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ITO/AgNWs/ITO薄膜的制备及其性能研究
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作者 杨涛 陈彩明 +4 位作者 黄瑜佳 吴少平 徐华蕊 汪坤喆 朱归胜 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第7期1150-1159,共10页
随着显示面板向超大尺寸、超高清、可触控的方向发展,单一的氧化铟锡(ITO)薄膜难以满足显示器件越来越高的光电性能要求,因此复合导电薄膜得以发展。本文制备了以二维银纳米线(AgNWs)导电网络嵌入ITO薄膜形成的ITO(222)/AgNWs/ITO(400)... 随着显示面板向超大尺寸、超高清、可触控的方向发展,单一的氧化铟锡(ITO)薄膜难以满足显示器件越来越高的光电性能要求,因此复合导电薄膜得以发展。本文制备了以二维银纳米线(AgNWs)导电网络嵌入ITO薄膜形成的ITO(222)/AgNWs/ITO(400)复合薄膜结构,系统研究了AgNWs添加量和上层ITO薄膜溅射温度对复合薄膜结构与光电性能的影响,AgNWs金属导电网络不仅提升了薄膜的电学性能,还保持了优良的光学性能。结果表明,在旋涂600μL的AgNWs分散液、上层ITO薄膜的溅射温度为175℃时,制备的复合ITO薄膜方阻为7.13Ω/□,在550 nm处透过率为91.52%,且品质因数为57.82×10^(-3)Ω^(-1),实现了超低电阻率和高可见光透过率复合ITO薄膜的制备。 展开更多
关键词 ito薄膜 磁控溅射 AgNWs 导电网络 复合薄膜 光电性能 溅射温度
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模压成型压力对氧化铟锡(ITO)靶材性能影响研究
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作者 姜峰 谭泽旦 +5 位作者 黄誓成 方志杰 陆映东 覃立仁 王永清 曾纪术 《矿冶工程》 CAS 北大核心 2024年第1期134-137,142,共5页
以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料,通过模压、冷等静压成型,采用常压烧结法制备了ITO靶材,研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明,模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时,制得的ITO靶材相对... 以化学共沉淀-煅烧法制备的纳米ITO粉体为原料,通过模压、冷等静压成型,采用常压烧结法制备了ITO靶材,研究了模压成型压力对ITO靶材相对密度、电阻率和晶粒尺寸的影响。结果表明,模压成型压力60 MPa且烧结条件适宜时,制得的ITO靶材相对密度为99.81%、电阻率为1.707×10^(-4)Ω·cm、平均晶粒尺寸为7.62μm。研究结果可为ITO靶材的致密化与大型化生产提供借鉴。 展开更多
关键词 模压成型 氧化铟锡 导电薄膜 靶材 常压烧结 电阻率 致密化
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ITO负载单原子钇吸附NO和CO的第一性原理研究
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作者 曹宇 吴海龙 +4 位作者 邱辰 张立志 王泽瑞 钟山 周晓龙 《原子与分子物理学报》 北大核心 2024年第6期39-45,共7页
基于密度泛函理论,对氧化铟锡(Indium Tin Oxide,ITO)表面负载单原子Y模型的表面性能进行了第一性原理计算.根据表面能计算结果可知,单原子Y最稳定负载位置为空位(H),即确定了ITO负载单原子钇(Single-atom Y supported on ITO,Y/ITO)稳... 基于密度泛函理论,对氧化铟锡(Indium Tin Oxide,ITO)表面负载单原子Y模型的表面性能进行了第一性原理计算.根据表面能计算结果可知,单原子Y最稳定负载位置为空位(H),即确定了ITO负载单原子钇(Single-atom Y supported on ITO,Y/ITO)稳定模型.对ITO和Y/ITO表面吸附气体分子(NO和CO)模型的吸附性能进行了第一性原理计算.根据对比ITO和Y/ITO表面的吸附能和态密度计算结果可知,单原子钇负载提高了ITO表面的稳定性和吸附性能.根据对比Y/ITO表面吸附NO和CO气体分子的吸附能和态密度计算结果可知,NO和CO气体分子吸附均为自发行为,过程放热.且NO气体分子更容易吸附在Y/ITO表面,即Y/ITO对NO气体分子更敏感. 展开更多
关键词 NO CO 单原子钇 吸附 第一性原理 ito
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ITO导电玻璃单颗磨粒切削机理仿真试验研究
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作者 邱晓龙 孙兴伟 +3 位作者 刘寅 杨赫然 董祉序 张维锋 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2024年第3期354-362,共9页
为研究氧化铟锡(indium tin oxide,ITO)导电玻璃材料的去除机理,采用单磨粒对材料进行切削仿真,建立了ITO导电玻璃的材料模型,根据加工表面形貌、应力和切削力情况分析了材料去除机理,之后研究了切削参数对切削力和残余应力的影响,并与... 为研究氧化铟锡(indium tin oxide,ITO)导电玻璃材料的去除机理,采用单磨粒对材料进行切削仿真,建立了ITO导电玻璃的材料模型,根据加工表面形貌、应力和切削力情况分析了材料去除机理,之后研究了切削参数对切削力和残余应力的影响,并与钠钙玻璃进行对比分析。结果表明:在磨粒的切削过程中,材料的去除受ITO薄膜层、玻璃基底和内聚力接触行为的共同影响,会产生分层、通道开裂和层间断裂等失效形式;随着磨粒的进给,切削力在一定范围内波动,且呈现上升、稳定、降低的变化,同时磨粒的切削力与切削速度和切削深度呈正相关;薄膜上残余应力相比玻璃基底,数值更大且波动更剧烈;当切削深度接近ITO薄膜厚度时,薄膜的存在对磨粒切削行为的影响显著。 展开更多
关键词 ito导电玻璃 材料去除机理 切削力 残余应力
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Transparent conducting indium-tin-oxide(ITO) film as full front electrode in Ⅲ–Ⅴ compound solar cell 被引量:1
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作者 代盼 卢建娅 +6 位作者 谭明 王青松 吴渊渊 季莲 边历峰 陆书龙 杨辉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第3期495-499,共5页
The application of transparent conducting indium-tin-oxide (ITO) film as full front electrode replacing the conven- tional bus-bar metal electrode in III-V compound GalnP solar cell was proposed. A high-quality, non... The application of transparent conducting indium-tin-oxide (ITO) film as full front electrode replacing the conven- tional bus-bar metal electrode in III-V compound GalnP solar cell was proposed. A high-quality, non-rectifying contact between ITO and 10 nm N+-GaAs contact layer was formed, which is benefiting from a high carrier concentration of the terrilium-doped N+-GaAs layer, up to 2×10^19 cm^-3. A good device performance of the GalnP solar cell with the ITO electrode was observed. This result indicates a great potential of transparent conducting films in the future fabrication of larger area flexible III-V solar cell. 展开更多
关键词 full indium-tin-oxide (ito electrode specific contact resistance solar cell
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基于ITO的Co-ZnO电极的制备及对邻苯二酚的检测评价
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作者 马寅 杨意 +3 位作者 吴青华 缪楚宇 武莹 李宇春 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期206-211,217,共7页
采用分布电沉积法在ITO导电玻璃表面制备Co-ZnO电极传感器,并将其用于邻苯二酚的分析检测。利用SEM、EDS和XRD对制备的Co-ZnO电极进行表面形貌、元素组成和晶体结构分析,并利用循环伏安法和计时电流法对其进行电化学分析。结果表明,Co-... 采用分布电沉积法在ITO导电玻璃表面制备Co-ZnO电极传感器,并将其用于邻苯二酚的分析检测。利用SEM、EDS和XRD对制备的Co-ZnO电极进行表面形貌、元素组成和晶体结构分析,并利用循环伏安法和计时电流法对其进行电化学分析。结果表明,Co-ZnO电极对邻苯二酚具有非常明显的电催化活性,通过测试分析得到其线性范围为0.01~10 mmol/L、灵敏度为1429.67 mA/(mM·cm^(2))、检出限为0.87μmol/L。通过干扰试验可知,Co-ZnO电极对其有良好的选择性,且电极的重现性良好。 展开更多
关键词 邻苯二酚 ito导电玻璃 Co-ZnO电极 电沉积
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退火处理对低阻LCD屏ITO薄膜光电性能的影响
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作者 武洋 贾文友 +2 位作者 刘莉 郑建军 徐娇 《盐城工学院学报(自然科学版)》 CAS 2024年第1期75-78,共4页
采用磁控溅射法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,对制备好的ITO薄膜样品进行不同温度、不同时间的退火处理。用WGT-S透过率雾度仪、四探针测试仪测量退火后的电阻屏ITO薄膜光电性能参数,并采用扫描电子显微镜观测退火前后薄膜的表面状态,分析退... 采用磁控溅射法制备氧化铟锡(ITO)薄膜,对制备好的ITO薄膜样品进行不同温度、不同时间的退火处理。用WGT-S透过率雾度仪、四探针测试仪测量退火后的电阻屏ITO薄膜光电性能参数,并采用扫描电子显微镜观测退火前后薄膜的表面状态,分析退火处理对电阻屏ITO薄膜光电性能的影响。研究结果表明:制备的ITO薄膜的最佳退火温度为400℃,退火时间约为70 min。 展开更多
关键词 ito薄膜 退火温度 退火时间 光电性能
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ITO薄膜的制备及其光电性能研究
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作者 黄惜惜 赵桂香 +3 位作者 扬川苏 张中建 高荣刚 黄国平 《太阳能》 2024年第4期94-100,共7页
随着HJT太阳电池的发展,对其氧化铟锡(ITO)薄膜的研究日益增多。通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备ITO薄膜,研究了氧含量、溅射功率、沉积温度及溅射气压对ITO薄膜光电性能的影响。研究结果显示:1)ITO薄膜的光电性能对氧含量较为敏感... 随着HJT太阳电池的发展,对其氧化铟锡(ITO)薄膜的研究日益增多。通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备ITO薄膜,研究了氧含量、溅射功率、沉积温度及溅射气压对ITO薄膜光电性能的影响。研究结果显示:1)ITO薄膜的光电性能对氧含量较为敏感,随着氧含量增加,ITO薄膜的电阻率也随之增加,而透过率则呈先上升后下降,然后基本保持不变的趋势;2)随着沉积温度升高,ITO薄膜的透过率也随之升高,而电阻率则呈先下降后上升的趋势;3)随着溅射气压的升高,ITO薄膜的电阻率呈上升趋势,而透过率则是先降低再略微升高;4)当氧含量在1.8%~2.0%,溅射功率在3000~4000 W,沉积温度在150~190℃,溅射气压在0.5~0.7 Pa时,ITO薄膜具有较优的光电性能。因此,在合理范围内提高沉积温度,其则会具有退火作用,有助于进一步改善ITO薄膜的光电性能。 展开更多
关键词 太阳电池 磁控溅射 氧含量 沉积温度 ito薄膜 光电性能
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柔性精细铜引线Cu/ITO蚀刻液的制备及工艺研究
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作者 吕志明 《山东化工》 CAS 2024年第9期23-27,32,共6页
目的:为实现柔性精细铜引线,通过配制Cu/ITO双膜系蚀刻液并对其蚀刻工艺进行研究,得到蚀刻液的合理配比和最佳的工艺参数。方法:通过配制的蚀刻液进行分析,测试其对Cu膜的蚀刻程度,通过对蚀刻温度、喷淋压力、蚀刻时间、药液浓度等工艺... 目的:为实现柔性精细铜引线,通过配制Cu/ITO双膜系蚀刻液并对其蚀刻工艺进行研究,得到蚀刻液的合理配比和最佳的工艺参数。方法:通过配制的蚀刻液进行分析,测试其对Cu膜的蚀刻程度,通过对蚀刻温度、喷淋压力、蚀刻时间、药液浓度等工艺参数进行调整控制,利用蚀刻液的高选择性,使Cu/ITO双膜系刻蚀一步完成图案化。结果:通过试验得到Cu/ITO双膜系蚀刻液的合理配比和最佳的工艺参数,进行批量化试验生产得到线宽线距L/S规格为(35±5)μm的产品,生产的Cu-Film Sensor在外观及功能测试方面可达到规格要求,金属铜线路边缘整齐美观,绝缘性在50 MΩ以上,蚀刻后膜层附着力达到5B,产品高温高湿可靠性均符合规格要求,制程C pK大于1.33。意义:该工艺整个过程操作简练、安全环保而且配制的药液体系更加均匀稳定,可进行批量化稳定生产。 展开更多
关键词 精细铜引 Cu/ito双膜系 蚀刻液 图案化
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ITO靶材废料回收铟技术研究进展
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作者 刘鸿飞 李继 +1 位作者 曹银镭 王波 《价值工程》 2024年第2期166-168,共3页
ITO靶材废料的高效回收利用对全球铟资源循环与环境保护具有重要意义。本文概述了ITO靶材废料回收铟的现有技术,分析其优缺点,并提出适用于产业化应用的高效绿色回收铟技术。
关键词 ito靶材 回收
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应用于LED的ITO薄膜光电性能研究
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作者 高鹏飞 石磊 《光源与照明》 2024年第1期49-51,共3页
为提高出光效率,在出光面和电极之间需要一种导电性好、透光性高的薄膜材料。文章研究了直流磁控溅射法制备应用于LED的ITO薄膜时,O2流量、溅射功率、溅射气压等工艺参数对薄膜光电性能的影响,并通过实验得出结论。
关键词 LED ito薄膜 磁控溅射 光电性能
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离线磁控溅射制备ITO镀膜玻璃及其应用
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作者 陈大伟 《玻璃》 2024年第5期19-24,共6页
低辐射镀膜玻璃具有良好的透光性、优异的隔热性、保温性,被广泛地应用到节能门窗及节能建筑领域。基于对离线磁控溅射生产ITO导电膜玻璃进行详细介绍,分析其制备工艺、产品特点,通过与常规含Ag的Low-E玻璃样品进行理化试验对比,在此工... 低辐射镀膜玻璃具有良好的透光性、优异的隔热性、保温性,被广泛地应用到节能门窗及节能建筑领域。基于对离线磁控溅射生产ITO导电膜玻璃进行详细介绍,分析其制备工艺、产品特点,通过与常规含Ag的Low-E玻璃样品进行理化试验对比,在此工艺下制备的ITO镀膜玻璃透过率高、具有良好的耐酸碱腐蚀性和耐磨性,应用前景广阔。 展开更多
关键词 离线磁控溅射 ito 镀膜玻璃
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ITO靶材用高纯纳米二氧化锡制备研究
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作者 唐祥俊 樊繁 +2 位作者 赵明勇 徐灿辉 梁国来 《新疆有色金属》 2024年第3期47-48,共2页
以SnCl_(4)·5H_(2)O为原料,用尿素沉淀法制备了高纯纳米SnO_(2)粉体。研究了尿素用量、中和反应温度、煅烧温度、洗涤次数等对粉体粒径和纯度的影响,优化纳米SnO_(2)粉体制备工艺,并通过SEM、BET、ICP等技术对SnO_(2)粉体进行粒径... 以SnCl_(4)·5H_(2)O为原料,用尿素沉淀法制备了高纯纳米SnO_(2)粉体。研究了尿素用量、中和反应温度、煅烧温度、洗涤次数等对粉体粒径和纯度的影响,优化纳米SnO_(2)粉体制备工艺,并通过SEM、BET、ICP等技术对SnO_(2)粉体进行粒径、纯度等性能表征。结果表明所制备的纳米SnO_(2)粉体平均粒径在20~30 nm之间,粒径分布均匀,纯度在99.99%以上,符合ITO靶材用高纯纳米SnO_(2)粉体的粒径分布和纯度要求。 展开更多
关键词 纳米SnO_(2) 尿素沉淀法 ito
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Ito方程的Painlevé分析与精确解
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作者 吴雯雯 毛辉 《南宁师范大学学报(自然科学版)》 2024年第1期15-20,共6页
该文用Painlevé方法验证了Ito方程的可积性.从Ito方程的Laurent展开式出发,通过有限项截断得到一个B cklund变换然后用B cklund变换构造了Ito方程的一些有趣的精确解.
关键词 ito方程 PAINLEVÉ分析 B cklund变换 精确解
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Dependence of Performance of Organic Light-emitting Devices on Sheet Resistance of Indium-tin-oxide Anodes 被引量:2
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作者 ZHOU Liang ZHANG Hong-jie YU Jiang-bo MENG Qing-guo PENG Chun-yun LIU Feng-yi DENG Rui-ping PENG Ze-ping LI Zhe-feng 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 2006年第4期427-431,共5页
The dependence of the performance of organic light-emitting devices(OLEDs) on the sheet resistance of indiumtin-oxide(ITO) anodes was investigated by measuring the steady state current density brightness voltage c... The dependence of the performance of organic light-emitting devices(OLEDs) on the sheet resistance of indiumtin-oxide(ITO) anodes was investigated by measuring the steady state current density brightness voltage characteristics and the electroluminescent spectra. The device with a higher sheet resistance anode shows a lower current density, a lower brightness level, and a higher operation voltage. The electroluminescence(EL) efficiencies of the devices with the same structure but different ITO anodes show more complicated differences. Furthermore, the shift of the light-emitting zone toward the anode was found when an anode with a higher sheet resistance was used. These performance differences are discussed and attributed to the reduction of hole injection and the increase in voltage drop over ITO anode with the increase in sheet resistance. 展开更多
关键词 Organic light-emitting device(OLED) indium-tin-oxide(ito) Sheet resistance Balance of holes and electrons
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射频溅射Indium-Tin-Oxide薄膜的结构和光电性质
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作者 简基康 郑毓峰 +2 位作者 马忠权 李冬来 徐少辉 《新疆大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第3期6-22,共17页
用磁控射频溅射方法制备 Indium- Tin- Oxide(ITO)薄膜 ,研究了基片温度对薄膜结构、光、电性质的影响 .基片温度 41 0°时 ,结晶最好 ,相应的电学性质最优 ,并且解释了电学性质随结构变化的微观原因 .样品在可见光谱区的平均透过... 用磁控射频溅射方法制备 Indium- Tin- Oxide(ITO)薄膜 ,研究了基片温度对薄膜结构、光、电性质的影响 .基片温度 41 0°时 ,结晶最好 ,相应的电学性质最优 ,并且解释了电学性质随结构变化的微观原因 .样品在可见光谱区的平均透过率超过 80 % ,受基片温度影响不大 ,确定薄膜的光能隙为 3. 展开更多
关键词 射频溅射 ito薄膜 氧化物半导体 光电性质 结构
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Effects of SiO_2 and TiO_2 on resistance stabilities of flexible indium-tin-oxide films prepared by ion assisted deposition 被引量:2
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作者 LI Yuqiong YU Zhinong +3 位作者 WANG Wuyu FAN Yuejiang DING Zhao XUE Wei 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第6期559-563,共5页
Inorganic buffer layers such as SiO2 or TiO2 and transparent conductive indium-tin-oxide (ITO) films were prepared on polyethylene terephthalate (PET) substrates by ion assisted deposition (IAD) at room temperat... Inorganic buffer layers such as SiO2 or TiO2 and transparent conductive indium-tin-oxide (ITO) films were prepared on polyethylene terephthalate (PET) substrates by ion assisted deposition (IAD) at room temperature, and the effects of SiO2 and TiOzon the bending resistance performance of flexible ITO films were investigated. The results show that ITO films with SiO2 or TiO2 buffer layer have better resistance stabilities compared to ones without the buffer layer when the ITO films are inwards bent at a bending radius more than 1.2 cm and when the ITO films are outwards bent at a bending radius from 0.8 cm to 1.2 cm. 1TO films with SiO2 buffer layer have better resistance sta- bilities compared to ones with TiO2 buffer layer after the ITO fdms are bent several hundreds of cycles at the same bending radius, for the adhesion of SiO2 is stronger than that of TiO2. The compressive stress resulted from inward bending leads to the formation of more defects in the ITO films compared with the tensile stress arising from outward bending. SiO2 and TiO2 buffer layers can effectively improve the crystallinity of ITO films in (400), (440) directions. 展开更多
关键词 indium-tin-oxide (ito inorganic buffer layers bending resistance performance stress ion assisted deposition (IAD)
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Thin Film of Mesoporous MCM-41 Grown on Indium-Tin-Oxide Glass Substrate 被引量:1
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作者 Zhang, J Xiong, HM +3 位作者 Ding, H Cai, Q Chen, JS Pang, WQ 《Chinese Chemical Letters》 SCIE CAS CSCD 1999年第4期335-338,共4页
From a basic solution containing celyltrimethylammonium cations as the template, thin film of mesoporous MCM-41 has been grown on the surface of a pre-treated indium-tin-oxide conducting glass substrate. The channel a... From a basic solution containing celyltrimethylammonium cations as the template, thin film of mesoporous MCM-41 has been grown on the surface of a pre-treated indium-tin-oxide conducting glass substrate. The channel axis of the film is oriented parallel with the surface plane of the substrate, and the film is stable after careful removal of template in vacuum. 展开更多
关键词 MESOPOROUS MCM-41 film ito glass substrate basic medium SYNTHESIS
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基于机器视觉的ITO导电玻璃缺陷检测系统设计 被引量:2
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作者 熊节 殷建 +1 位作者 刘劲松 周秋俊 《黑龙江工业学院学报(综合版)》 2023年第6期94-102,共9页
针对传统人工检测ITO导电玻璃缺陷时存在错检、漏检、效率低等问题,提出一种基于机器视觉的ITO导电玻璃缺陷检测方法。首先,提出了一种基于线扫描相机和多光源同时曝光合成图像的成像方案,使表面缺陷检测项与易误干扰项形成不同特征;其... 针对传统人工检测ITO导电玻璃缺陷时存在错检、漏检、效率低等问题,提出一种基于机器视觉的ITO导电玻璃缺陷检测方法。首先,提出了一种基于线扫描相机和多光源同时曝光合成图像的成像方案,使表面缺陷检测项与易误干扰项形成不同特征;其次,采用Blob分析方法对明暗场图像分类处理实现对划痕、气泡、划伤等表面缺陷的检测;最后,利用C#Winform实现具备友好的人机操作界面的检测软件系统。实验结果表明,系统综合漏检率为0.25%、误判率为4.07%,对单片玻璃的检测时间为2.3s,同传统人工目检方式相比,系统检测具有较高的效率和正确率,具备较高的实用价值。 展开更多
关键词 机器视觉 ito导电玻璃缺陷 明暗场成像 BLOB分析
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TiN、Ti插入层对ITO与GaN欧姆接触性能影响的研究
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作者 孟文利 张育民 +2 位作者 孙远航 王建峰 徐科 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1609-1616,共8页
透明半导体铟锡氧化物(ITO)作为电极能够降低光导开关电极边缘电流集聚效应和提高脉冲激光的利用率。本文通过在ITO与GaN界面之间分别插入10 nm的Ti与TiN,研究Ti、TiN对ITO与GaN欧姆接触性能的影响。I-V测试结果表明,随着退火温度升高,... 透明半导体铟锡氧化物(ITO)作为电极能够降低光导开关电极边缘电流集聚效应和提高脉冲激光的利用率。本文通过在ITO与GaN界面之间分别插入10 nm的Ti与TiN,研究Ti、TiN对ITO与GaN欧姆接触性能的影响。I-V测试结果表明,随着退火温度升高,插入TiN的光导开关一直保持欧姆接触特性,而插入Ti的光导开关由欧姆接触转变为肖特基接触。通过TEM测试发现,当以Ti作为插入层时,ITO通过插入层向插入层与GaN的界面扩散,在接触界面形成Ti的氧化物及空洞。透射光谱显示,不同退火温度下插入Ti层的透过率均低于38.3%,而以TiN作为插入层时透过率为38.8%~55.0%。因此含有TiN的光导开关具有更稳定的电学性能和更高的透过率,这为GaN光导开关在高温高功率领域的应用提供了参考。 展开更多
关键词 GaN光导开关 ito TI TIN 欧姆接触
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