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MEMS与智能化微系统
1
作者
欧毅
陈大鹏
《电子工业专用设备》
2005年第1期10-14,共5页
智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题。
关键词
MEMS
CMOS
智能微系统
下载PDF
职称材料
题名
MEMS与智能化微系统
1
作者
欧毅
陈大鹏
机构
中科院微电子研究所微细加工与纳米技术实验室
出处
《电子工业专用设备》
2005年第1期10-14,共5页
基金
"973"计划资助项目(2003CB314703
2003CB314704)
+1 种基金
国家自然科学基金资助项目(60236010
90207004)
文摘
智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题。
关键词
MEMS
CMOS
智能微系统
Keywords
MEMS
COMS
intelligent
ized
microsystem
分类号
TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
MEMS与智能化微系统
欧毅
陈大鹏
《电子工业专用设备》
2005
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