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JFET输入运算放大器不同剂量率的辐照和退火特性 被引量:1
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作者 陆妩 任迪远 +2 位作者 郭旗 余学峰 艾尔肯 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期755-760,共6页
本文对几种不同型号的JFET输入双极运算放大器在不同剂量率(1、0.1、0.01及10-4、6.4×10-5Gy(Si)/s)辐照下的响应规律及随时间变化的退火特性进行了研究。结果显示,由于制作工艺相异,不同型号JFET输入双极运放对不同的剂量率辐照... 本文对几种不同型号的JFET输入双极运算放大器在不同剂量率(1、0.1、0.01及10-4、6.4×10-5Gy(Si)/s)辐照下的响应规律及随时间变化的退火特性进行了研究。结果显示,由于制作工艺相异,不同型号JFET输入双极运放对不同的剂量率辐照也表现出响应差异,但总的来说可分为三大类:第一类明显具有低剂量率辐照损伤增强效应,但同时又有时间效应的关系;第二类虽有不同剂量率的辐照损伤的差异,但这种差异可通过相同时间的室温退火来消除;第三类无剂量率效应,但有明显的“后损伤”现象。文中对引起电路辐照损伤差异的机理进行了探讨。 展开更多
关键词 jfet输入双极运算放大器 ^60CO Γ辐照 剂量率效应 退火
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NJFET器件饱和电流影响因子及工艺优化研究 被引量:1
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作者 陈培仓 朱赛宁 +1 位作者 潘建华 陈慧蓉 《微电子学》 CAS 北大核心 2022年第6期1061-1064,共4页
针对N沟道结型场效应晶体管(NJFET)在工艺制造过程中极易出现饱和电流一致性差的问题,从一次氧化、栅注入和栅推结等方面对饱和电流工艺影响因子开展了实验研究,并提出了工艺优化和控制方法,使器件饱和电流参数得到有效控制,一致性由6.... 针对N沟道结型场效应晶体管(NJFET)在工艺制造过程中极易出现饱和电流一致性差的问题,从一次氧化、栅注入和栅推结等方面对饱和电流工艺影响因子开展了实验研究,并提出了工艺优化和控制方法,使器件饱和电流参数得到有效控制,一致性由6.90%改善至0.38%,圆片对档率由85%提升到96%以上,提升了器件产品质量,降低了成本。 展开更多
关键词 jfet 饱和电流 氧化 注入 退火
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1200 V IGBT的性能优化
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作者 李宏 《电子与封装》 2016年第11期44-47,共4页
主要研究1200 V IGBT器件的性能优化方法。理论分析了IGBT结构参数与其主要性能的关系,按1200 V IGBT器件击穿电压和饱和压降的设计要求,重点讨论了FS、JFET注入、延长JFET退火时间和减小Pring注入剂量对IGBT器件击穿电压(BV)和饱和压降... 主要研究1200 V IGBT器件的性能优化方法。理论分析了IGBT结构参数与其主要性能的关系,按1200 V IGBT器件击穿电压和饱和压降的设计要求,重点讨论了FS、JFET注入、延长JFET退火时间和减小Pring注入剂量对IGBT器件击穿电压(BV)和饱和压降(Vdson)的影响,最终得到了满足器件设计要求的最佳性能参数。 展开更多
关键词 IGBT FS-IGBT jfet注入 jfet退火 Pring注入 击穿电压 饱和压降
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Annealing behavior of radiation damage in JFET-input operational amplifiers
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作者 郑玉展 陆妩 +3 位作者 任迪远 王义元 郭旗 余学锋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期60-64,共5页
The elevated and room temperature annealing behavior of radiation damage in JFET-input operational amplifiers (op-amps) were investigated. High- and low-dose-rate irradiation results show that one of the JFET-input ... The elevated and room temperature annealing behavior of radiation damage in JFET-input operational amplifiers (op-amps) were investigated. High- and low-dose-rate irradiation results show that one of the JFET-input op-amps studied in this paper exhibits enhanced low-dose-rate sensitivity and the other shows time-dependent effect. The offset voltage of both op-amps increases during long-term annealing at room temperature. However, the offset voltage decreases at elevated temperature. The dramatic difference in annealing behavior at room and elevated temperatures indicates the migration behavior of radiation-induced species at elevated and room temperatures. This provides useful information to understand the degradation and annealing mechanisms in JFET-input op-amps under total ionizing radiation. Moreover, the annealing of oxide trapped charges should be taken into consideration, when using elevated temperature methods to evaluate low-dose-rate damage. 展开更多
关键词 jfet-input operational amplifiers dose rate radiation damage annealing behavior
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