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一种气相合成Silicalite-1沸石膜的新方法 被引量:7
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作者 李军 龙英才 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期179-181,共3页
A silicalite 1 zeolite membrane was in situ crystallized from a layer of silica species prepared by a novel method of low temperature chemical vapor deposition (LTCVD) on a porous cordierite substrate. XRD patterns sh... A silicalite 1 zeolite membrane was in situ crystallized from a layer of silica species prepared by a novel method of low temperature chemical vapor deposition (LTCVD) on a porous cordierite substrate. XRD patterns show that the membrane consists of MFI type zeolite crystals. The investigation with SEM indicats that the membrane is about 50 μm thick, and covered with well intergrowth MFI zeolite crystals of about 10 μm in size. The EDX analysis confirms that the membrane is composed of silica in the absence of Al, indicating high silica MFI(Silicalite 1) zeolite grown on the support. The ratio of pure gas permeation is 296 for H 2/ iso butane and 13.7 for n / iso butane at room temperature respectively, confirming that the membrane synthesized on the support of cordierite is high quality without pinhole. 展开更多
关键词 沸石膜 低温气相化学沉积 硅沸石 堇青石 气相合成
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用TiCl_3低温化学气相沉积TiN的实验研究
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作者 袁泽喜 胡传胜 谭萍 《武汉冶金科技大学学报》 1997年第1期43-48,共6页
运用热力学对用TiCl3为钛源在低温下化学气相沉积TiN的可行性进行了论证,着重介绍了实验研究及实验结果。在所设计的TiCl3生成以及TiN形成的实验装置上,通过对HCl(g)与NH3的流量和沉积总压强的调节与控制,... 运用热力学对用TiCl3为钛源在低温下化学气相沉积TiN的可行性进行了论证,着重介绍了实验研究及实验结果。在所设计的TiCl3生成以及TiN形成的实验装置上,通过对HCl(g)与NH3的流量和沉积总压强的调节与控制,在较低的温度(550℃)下,在钢基材料上获得了TiN表面涂层。 展开更多
关键词 金属氮化物 氮化钛 ltcvd 二氯化钛
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