期刊文献+
共找到733篇文章
< 1 2 37 >
每页显示 20 50 100
Liquid nitrogen level meter for high-temperature superconductor (HTS) 被引量:1
1
作者 PARK Heecheol JEONG Hwanjun +3 位作者 LEE Changyeung KIM Purn CHO Jangwon KIM Seokho 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第11期3100-3104,共5页
Many kinds of high temperature superconductor (HTS) power machines such as HTS cable, HTS fault current limitcr and HTS magnet are cooled by liquid nitrogen. The level of liquid nitrogen should be monitored and cont... Many kinds of high temperature superconductor (HTS) power machines such as HTS cable, HTS fault current limitcr and HTS magnet are cooled by liquid nitrogen. The level of liquid nitrogen should be monitored and controlled to ensure the thermal stability and the dielectric strength as well. To measure the level, capacitance method and differential pressure method are usually used. However, each method has installation difficulties and measurement errors for unsteady state operation with varying system pressure. A new liquid level meter using a 2G HTS conductor is described, which has similar structure with the liquid helium level meter with NbTi filament. The level meter is fabricated with a parallel connected heater, which helps the separation of the superconducting region and normal region, considering the critical temperature, large heat capacity of conductor and cooling characteristics. The level of liquid nitrogen can be obtained from the measured voltage signal along the 2G HTS conductor. Design, fabrication and test results of the new liquid nitrogen level meter are presented. 展开更多
关键词 high temperature superconductivity liquid nitrogen level meter QUENCH
下载PDF
Novel attitude determination method by integration of electronic level meter,INS,and low-cost turntable for level attitude evaluation and calibration of INS 被引量:1
2
作者 Anlan YANG Peida HU +3 位作者 Genming LIU Rong ZHANG Qiuping WU Ruikun ZHOU 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期486-495,共10页
Attitude references are greatly needed for the evaluation and calibration of Inertial Navigation Systems(INSs),which are widely used in gravimeter,marine,and aeronautical navigation.High-accuracy turntable,INS,and Glo... Attitude references are greatly needed for the evaluation and calibration of Inertial Navigation Systems(INSs),which are widely used in gravimeter,marine,and aeronautical navigation.High-accuracy turntable,INS,and Global Navigation Satellite System have been utilized to verify the performance of relatively low-accuracy INS.The accuracy requirement of the attitude reference continuously increases with the rapid improvement of inertial sensors and navigation algorithms.However,the cost of attitude determination system increases rapidly with the increase of attitude accuracy requirement.To solve this limitation,the integration of level meter,INS,and low-cost turntable is proposed to provide level attitude,such as roll and pitch.The turntable is utilized to rotate the INS.An integration model of the level meter and INS is built to estimate the level attitude and reduce the cost of the turntable.The proposed method successfully avoids the dependence on high-accuracy turntables.An observability degree analysis is conducted to improve the level atti-tude accuracy further.The simulation and turntable test results indicate that the proposed method can provide high-accuracy level attitude without high-accuracy INS or turntable and is applicable to error calibration and attitude evaluation of INS. 展开更多
关键词 Inertial Navigation System(INS) Attitude reference level meter TURNTABLE Attitude evaluation Systematic calibration
原文传递
Development of the liquid level meters for the PandaX dark matter detector
3
作者 胡捷 龚昊伟 +6 位作者 林箐 倪凯旋 谈安迪 魏月环 肖梦蛟 肖翔 赵力 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2014年第5期53-57,共5页
The two-phase xenon detector is at the frontier of dark matter direct search. This kind of detector uses liquid xenon as the sensitive target and is operated in two-phase (liquid/gas) mode, where the liquid level ne... The two-phase xenon detector is at the frontier of dark matter direct search. This kind of detector uses liquid xenon as the sensitive target and is operated in two-phase (liquid/gas) mode, where the liquid level needs to be monitored and controlled in sub-millimeter precision. In this paper, we present a detailed design and study of two kinds of level meters for the PandaX dark matter detector. The long level meter is used to monitor the overall liquid level while short level meters are used to monitor the inclination of the detector. These level meters are cylindrical capacitors that are custom-made from two concentric metal tubes. Their capacitance values are read out by a universal transducer interface chip and are recorded by the PandaX slow control system. We present the developments that lead to level meters with long-term stability and sub-millimeter precision. Fluctuations (standard deviations) of less than 0.02 mm for the short level meters and less than 0.2 mm for the long level meter were achieved during a few days of test operation. 展开更多
关键词 liquid level meter XENON dark matter
原文传递
Co-seismic changes of well water level and volume strain meter in capital area and its vicinity,due to the Nov.14,2001 Ms8.1 Kunlun Mountain earthquake,China 被引量:3
4
作者 Huang Fuqiong Chen Yong +3 位作者 Ji Ping Ren Kexin Gao Fuwang Zhang Lingkong 《Geodesy and Geodynamics》 2015年第6期460-466,共7页
The Kunlunshan Mountain Ms8.1 earthquake, occurred in Nov.14, 2001, is the first event with magnitude more than 8 in the China earthquake monitoring history, specifically at the beginning of digital techniques in prec... The Kunlunshan Mountain Ms8.1 earthquake, occurred in Nov.14, 2001, is the first event with magnitude more than 8 in the China earthquake monitoring history, specifically at the beginning of digital techniques in precursor monitoring networks. Any investigation of recorded data on this earthquake is very important for testing the operation of the digital monitoring networks and understanding the preparation, occurrence, and adjustment of stress/strain of strong continental earthquakes. In this paper we investigated the coseismic response changes of well water level of groundwater and volume strain meter of bore hole in digital earthquake monitoring network of Capital area and its vicinity, due to the Nov.14, 2001 Ms8.1 Kunlun Mountain earthquake. The responding time, shapes or manners, amplitudes, and lasting time of well water level and strain-meters to seismic wave are studied in comparison. Then we discussed the possibility that the response changes of groundwater to strong distant earthquakes can be understood as one kind of observing evidence of stress/strain changes induced by distant earthquake. 展开更多
关键词 Kunlun Mountain earthquake Co-seismic response Groundwater level in wells Volume strain meter in borehole Capital area Digital monitoring network 9th Five-Year Plan Long range correlation
下载PDF
基于选频电平表设计的信号与系统综合实验
5
作者 王虹 庞姣 梁晓琳 《实验室科学》 2024年第2期57-62,共6页
针对学生的工程实践能力培养,为信号与系统实验课程设计了项目驱动式综合实验“选频电平表设计”。基于CDIO工程教育模式设计了实验内容,指导学生通过团队协作完成电子产品从研发到运行的完整周期。实验项目涉及傅里叶变换、频谱搬移、... 针对学生的工程实践能力培养,为信号与系统实验课程设计了项目驱动式综合实验“选频电平表设计”。基于CDIO工程教育模式设计了实验内容,指导学生通过团队协作完成电子产品从研发到运行的完整周期。实验项目涉及傅里叶变换、频谱搬移、滤波等信号的频域分析和处理方法,同时结合了模拟电路设计、单片机技术、 EDA技术、电路焊接与调试等内容,综合性强,紧贴工程实际。教学实践表明,该实验能帮助学生加深对理论知识的理解,积累实践经验,提高学习兴趣和实践能力。 展开更多
关键词 信号与系统 综合实验 选频电平表 实践能力
下载PDF
具有变超越负载的液压调平系统负载口独立控制方法
6
作者 魏列江 都志航 +2 位作者 李娜娜 王琳 路全锋 《液压与气动》 北大核心 2024年第8期1-10,共10页
液压调平系统平台回落过程中存在超越负载,且随着负载重心偏移和平台倾角变化,作用于支腿液压缸的负载力也会随之变化。传统液压系统中负载控制阀或平衡阀在平衡变超越负载时速度控制效果差,容易发生速度抖动。为解决这一问题,采用负载... 液压调平系统平台回落过程中存在超越负载,且随着负载重心偏移和平台倾角变化,作用于支腿液压缸的负载力也会随之变化。传统液压系统中负载控制阀或平衡阀在平衡变超越负载时速度控制效果差,容易发生速度抖动。为解决这一问题,采用负载口独立控制技术,针对平台回落时液压缸存在的变超越负载工况,提出对液压调平系统中液压缸有杆腔进行压力控制,无杆腔进行流量控制的压力-流量复合控制方法,建立其数学模型,并进行AMESim和Simulink联合仿真验证。结果表明,在负载力发生突变时,液压缸有杆腔压力和无杆腔流量均可在0.2 s内恢复至控制值,平衡掉系统变超越负载的同时,能够满足系统的速度控制需求。 展开更多
关键词 液压调平系统 负载口独立 压力-流量复合控制 变超越负载
下载PDF
高频电磁镜面板平面度测量的不确定度评定
7
作者 吴呼玲 《微型电脑应用》 2024年第4期50-54,共5页
针对某部队高频电磁镜面TEM室的镜面板平面度误差测量与评定任务,从测量仪器的选择、测量误差的评定等方面解决镜面板平面度测量不确定度的评定问题。与传统的平面度误差测量不确定度评定方案不同,重点针对高频电磁镜面TEM室的超大镜面... 针对某部队高频电磁镜面TEM室的镜面板平面度误差测量与评定任务,从测量仪器的选择、测量误差的评定等方面解决镜面板平面度测量不确定度的评定问题。与传统的平面度误差测量不确定度评定方案不同,重点针对高频电磁镜面TEM室的超大镜面板平面度进行不确定度评定。测量方法采用相对测量法,从测量便利性方面选择合像水平仪,误差评定选择最小二乘法,基于MATLAB融入蒙特卡罗方法对其进行平面度误差评定,评定结果为4μm,解决了高频电磁镜面板的平面度误差评定问题,保证了高频电磁信号的高保真传递,实现了大型TEM喇叭、D-dot等电磁传感器的精确校准。 展开更多
关键词 TEM室 平面度误差 MATLAB 最小二乘法 合像水平仪
下载PDF
液体活塞式压力计检定及使用过程中的垂直度影响研究
8
作者 吴东旭 屠彬彬 程静 《计量与测试技术》 2024年第6期46-48,共3页
液体活塞压力计稳定性较高,常被作为量值传递和溯源的标准器。但在实际使用中,其大多未配置相应的水平仪或水平仪精度不足,不能满足使用需求。因此,本文设计了两组试验,分别对其检定和使用过程中产生的倾角和垂直度变化对活塞有效面积... 液体活塞压力计稳定性较高,常被作为量值传递和溯源的标准器。但在实际使用中,其大多未配置相应的水平仪或水平仪精度不足,不能满足使用需求。因此,本文设计了两组试验,分别对其检定和使用过程中产生的倾角和垂直度变化对活塞有效面积和输出压力引起的变化进行讨论和分析,并提出生产和使用建议。 展开更多
关键词 液体活塞式压力计 垂直度 水平仪 活塞有效面积
下载PDF
温度对投入式水位计测量精度的影响研究
9
作者 王桂林 张玉聪 《海河水利》 2024年第10期112-115,共4页
小沙湾水厂是黄河地表水给水工程的重要组成部分,是准能集团的重要水源地,而精准的水位数据对泵站取水工作有较大的影响。以浮子式水位计示值为参照,设计了投入式水位计示值的对比试验,对影响传感器精度的主要因素之一温度进行了研究,... 小沙湾水厂是黄河地表水给水工程的重要组成部分,是准能集团的重要水源地,而精准的水位数据对泵站取水工作有较大的影响。以浮子式水位计示值为参照,设计了投入式水位计示值的对比试验,对影响传感器精度的主要因素之一温度进行了研究,总结了温度与示值误差之间的关系。结果发现,在10~18℃时,水温对传感器精度影响很小;在18~25℃时,水温越高传感器精度越低;在26~30℃时,传感器精度随温度升高而升高。 展开更多
关键词 浮子式水位计 投入式水位计 温度 精度
下载PDF
基于改进DBNet-RNN的声级计读数识别方法
10
作者 汪嘉 祝海江 +3 位作者 王寅初 何龙标 杨平 牛锋 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第8期1191-1199,共9页
为提高声级计校准工作效率,提出了一种基于深度学习神经网络的声级计图像读数检测与识别方法。读数检测模型以DBNet为基础模型,将ShuffleNetV2作为主干网络,显著降低模型参数量;为提高读数区域检测精度,引入高效通道注意力ECA模块,提高... 为提高声级计校准工作效率,提出了一种基于深度学习神经网络的声级计图像读数检测与识别方法。读数检测模型以DBNet为基础模型,将ShuffleNetV2作为主干网络,显著降低模型参数量;为提高读数区域检测精度,引入高效通道注意力ECA模块,提高网络对于通道特征的提取能力,优化后的模型在保持精度的同时参数量缩减为原来的15.4%,计算量缩减为原来的67.4%。读数识别模型以CRNN为基础模型,先加入批量规范化层,提高网络训练时的稳定性;然后,引入残差块替换原有的卷积块,提高了网络对于复杂特征的提取能力;将Dropout应用于网络中,提高网络的泛化能力;此外,在合成读数数据集上对读数识别模型进行预训练,有效增加了模型准确率。改进后的方法准确率达到了99.7%,相较原方法提高了2.4%。实验结果表明,该方法对声级计图像中存在的字体多样、光照不均、模糊等影响因素具有较强的鲁棒能力,对声级计图像中的读数具有较高的识别精度。 展开更多
关键词 声学计量 图像识别 声级计 DBNet CRNN 注意力模块
下载PDF
压力式地下水水位计现场比测结果不确定度分析
11
作者 戚珊珊 史占红 何生荣 《水利信息化》 2024年第5期88-92,共5页
压力式地下水水位计广泛应用于地下水监测工程中,现场使用的压力式地下水水位计监测数据需要定期与人工观测数据进行比对,判定比测结果的示值误差是否合格并应考虑不确定度的影响。介绍压力式地下水水位计现场比测方法,建立压力式地下... 压力式地下水水位计广泛应用于地下水监测工程中,现场使用的压力式地下水水位计监测数据需要定期与人工观测数据进行比对,判定比测结果的示值误差是否合格并应考虑不确定度的影响。介绍压力式地下水水位计现场比测方法,建立压力式地下水水位计现场比测示值误差的数学模型,分析现场比测过程中影响比测结果不确定度的因素,评定现场比测结果的扩展不确定度。结果表明:进行符合性判定时,在0~65m埋深范围内比测结果不确定度可忽略不计,在65 m以上埋深范围内比测结果的不确定度不可忽略。研究结果可为开展压力式地下水水位计现场比测活动提供参考和依据。 展开更多
关键词 地下水 压力式地下水水位计 不确定度 现场比测
下载PDF
无源核子料位计探测点γ场强度数值模型构建
12
作者 宋荣志 高瀚君 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2024年第4期771-778,共8页
无源核子料位计利用粉煤灰自身的微量天然γ射线来检测灰斗或仓泵内的灰位,是一种新型的具有较高可靠性的非接触式料位计。探测点处的γ射线强度随粉煤灰灰位的变化规律是仪表设计、使用和标定的重要依据。首先从理论上推导出点状辐射... 无源核子料位计利用粉煤灰自身的微量天然γ射线来检测灰斗或仓泵内的灰位,是一种新型的具有较高可靠性的非接触式料位计。探测点处的γ射线强度随粉煤灰灰位的变化规律是仪表设计、使用和标定的重要依据。首先从理论上推导出点状辐射体在吸收介质中某点的γ射线强度的计算公式,然后以此为基础,构建了粉煤灰辐射体在探测点处γ射线强度的一般化数值计算模型。在数值模型构建中,提出了更加高效的折半逼近法来计算介质对γ射线的吸收厚度。该模型的构建思想和方法适用于任意的辐射体形状和探测点位置,能够满足各种工况下的计算要求。通过与圆柱形辐射体在轴线上的准确的γ射线强度进行对比,证明了此模型的建模思路与方法是正确的,模型的精度是满足要求的。 展开更多
关键词 无源核子料位计 Γ射线 数值模型 折半逼近法
下载PDF
月球直射辐照度仪同光轴装调及传递定标
13
作者 王鑫蕊 李新 +4 位作者 潘琰 李萍 张权 韦玮 秦萌萌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期158-170,共13页
采用激光水平仪与平面反射镜相结合的方式,在实验室模拟月球对追踪相机与探测镜头进行同光轴装调,避免未同光轴导致测试不到信号或者信号太小造成数据不准确的问题,实验结果显示实验室同光轴装调误差在±0.03°以内。为保证仪... 采用激光水平仪与平面反射镜相结合的方式,在实验室模拟月球对追踪相机与探测镜头进行同光轴装调,避免未同光轴导致测试不到信号或者信号太小造成数据不准确的问题,实验结果显示实验室同光轴装调误差在±0.03°以内。为保证仪器定标系数的准确性,采用已溯源于国家计量基准的标准灯传递定标微光灯的方式,利用激光测距仪与激光水平仪、平面反射镜相结合的方式保证传递定标精度,解决了直接使用标准灯定标带来的探测器非线性响应误差和长定标距离误差的难题。为地基对月观测仪器建立高精度的月球辐射模型提供了一种思路与解决方法。 展开更多
关键词 辐射定标 月球直射辐照度仪 激光水平仪 同光轴 传递定标
下载PDF
百米级均质土坝坝体排水型式研究
14
作者 汪李艳 王静 +2 位作者 赵海亮 吕琦 杜娟娟 《西北水电》 2024年第2期66-71,共6页
坝体排水设计是土石坝工程设计中重要的工作之一。合理布置坝体排水型式、排水高程和范围,可有效降低坝体浸润线,控制坝体渗流,增加下游坝坡稳定,防止发生渗透破坏。目前国内已建坝高超过70 m的均质土坝坝体排水设计仍缺少成功的工程经... 坝体排水设计是土石坝工程设计中重要的工作之一。合理布置坝体排水型式、排水高程和范围,可有效降低坝体浸润线,控制坝体渗流,增加下游坝坡稳定,防止发生渗透破坏。目前国内已建坝高超过70 m的均质土坝坝体排水设计仍缺少成功的工程经验。为了解决坝内排水型式设计不尽合理、排水方案设计存在缺陷等问题,依托某在建工程,对均质土坝坝体内不同高程、不同位置拟定不同排水型式组合,通过数值仿真分析,研究排水体对坝体浸润线以及坝坡稳定的影响,提出了适合百米级均质土坝的最佳排水型式(竖向排水+水平排水+棱体排水)。结果表明:对于大坝下游常水位较高的百米级均质土坝,竖向排水+水平排水+棱体排水可以做为最佳的排水型式,且竖向排水结构设置在均质土坝坝体中下游,且做成向上游倾斜的形式,考虑施工质量,向上游倾斜的坡度以1∶0.5为宜,但对于此种组合排水,大坝渗透各向异性k_(x)/k_(z)的适用范围需结合具体工程进行计算分析。研究成果可为百米级均质土坝排水设计提供参考和借鉴作用。 展开更多
关键词 百米级均质土坝 排水型式 竖向排水
下载PDF
分体式导波雷达液位计测量组件抗震方法研究
15
作者 李亮 范瑾 +1 位作者 张曙光 孙国良 《核科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期121-128,共8页
通过对某型号分体式导波雷达液位计测量组件结构的数学模型进行模态分析、静力分析和反应谱分析,得到了测量组件在各载荷工况下的位移和应力结果,并对螺栓的拉伸应力和剪切应力进行了校核。计算结果表明,测量组件结构满足规范和技术要求。
关键词 分体式导波雷达液位计 测量组件 模态分析 反应谱分析
下载PDF
一种基于料位计的燃煤电厂分仓计量方法
16
作者 徐文辉 董春雷 +6 位作者 郭勇 赵德虎 陈长和 仇永裕 杨勇 李济君 张进 《南京师范大学学报(工程技术版)》 CAS 2024年第1期26-31,共6页
分仓计量是锅炉性能计算的重要依据,也可以为燃烧策略的确定提供指导依据.提出了一种基于料位计读数的燃煤电厂分仓计量方法.为了避免料位计读数的影响,利用加煤偏差值和停止加煤偏差值对料位计读数进行处理,从而获取料位计的峰谷值,在... 分仓计量是锅炉性能计算的重要依据,也可以为燃烧策略的确定提供指导依据.提出了一种基于料位计读数的燃煤电厂分仓计量方法.为了避免料位计读数的影响,利用加煤偏差值和停止加煤偏差值对料位计读数进行处理,从而获取料位计的峰谷值,在此基础上利用线性拟合来获取料位计读数随时间的变化,继而利用料位计读数来计算存煤体积.结果表明,在满足给煤量恒定以及煤仓未加煤这两个条件时,短时间内存煤体积基本随时间线下下降.本文利用存煤体积的变化趋势,结合给煤量便可获取煤的堆积密度.通过改变给煤量来获取不同工况,并以此验证堆积密度计算方法的可行性.通过煤堆的堆积密度,便可获取当前煤场内存煤量,结合煤仓给煤量的累计值便可获取煤仓的加煤量.本文所提出的分仓计量方法,避免了煤流速度不准确、皮带打滑、犁煤器漏煤等因素的影响,同时也避免了皮带秤的累计误差,有助于煤仓煤量的准确计量. 展开更多
关键词 料位计 煤仓 分仓计量
下载PDF
聚丙烯装置^(137)Cs 密封源料位计的安全措施与对策
17
作者 石云 刘贵春 申世勤 《云南化工》 CAS 2024年第8期134-136,共3页
介绍了聚丙烯装置^(137)Cs密封源料位计的生产工艺和测量原理,分析了^(137)Cs密封源料位计现有的安全控制措施和存在的问题,并提出了相应的对策,从而提升了聚丙烯^(137)Cs密封源的安全防护控制水平。
关键词 ^(137)Cs 密封源 料位计 辐射 安全控制
下载PDF
干熄焦除盐水箱液位计改造
18
作者 李永华 杨铮 +1 位作者 王伟兵 杜志敏 《机械管理开发》 2024年第8期129-132,共4页
介绍了在焦化厂干熄焦除盐水箱液位测量中,先后使用磁翻板液位计和静压投入式液位计时遇到的问题,简述了磁翻板液位计、静压投入式液位计、超声波液位计和雷达液位计的工作原理,以及在此测量液位遇到的问题。经过分析讨论,提出使用压力... 介绍了在焦化厂干熄焦除盐水箱液位测量中,先后使用磁翻板液位计和静压投入式液位计时遇到的问题,简述了磁翻板液位计、静压投入式液位计、超声波液位计和雷达液位计的工作原理,以及在此测量液位遇到的问题。经过分析讨论,提出使用压力变送器测量除盐水箱的液位,介绍了其工作原理、改造方案和注意事项,实现了检修方便、运行稳定、故障率低的目的。 展开更多
关键词 干熄焦 除盐水箱 液位计 测量 工作原理
下载PDF
核料位计在连续重整装置中的应用
19
作者 朱宇琪 《山东化工》 CAS 2024年第17期231-233,252,共4页
核料位计常用于连续重整装置催化剂料位的测量,料位的精准监测对于催化剂再生单元的料位控制有着至关重要的作用。简述了核料位计的测量原理,对比了核料位计的典型配置、规格参数、标定方法等,强调了国家标准对核料位计的安全防护等要... 核料位计常用于连续重整装置催化剂料位的测量,料位的精准监测对于催化剂再生单元的料位控制有着至关重要的作用。简述了核料位计的测量原理,对比了核料位计的典型配置、规格参数、标定方法等,强调了国家标准对核料位计的安全防护等要求事项,以及在工程应用中的安装注意事项,并以某套220万t/a连续重整装置为实例,分析了核料位计的实际应用,对连续重整装置中核料位计的选型与工程设计提供参考。 展开更多
关键词 核料位计 连续重整 放射源 探测器 安全防护
下载PDF
与硅微器件集成的MEMS皮拉尼计
20
作者 秦宜峰 刘振华 +2 位作者 施志贵 张青芝 熊壮 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第9期1038-1043,共6页
针对圆片级真空封装现有的检测难、易泄漏等问题,提出一种可与硅微器件工艺兼容、并行加工于同一腔体的皮拉尼(Pirani)计设计与加工方法,用于圆片级真空封装后腔体的真空度检测。采用SOI硅片对皮拉尼计结构进行加工,通过金硅键合方式对... 针对圆片级真空封装现有的检测难、易泄漏等问题,提出一种可与硅微器件工艺兼容、并行加工于同一腔体的皮拉尼(Pirani)计设计与加工方法,用于圆片级真空封装后腔体的真空度检测。采用SOI硅片对皮拉尼计结构进行加工,通过金硅键合方式对器件进行圆片级封装,同时采用硅通孔(TSV)的纵向电极引出方式,改善气密封装问题。测试结果表明,皮拉尼计电阻在线性区间的温度系数为1.58Ω/℃,检测敏感区间约为1~100 Pa,灵敏度达到61.67Ω/ln(Pa)。提出的皮拉尼计可与硅微器件并行加工,为圆片级真空封装腔体的真空度在片测试提供了一种简单可行的方案。 展开更多
关键词 真空检测 皮拉尼计 硅微器件 圆片级真空封装
下载PDF
上一页 1 2 37 下一页 到第
使用帮助 返回顶部