爬坡拐角处扩散进入SiO2绝缘层,诱发层间Cu互连ESD破坏的机理模型.提出了Cu互连周边ESD保护电路架构三种基本结构的选型条件,以及保证层间Cu互连抗ESD击穿能力的ESD保护电路设计方法.利用本文提出的方法,有效降低了IGZO TFT背板的层间Cu互连ESD破坏风险. 展开更多
关键词 ingazno薄膜晶体管 CU互连 SiO2绝缘层 静电放电
下载PDF
高可靠性InGaZnO薄膜晶体管集成栅极驱动电路的研究 被引量:1
11
作者 周刘飞 邵贤杰 +2 位作者 陈旭 王海宏 王保平 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期3014-3020,共7页
InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO Thin Film Transistor,IGZO TFT)具有高迁移率特性,易实现高分辨率且高刷新率的有源矩阵液晶显示(Liquid Crystal Displays,LCD).然而,由于IGZO TFT长期运行后较严重的性能下降,集成栅极驱动电路(Gate Driver... InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO Thin Film Transistor,IGZO TFT)具有高迁移率特性,易实现高分辨率且高刷新率的有源矩阵液晶显示(Liquid Crystal Displays,LCD).然而,由于IGZO TFT长期运行后较严重的性能下降,集成栅极驱动电路(Gate Driver on Array,GOA)的使用寿命受到限制,这成为IGZO GOA在大尺寸LCD应用的一个关键障碍.本文提出一种具有双维持模块的高可靠性IGZO GOA电路,适用于大尺寸高分辨率LCD,其中维持电路产生的双极性脉冲偏压可以有效抑制IGZO TFT阈值电压(Threshold Voltage,V_(TH))漂移.详细分析了该GOA电路的工作原理,并进行了相关电学模拟.再者,表征了偏压温度应力下的TFT稳定性,以证明双极性脉冲偏压抑制V_(TH)漂移的有效性.采用本文提出的新型GOA电路,制作了55英寸UHD(3840×2160)高分辨率LCD,具有5 mm窄边框特征,其中GOA电路仅占用1.47 mm.此外,信赖性测试中,该GOA电路在高温高湿(60°C/90%)环境稳定工作1000小时.这些结果表明本文提出的IGZO GOA电路应用于大尺寸高分辨率LCD具有足够的可靠性. 展开更多
关键词 ingazno薄膜晶体管 集成栅极驱动 阈值电压漂移 双极性脉冲偏压 可靠性 拉伸-指数方程
下载PDF
一个非晶InGaZnO薄膜晶体管线性区陷阱态的提取方法
12
作者 徐飘荣 强蕾 姚若河 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第13期341-345,共5页
非晶InGaZnO(a-IGZO)薄膜在制备过程中形成的缺陷和弱键以陷阱态的形式非均匀分布在a-IGZO的带隙中,这些陷阱态会俘获栅压诱导的电荷,影响a-IGZO薄膜晶体管线性区迁移率、沟道电子浓度等,进而影响线性区的电学性能.本文基于线性区沟道... 非晶InGaZnO(a-IGZO)薄膜在制备过程中形成的缺陷和弱键以陷阱态的形式非均匀分布在a-IGZO的带隙中,这些陷阱态会俘获栅压诱导的电荷,影响a-IGZO薄膜晶体管线性区迁移率、沟道电子浓度等,进而影响线性区的电学性能.本文基于线性区沟道迁移率与沟道内的自由电荷与总电荷的比值成正比,分离出自由电荷以及陷阱态电荷.由转移特性和电容电压特性得到自由电荷以及陷阱态电荷对表面势的微分,分离出自由电子浓度和陷阱态浓度.通过对沟道层与栅绝缘层界面运用泊松方程以及高斯定理,考虑了沟道表面势与栅压的非均匀性关系,得出自由电子浓度以及陷阱态浓度与表面势的关系,最后通过陷阱态浓度与表面势求导得到线性区对应的态密度. 展开更多
关键词 非晶ingazno 薄膜晶体管 陷阱态 迁移率
下载PDF
Effects of active layer thickness on performance and stability of dual-active-layer amorphous InGaZnO thin-film transistors 被引量:1
13
作者 Wenxing Huo Zengxia Mei +6 位作者 Yicheng Lu Zuyin Han Rui Zhu Tao Wang Yanxin Sui Huili Liang Xiaolong Du 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第8期316-323,共8页
Dual-active-layer(DAL)amorphous InGaZnO(IGZO)thin-film transistors(TFTs)are fabricated at low temperature without post-annealing.A bottom low-resistance(low-R)IGZO layer and a top high-resistance(high-R)IGZO layer con... Dual-active-layer(DAL)amorphous InGaZnO(IGZO)thin-film transistors(TFTs)are fabricated at low temperature without post-annealing.A bottom low-resistance(low-R)IGZO layer and a top high-resistance(high-R)IGZO layer constitute the DAL homojunction with smooth and high-quality interface by in situ modulation of oxygen composition.The performance of the DAL TFT is significantly improved when compared to that of a single-active-layer TFT.A detailed investigation was carried out regarding the effects of the thickness of both layers on the electrical properties and gate bias stress stabilities.It is found that the low-R layer improves the mobility,ON/OFF ratio,threshold voltage and hysteresis voltage by passivating the defects and providing a smooth interface.The high-R IGZO layer has a great impact on the hysteresis,which changes from clockwise to counterclockwise.The best TFT shows a mobility of 5.41 cm^2/V·s,a subthreshold swing of 95.0 mV/dec,an ON/OFF ratio of 6.70×10^7,a threshold voltage of 0.24 V,and a hysteresis voltage of 0.13 V.The value of threshold voltage shifts under positive gate bias stress decreases when increasing the thickness of both layers. 展开更多
关键词 thin film TRANSISTOR ingazno dual-active-layer
下载PDF
Investigation and active suppression of self-heating induced degradation in amorphous InGaZnO thin film transistors
14
作者 Dong Zhang Chenfei Wu +6 位作者 Weizong Xu Fangfang Ren Dong Zhou Peng Yu Rong Zhang Youdou Zheng Hai Lu 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期575-579,共5页
Self-heating effect in amorphous InGaZnO thin-film transistors remains a critical issue that degrades device performance and stability, hindering their wider applications. In this work, pulsed current–voltage analysi... Self-heating effect in amorphous InGaZnO thin-film transistors remains a critical issue that degrades device performance and stability, hindering their wider applications. In this work, pulsed current–voltage analysis has been applied to explore the physics origin of self-heating induced degradation, where Joule heat is shortly accumulated by drain current and dissipated in repeated time cycles as a function of gate bias. Enhanced positive threshold voltage shift is observed at reduced heat dissipation time, higher drain current, and increased gate width. A physical picture of Joule heating assisted charge trapping process has been proposed and then verified with pulsed negative gate bias stressing scheme, which could evidently counteract the self-heating effect through the electric-field assisted detrapping process. As a result, this pulsed gate bias scheme with negative quiescent voltage could be used as a possible way to actively suppress self-heating related device degradation. 展开更多
关键词 AMORPHOUS ingazno thin-film TRANSISTOR SELF-HEATING effect threshold voltage SHIFT pulsed negative gate BIAS
下载PDF
Surface potential-based analytical model for InGaZnO thin-film transistors with independent dual-gates
15
作者 Yi-Ni He Lian-Wen Deng +3 位作者 Ting Qin Cong-Wei Liao Heng Luo Sheng-Xiang Huang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第4期415-419,共5页
An analytical drain current model on the basis of the surface potential is proposed for indium-gallium zinc oxide(InGaZnO)thin-film transistors(TFTs)with an independent dual-gate(IDG)structure.For a unified expression... An analytical drain current model on the basis of the surface potential is proposed for indium-gallium zinc oxide(InGaZnO)thin-film transistors(TFTs)with an independent dual-gate(IDG)structure.For a unified expression of carriers’distribution for the sub-threshold region and the conduction region,the concept of equivalent flat-band voltage and the Lambert W function are introduced to solve the Poisson equation,and to derive the potential distribution of the active layer.In addition,the regional integration approach is used to develop a compact analytical current-voltage model.Although only two fitting parameters are required,a good agreement is obtained between the calculated results by the proposed model and the simulation results by TCAD.The proposed current-voltage model is then implemented by using Verilog-A for SPICE simulations of a dual-gate InGaZnO TFT integrated inverter circuit. 展开更多
关键词 analytical model INDEPENDENT DUAL-GATE indium-gallium ZINC oxide(ingazno) surface potential
下载PDF
同步对称双栅InGaZnO薄膜晶体管电势模型研究 被引量:3
16
作者 覃婷 黄生祥 +2 位作者 廖聪维 于天宝 邓联文 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期267-273,共7页
研究了同步对称双栅氧化铟镓锌薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistors,IGZO TFTs)的沟道电势,利用表面电势边界方程联合Lambert函数推导得到了器件沟道电势的解析模型.该模型考虑了IGZO薄膜中存在深能态及带尾态等缺陷态密度,能够... 研究了同步对称双栅氧化铟镓锌薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistors,IGZO TFTs)的沟道电势,利用表面电势边界方程联合Lambert函数推导得到了器件沟道电势的解析模型.该模型考虑了IGZO薄膜中存在深能态及带尾态等缺陷态密度,能够同时精确地描述器件在亚阈区(sub-threshold)与开启区(above threshold)的电势分布.基于所提出的双栅IGZO TFT模型,讨论了不同厚度的栅介质层和有源层时,栅-源电压对双栅IGZO TFT的表面势以及中心势的调制效应.对比分析了该模型的计算值与数值模拟值,结果表明二者具有较高的符合程度. 展开更多
关键词 双栅薄膜晶体管 氧化铟镓锌 沟道电势 解析模型
下载PDF
非晶InGaZnO薄膜晶体管驱动OLED像素电路的仿真研究 被引量:2
17
作者 张丽 许玲 董承远 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1264-1268,共5页
为解决非晶InGaZnO薄膜晶体管(a-IGZO TFT)因其阈值电压漂移而导致的OLED电流衰减的问题,本文研究了基于a-IGZO TFT的有源矩阵有机发光显示(AMOLED)像素电路的阈值电压补偿问题。利用实验室制备的a-IGZO TFT器件进行参数提取后建立的SP... 为解决非晶InGaZnO薄膜晶体管(a-IGZO TFT)因其阈值电压漂移而导致的OLED电流衰减的问题,本文研究了基于a-IGZO TFT的有源矩阵有机发光显示(AMOLED)像素电路的阈值电压补偿问题。利用实验室制备的a-IGZO TFT器件进行参数提取后建立的SPICE仿真模型并进行仿真计算,对电压驱动型2T1C和4T1C的像素电路进行稳定性的比较研究,证明了4T1C电路对阈值漂移有非常好的补偿效果,并指出增加存储电容值和驱动TFT的宽长比可有效提高OLED电流的保持能力。 展开更多
关键词 非晶体铟镓锌氧化物 薄膜晶体管 有机发光二极管 像素电路
下载PDF
柔性非晶InGaZnO薄膜晶体管栅绝缘层的研究 被引量:1
18
作者 刘国超 张磊 +2 位作者 解海艇 周俨 董承远 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期43-47,共5页
采用磁控溅射方法,在聚酰亚胺薄膜上室温制备了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)柔性薄膜晶体管(TFT)。其中,栅绝缘层选择了不同厚度比例的氧化硅(SiO_x)与氧化坦(TaO_x)薄膜的搭配,对比研究了不同栅绝缘层结构的薄膜特性以及所对应的柔性TFT器件... 采用磁控溅射方法,在聚酰亚胺薄膜上室温制备了非晶铟镓锌氧(a-IGZO)柔性薄膜晶体管(TFT)。其中,栅绝缘层选择了不同厚度比例的氧化硅(SiO_x)与氧化坦(TaO_x)薄膜的搭配,对比研究了不同栅绝缘层结构的薄膜特性以及所对应的柔性TFT器件的操作特性和偏压稳定性。实验结果表明,TaO_x的成膜速率明显高于SiO_x;随着TaO_x所占比例的增加,栅绝缘层表面粗糙度降低,介电常数显著提高。以300nm厚TaO_x搭配300nm厚SiO_x为例,栅绝缘层相对介电常数可以达到10,对应的a-IGZOTFT表现出了更高的的开态电流和更低的阈值电压,但是器件漏电流略有增加,正偏压稳定性也会有所下降。 展开更多
关键词 栅绝缘层 柔性薄膜晶体管 非晶铟镓锌氧 磁控溅射
下载PDF
异步对称双栅InGaZnO薄膜晶体管表面电势的解析模型
19
作者 何伊妮 邓联文 +4 位作者 甄丽营 覃婷 廖聪维 罗衡 黄生祥 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期2480-2488,共9页
针对异步对称双栅结构的氧化铟镓锌(InGaZnO)薄膜晶体管(thin film transistors,TFTs),求解泊松方程,并根据载流子在亚阈区、导通区的不同分布特点,在亚阈区引入等效平带电压的概念,在导通区运用Lambert W函数近似,建立异步对称双栅InGa... 针对异步对称双栅结构的氧化铟镓锌(InGaZnO)薄膜晶体管(thin film transistors,TFTs),求解泊松方程,并根据载流子在亚阈区、导通区的不同分布特点,在亚阈区引入等效平带电压的概念,在导通区运用Lambert W函数近似,建立异步对称双栅InGaZnO TFT表面电势解析模型。该模型的拟合参数只有2个,能够较好地反映介电层厚度、沟道电压等参数对电势的影响。基于所建模型及TCAD分析,研究InGaZnO层厚度、栅介质层厚度以及缺陷态密度等物理量对独立栅控双栅晶体管表面电势的影响。研究结果表明:在亚阈区,表面电势随着底栅电压增大呈近似线性增大,且在顶栅电压调制作用下平移;在导通区,表面电势随着底栅电压的增加逐步饱和,且电势值与顶栅调制电压作用相关度小。表面电势的解析模型与TCAD数值计算结果对比,具有较高的吻合度;在不同缺陷态密度分布情况下,电势模型的计算值与TCAD分析值相对误差均小于10%。本研究成果有利于了解双栅InGaZnO TFT的导通机制,可用于InGaZnO TFT的器件建模及相关集成电路设计。 展开更多
关键词 双栅薄膜晶体管 表面势 解析模型 铟镓锌氧化物
下载PDF
热处理气氛对溶胶-凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响
20
作者 李倩 李喜峰 张建华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期442-445,450,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响。并用于薄膜晶体管(TFT)的有源层,制备的a-IGZO TFT,其具有明显的转移特性,其关态电... 采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响。并用于薄膜晶体管(TFT)的有源层,制备的a-IGZO TFT,其具有明显的转移特性,其关态电流为10-11 A,退火能够改善a-IGZO TFT器件性能,器件的开关比提高了两个数量级。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 a-IGZO薄膜 薄膜晶体管
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部