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题名斜坡电流测试应用与比较方法研究
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作者
简维廷
赵永
杨斯元
张荣哲
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机构
中芯国际集成电路制造有限公司
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期465-468,共4页
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文摘
讨论了斜坡电流测试的相关参数如电流斜坡速率、步长及电流倍增速率对测试结果击穿电荷具有的严重影响。指出斜坡电流测试中各个参数的设定、影响及其相关性,使斜坡电流测试的结果具有可比较性。同时,讨论了由于斜坡电流测试本身的特性,击穿电荷具有非连续性,针对击穿电荷的非连续性,提供了一种统计上的数据处理方法,并且根据工程上不同的定性比较结果提供了不同的统计比较方法,可以对非连续的斜坡电流测试结果进行定量的统计比较。在产品验证或生产线出现异常时,能够进行统计上的比较,给出定量的结果。据此能对生产线的稳定性或异常事件对产品的影响给出明确的结论,为受影响的产品的处置提供定量的数据支持。这是首次对斜坡电流测试数据的统计定量分析。
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关键词
隧道氧化层
斜坡电流测试
电流斜坡速率
电流倍增速率
步长
统计比较
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Keywords
tunneling oxide
jramp test
ramp rate
F-factor
step time
statistical comparison
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分类号
TN406
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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