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New developments for vacuum coating of steel strips
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作者 Christoph METZNER Bert SCHEFFEL +2 位作者 Jens Peter HEINSS Henry MORGNER Frank HAENDEL 《Baosteel Technical Research》 CAS 2010年第S1期40-,共1页
Vapor deposited coatings onto strip steel are a promising alternative as functional layers for corrosion protection or high abrasion resistance.Conventional coating systems have some limits regarding environmental com... Vapor deposited coatings onto strip steel are a promising alternative as functional layers for corrosion protection or high abrasion resistance.Conventional coating systems have some limits regarding environmental compatibility,the range of coating materials and application properties. Physical vapor deposition(PVD) is an environment-friendly technology and enables nearly unlimited material and process variety.Electron beam high-rate evaporation with deposition rates up to some micrometers per second is the most productive PVD technology for low cost coating.The combination of evaporation with powerful plasma is an efficient way to improve the layer properties.The developed plasma sources can be used for special plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) processes too. The paper gives an overview about the latest developments in these technologies.Furthermore,the paper explains some examples of new layer stacks onto steel strips.While enhanced corrosion protection can be obtained by magnesium,aluminium or copper containing coatings other functional surface properties come more and more in the focus of interest.For instance,decorative gold colored layers,transparent scratch resistant layers,hard coatings and photo catalytic layers were deposited on running steel strips.Functional layers and layer systems for energy saving and sun energy absorption by solar thermal effects and photo voltaics are under development.The coatings are prepared under the conditions of very high deposition rates using our in-line vacuum coater for metallic strips and sheets with the name MAXI.The influence of the process and plasma parameters on the layer properties were investigated and will be demonstrated for some applications. 展开更多
关键词 surface technology steel strip vacuum coating PVD plasma activated electron beam evaporation PECVD corrosion protection decorative coatings
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Preparation and characterization of PTFE coating in new polymer quartz piezoelectric crystal sensor for testing liquor products 被引量:2
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作者 谷宇 李强 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期544-547,共4页
A new method was developed based on the electron beam vacuum dispersion(EBVD) technology to prepare the PTFE polymer coating of the new polymer quartz piezoelectric crystal sensor for testing liquor products. The ne... A new method was developed based on the electron beam vacuum dispersion(EBVD) technology to prepare the PTFE polymer coating of the new polymer quartz piezoelectric crystal sensor for testing liquor products. The new method was applied in the new EBVD equipment which we designed. A real-time system monitoring the polymer coating's thickness was designed for the new EBVD equipment according to the quartz crystal microbalance(QCM) principle, playing an important role in preparing stable and uniform PTFE polymer coatings of the same thickness. 30 pieces of PTFE polymer coatings on the surface of the quartz crystal basis were prepared with the PTFE polymer ultrafine powder(purity ≥ 99.99%)as the starting material. We obtained 30 pieces of new PTFE polymer sensors. By using scanning electron microscopy(SEM), the structure of the PTFE polymer coating's column clusters was studied. One sample from the 30 pieces of new PTFE polymer sensors was analysed by SEM in four scales, i.e., 400×, 1000×, 10000×, and 25000×. It was shown that under the condition of high bias voltage and low bias current, uniformly PTFE polymer coating could be achieved, which indicates that the new EBVD equipment is suitable for mass production of stable and uniform polymer coating. 展开更多
关键词 PTFE coating electron beam vacuum dispersion mass production of polymer coating
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硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜 被引量:9
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作者 付秀华 孙钰林 +1 位作者 贺才美 董洁凌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期803-806,共4页
由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45... 由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45°。选取了ZnS和YbF3作为高低折射率材料,设计并通过软件优化出合理的膜系,采用电子枪离子辅助沉积系统进行镀制。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。这对于红外光学系统的应用具有极其重要的意义。 展开更多
关键词 光学薄膜 红外增透膜 离子辅助沉积 牢固度
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用热应力法研究二氧化碲晶体表面连接层材料的特性 被引量:3
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作者 付秀华 潘永刚 +2 位作者 董军 刘冬梅 张静 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期31-35,共5页
以声光晶体TeO_2为衬底,设计并研制了1 300~3 400nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发,建立膜层热应力受力示意图,结合TeO_2晶体的特性和力矩判定方法,采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明:所... 以声光晶体TeO_2为衬底,设计并研制了1 300~3 400nm波段超宽带减反射膜.从薄膜热应力理论出发,建立膜层热应力受力示意图,结合TeO_2晶体的特性和力矩判定方法,采用解析法逆向计算分析薄膜材料的热膨胀系数及杨氏模量.实验验证表明:所制备的膜层附着力在1300~3400nm波段平均透过率为96.8%;在相同工艺条件下,采用连接层所制备的薄膜附着力更好,可以解决脱膜问题,满足相应的附着力检测要求. 展开更多
关键词 薄膜 红外减反射膜 真空电子束镀膜 TeO2晶体 薄膜热应力 力矩判定 声光可调滤波器
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可见光波段及1064nm波长处用于Glan-Taylor棱镜减反射膜 被引量:3
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作者 郝殿中 苏富芳 +2 位作者 宋连科 吴福全 李国华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期307-310,共4页
为了提高Glan-Taylor棱镜的透射率,研究了Glan-Taylor棱镜在可见光波段及1064nm波长处减反射膜膜的设计和制备.为提高薄膜和冰洲石晶体的附着力,采用沉积Al2O3为过渡层,ZrO2作缓冲层的方法,用单纯形优化的方法进行膜系优化设计.用电子... 为了提高Glan-Taylor棱镜的透射率,研究了Glan-Taylor棱镜在可见光波段及1064nm波长处减反射膜膜的设计和制备.为提高薄膜和冰洲石晶体的附着力,采用沉积Al2O3为过渡层,ZrO2作缓冲层的方法,用单纯形优化的方法进行膜系优化设计.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜,并采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明,在可见光波段及1064nm波长处的剩余反射率均小于0.5%经测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好. 展开更多
关键词 光学薄膜 Glan-Taylor棱镜 减反射膜 离子辅助电子束镀膜
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电子束固化涂料在直接真空镀铝纸上的应用研究 被引量:3
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作者 余振华 曾晓鹰 +5 位作者 郑迪生 詹建波 李赓 薛守成 谭海龙 刘庆广 《涂料工业》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期65-68,80,共5页
通过对电子束辐射固化的自由基机理和阳离子机理的优缺点对比分析,结合生产设备的实际情况,确定以丙烯酸酯类稀释剂及预聚物为主体的电子束固化用涂料体系;用红外光谱跟踪了丙烯酸酯类不饱和双键的变化情况,考察了辐射剂量对涂料固化性... 通过对电子束辐射固化的自由基机理和阳离子机理的优缺点对比分析,结合生产设备的实际情况,确定以丙烯酸酯类稀释剂及预聚物为主体的电子束固化用涂料体系;用红外光谱跟踪了丙烯酸酯类不饱和双键的变化情况,考察了辐射剂量对涂料固化性能的影响;并对电子束固化涂料生产的直镀纸与传统水性丙烯酸涂料生产的直镀纸的综合性能进行了对比分析,结果表明:电子束固化涂层在镀铝效果、透气度、透明性、光泽、耐磨性能及有机挥发物指标等方面优势明显。 展开更多
关键词 电子束固化 涂料 直接真空镀铝 包装材料
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400-1100nm波段用于格兰泰勒棱镜减反射膜的研制 被引量:5
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作者 郝殿中 苏富芳 王召兵 《曲阜师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2009年第1期57-59,共3页
为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.... 为提高格兰泰勒棱镜的透射率和使用带宽,研究了400-1100 nm超宽带减反射膜的设计、制备.利用数值优化技术设计了多层膜;采用沉积Al2O3为过渡层的方法,提高了薄膜和晶体的附着力.用电子束沉积和离子束辅助沉积的方法制备了多层减反射膜.采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率.测量结果表明平均剩余反射率均小于1.7%.测试薄膜与冰洲石晶体的附着力性能良好. 展开更多
关键词 光学薄膜 格兰泰勒棱镜 宽带 减反射膜 离子辅助电子束镀膜
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大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究 被引量:1
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作者 套格套 初国强 +6 位作者 宁永强 秦莉 孙艳芳 金珍花 晏长岭 刘云 王立军 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期445-447,共3页
 在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%。对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程。镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63W,功率转换效率提高...  在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%。对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程。镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63W,功率转换效率提高了6%。 展开更多
关键词 大功率底发射VCSEL 增透膜 等离子体辅助电子束蒸发 功率转换效率
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GaAs基多结太阳电池TiO_2/Al_2O_3/SiO_2减反射膜的设计与制备 被引量:1
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作者 付蕊 陈诺夫 +5 位作者 白一鸣 涂洁磊 刘虎 马大燕 陶泉丽 陈吉堃 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第1期38-42,共5页
宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要。设计和制备了宽光谱TiO_2/Al_2O_3/SiO_2三层减反射膜。理论研究发现,当TiO_2/Al_2O_3/SiO_2三层减反射膜最佳物理厚度为41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm时,在350~1... 宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要。设计和制备了宽光谱TiO_2/Al_2O_3/SiO_2三层减反射膜。理论研究发现,当TiO_2/Al_2O_3/SiO_2三层减反射膜最佳物理厚度为41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm时,在350~1 800 nm宽光谱范围内获得最小有效反射率为2.85%。依据理论设计,采用真空电子束蒸发法制备了相应厚度的TiO_2/Al_2O_3/SiO_2三层减反射膜,分光光度计测试结果表明,在350~1 800 nm宽光谱范围内,有效反射率为7.21%,且在485 nm和850 nm波长附近获得反射率极小值4.39%和2.16%。 展开更多
关键词 GaAs基多结太阳电池 TiO2/Al2O3/SiO2减反射膜 反射谱 电子束蒸发 有效反射率
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自聚焦透镜滤光膜的研制 被引量:2
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作者 张静 付秀华 +2 位作者 王正凤 潘永刚 田野 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2012年第1期63-64,78,共3页
针对光纤通信系统中自聚焦透镜滤光膜的工作要求,设计了用于激光波段808nm的窄带滤光片,要求808nm处的透射率不小于90%,半峰值宽度为10nm。选取了激光损伤阈值较高的Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,借助膜系设计软件设计膜系。采用电子... 针对光纤通信系统中自聚焦透镜滤光膜的工作要求,设计了用于激光波段808nm的窄带滤光片,要求808nm处的透射率不小于90%,半峰值宽度为10nm。选取了激光损伤阈值较高的Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,借助膜系设计软件设计膜系。采用电子束真空镀膜的方法,同时加以离子辅助沉积,调整镀膜工艺参数,改进膜厚控制方法,提高了膜厚的控制精度,减少了中心波长的漂移量和膜层的吸收。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。 展开更多
关键词 自聚焦透镜滤光膜 窄带滤光片 电子束真空镀膜 离子辅助沉积
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离子束辅助沉积钼酸铅晶体表面红外增透膜 被引量:2
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作者 周团团 胡焕林 孙嵩泉 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2003年第2期242-245,共4页
由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特... 由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特性及膜层品质大大提高,在光纤通信领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积 钼酸铅晶体 红外增透膜 真空系统 光学性能 膜层稳定性 透射率
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红外增透膜研究 被引量:1
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作者 孙可祥 杨伟声 《云光技术》 2014年第2期6-18,共13页
在8~12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法,所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为... 在8~12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法,所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。经过研究分析我们选择了氟化钇来进行此项研究并加以RF源(射频源)辅助镀膜,并用计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差。取得了良好的效果。用沈科仪镀膜机采用PECVD镀制DLC膜方面的也有很好的效果。 展开更多
关键词 红外增透膜 电子束沉积法 DLC膜 非均匀膜系
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电子束钢带镀膜技术探讨
13
作者 宋宜梅 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2004年第4期99-101,共3页
介绍国内第一条电子束钢带镀膜生产线的情况 ,对钢带镀膜的一些工艺及设备技术问题进行分析探讨。
关键词 钢带 镀膜 电子束 真空 生产线 表面处理
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Accumulation effect of SiO_2 protective layer on multi-shot laser-induced damage in high-reflectivity HfO_2/SiO_2 coatings
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作者 王营 贺洪波 +2 位作者 赵元安 单永光 魏朝阳 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第10期90-93,共4页
The accumulation effects in high-reflectivity (HR) HfO2/SiO2 coatings under laser irradiation are investigated. The HR HfO2/SiO2 coatings are prepared by electron beam evaporation at 1 064 nm. The laser-induced dama... The accumulation effects in high-reflectivity (HR) HfO2/SiO2 coatings under laser irradiation are investigated. The HR HfO2/SiO2 coatings are prepared by electron beam evaporation at 1 064 nm. The laser-induced damage threshold (LIDT) are measured at 1 064 nm and at a pulse duration of 12 ns, in 1-on-1 and S-on-1 modes. Multi-shot LIDT is lower than single-shot LIDT. The laser-induced and native defects play an important role in the multi-shot mode. A correlative theory model based on critical conduction band electron density is constructed to elucidate the experimental phenomena. 展开更多
关键词 antireflection coatings coatingS electron beams Hafnium oxides Laser damage REFLECTION
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强流脉冲电子束轰击粘结层表面微观形貌的研究
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作者 韩志勇 史文新 丘珍珍 《河北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2018年第1期47-51,共5页
针对传统热障涂层在服役温度下容易失效的特点,采用大气等离子喷涂技术在镍基高温合金GH4169上制备CoCrAlY粘结层,并利用电子束蒸发镀膜技术在粘结层表面沉积一层纯铝薄膜,最后使用强流脉冲电子束对镀铝膜的粘结层表面进行轰击,制备了... 针对传统热障涂层在服役温度下容易失效的特点,采用大气等离子喷涂技术在镍基高温合金GH4169上制备CoCrAlY粘结层,并利用电子束蒸发镀膜技术在粘结层表面沉积一层纯铝薄膜,最后使用强流脉冲电子束对镀铝膜的粘结层表面进行轰击,制备了新型热障涂层.研究了新型热障涂层CoCrAlY粘结层表面改性后的微观结构.实验结果表明:CoCrAlY粘结层表面蒸镀Al膜并经强流脉冲电子束轰击后产生了Al相和Al_2O_3相,Co基氧化物消失;粘结层表面变得较为致密、均匀,粗糙度明显增大且分布着大量纳米尺寸的富氧化铝细泡,这些气泡可以有效提高热障涂层抗氧化性能. 展开更多
关键词 CoCrAlY涂层 铝薄膜 电子束真空镀膜 强流脉冲电子束 微观结构
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Evatec BAK761电子束真空蒸发镀膜系统基本结构原理及维护
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作者 邓坤 《电声技术》 2021年第9期27-29,33,共4页
电子束真空蒸发镀膜系统被广泛应用于现代半导体制造和材料表面改性等领域.基于真空和电子束来阐释Evatec公司(瑞士)的BAK761型电子束真空蒸发镀膜系统的基本结构与原理,并结合实际阐述生产中经常遇到的一些故障处理与维护保养方法.
关键词 蒸发镀膜 真空 冷凝泵 电子束
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硒化锌基底2~16μm超宽带硬质红外增透膜的研制 被引量:17
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作者 潘永强 杭凌侠 +1 位作者 梁海锋 田刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1201-1204,共4页
硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2~16μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌基底上进行了多... 硒化锌材料具有较宽的透光区,使其在红外区有着广泛的应用,然而其作为基底,镀制超宽带增透膜却有相当大的难度,尤其是膜层强度问题。设计出了硒化锌基底上2~16μm的多层超宽带增透膜,并采用离子束辅助沉积工艺在硒化锌基底上进行了多次实验,并对所使用的氟化钇(YF_3)和硒化锌膜料进行了分析,发现YF_3在3400和1640 cm^(-1)两个波数处的吸收峰。通过将低折射率层改为氟化钡和氟化钇的组合层后,在硒化锌基底上成功镀制出了多层宽带增透膜并采用脉冲电弧离子镀技术在多层薄膜的表面镀制了一定厚度的类金刚石(DLC)薄膜,增强了膜层的强度。最终使硒化锌基底上镀制的超宽带增透膜在2~16μm范围内的平均透射比大于93%,峰值透射比大于97%,并且膜层的强度较好。 展开更多
关键词 光学薄膜 超宽带增透膜 离子束辅助沉积 硒化锌 类金刚石薄膜
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电子束气相沉积的研究进展 被引量:5
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作者 赖奇 李俊翰 +3 位作者 吴恩辉 崔晏 李亮 廖先杰 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2020年第4期76-81,共6页
介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的... 介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。 展开更多
关键词 电子束气相沉积 镀膜 真空
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